等离子增强化学气相沉积系统设备的主要技术参数

常熟理工学院第一章招标通告

光伏科技学院专业试验室设备招标文件目 录其次章技术标准及要求第一节总要求其次节技术标准及要求第三章投标人须知第一节总体说明其次节编制投标文件第三节投标保证金第四节投标文件的递交第五节开标、评标附录：一、投标书格式二、投标价格表格式三、设备及其参数第一章

招标通告常熟理工学院现对光伏科技学院专业试验室试验设备所包含的货物及效劳进行竞争招标，邀请具备供给方案、设备、安装等资质和力量的制造商或经销商前来投标.招标货物名称、数量及主要技术规格详见本招标文件附录三.3.招标时间：202312月１820112３日0123日１１时之前,逾时恕不受理2０11120日前安装调试完毕送标地点：常熟理工学院教务处设备科招标人：常熟理工学院招标办公室、常熟理工学院教务处设备科招标人地址：常熟理工学院东湖校区常熟理工学院教务处设备科9.：2１55０010.:15２２５1１8511.：１10.联系人：技术标的物理与电子工程学院学院:钱教师 3商务标的 招标办：张教师３设备科：徐教师 1其次章技术标准及要求第一节

总体要求总则定，投标人应供给符合本技术和国家标准、行业标准的优质产品。鉴定投标人产品能否到达要求，如投标人没有在投标文件中提出异议，则视为投标人供给的产品完全符合要求。投标人必需按本招标文件所提出的货物投标。技术要求规定以外的款项及标准的执行技术要求，投标人应供给必要的证明文件以证明产品的技术性能、牢靠性及耐用性，能够使招标人完全满足.投标人供给的产品应标明所执行的标准，假设同一标准已颁发标准,则按最标准执行.假设同一标准同时有几个标准〔如国际标准、国家标准、行业标准、企业标准等)则按最高层次的标准执行。效劳承诺投标人应按招标文件对其投标货物的效劳内容要求作具体的描述。其次节

技术标准及要求1.光伏科技学院专业试验室试验设备购置，该工程具体要求详见附录三。第三章投标人须知第一节 总体说明本招标文件仅适用于本次招标中所表达工程的货物及效劳选购。工学院教务处设备科.“投标人”系指向招标人提交投标文件的制造商或供货商。“货物”系指卖方按招标文件规定,向买方供给的一切设备、备品备件及其它有关技术资料和材料。似的义务。商。无论投标结果如何，投标人自行担当全部的参与投标有关的全部费用。要求

其次节

编制投标文件招标文件的要求，其投标书将被视为废标。投标文件的组成投标文件应包括以下局部：投标书：分为商务标(投标价格表〕和技术标〔产品具体技术说明、数量、型号规格,生产厂家，必要的图纸和图片等)；其中商务标〔投标价格表〕必需有法人或托付代理人代表签字并加盖单位公章，并单独密封；投标资质证明文件复印件；招标文件规定应提交的其他资料和文件；投标人代表必需持有法人代表签字的授权托付书,并加盖单位公章.帖。投标文件应装订成册,并列出投标文件名目。投标文件格式投标人应按招标文件供给的投标文件格式填写投标书、投标价格表。3。2投标人可对本招标文件所列的全部货物投标，也可只对其中一项或几项货物投标，但不得将一项中的内容拆开投标.投标报价４．1投标人应在招标文件所附的投标价格表上写明投标货物的单价和投标总价。投标单价也包含各货物安装、调试、验收直至正常交付使用等过程中的费用。投标总价为货物安装完毕及验收合格后的最终标价.招标人不再另付运输费、安装费、调试费、培训费等费用。能有任何选择价。终总价分别以国内货物总价和国外货物总价区分报价。４.4每一工程的报价应附有该工程的技术性能、材质、主要附件的具体描述和材料分析表.投标人资格证明文件５。1投标人须供给其有资格进展投标和有力量履行合同的证明文件〔如营业执照、生产许可证、资质证书、质量鉴定证书等的复印件〕。５.2如投标人供给货物及效劳不是投标人生产或拥有的,则须供给货物制造商和技术拥有者的正式授权书〔原件或复印件〕,否则投标人的投标书将视为废标。5.3投标人具有履行合同所需的财务、技术和生产力量。投标货物符合招标文件规定的技术响应文件６。１投标人须供给投标货物的主要性能和构造的具体的描述。６。2供给必要的数据、图纸和图片。６．3供给投标货物的执行标准。供给ISO9０００质量体系认证证书及相应产品的生产许可证、产品质量合格证及产品技术说明。本招标文件对货物的材质、工艺、技术标准等要求仅系说明并非限制,投标人可供给替代产品,但替代产品的材质、工艺、技术标准应相当于或优于招标文件的要求.第三节 缴纳投标保证金交人民币贰万元的投标保证金，作为其投标的一局部。投标保证金请按规定要求办理(本地用本票、外地用银行汇票,一律不承受现金、支票等方式〕。并注明收款人为：常熟理工学院 银行帐号:322０１98６７开户行：常熟建行城中支行未中标单位开标后退还保证金〔为便于准时退回投标保证金，请各投标〕，中标单位的投标保证金转为质量及履约保证金。２．在开标时，对于未按要求递交投标保证金的投标,将视其为非响应性投标而予以拒绝。未中标人的投标保证金，将在投标有效期内予以退还，不计利息。中标人的投标保证金，中标后转为履约和质量保证金，履行合同货到验收合格即退还履约和质量保证金，不计利息。如发生以下状况时,投标保证金不予退还：〔1〕。投标人在投标有效期内撤回其投标；〔2〕．中标在规定期限内未能:①依据规定签订合同;②依据规定缴纳履约和质量保证金。第四节

投标文件的递交 投标文件一式二份，正本一份，副本一份,每一份投标文件上要明确注明“正本”或“副本”字样,如正本和副本由差异时,以正本为准。 投标人应将招标文件用封套密封，并注明投标工程名称及标段和投标人名称及投标人代表姓名、联系和号码、通信地址、等.假设未按规定对投标文件进展密封，招标人不对投标文件负责. 截止时间前送交招标人,投标截止时间后,招标人不再受理任何投标文件。开标时间和地点

第五节

开标、评标开标的时间、地点由招标方安排进展。评标招标人将依据招标货物的特点组成评标机构,评标机构对投标文件进展审查、质疑、评估和比较。在对投标文件进展具体评估之前,招标人将依据投标文件审查投标人的技术、质量保障和生产力量,假设确定投标人无力量履行合同，其投标书将认为是废标。为了有助于对投标文件审查、评估和比较，招标人有权向投标人质疑,请投标人澄清其投标内容。评标时除考虑投标报价和技术效劳外,还将考虑货物的技术水平、货物的质量以及满足招标文件要求的程度。对全部投标人的投标评估，都将按一样的程序和标准进展.标人为本次投标的中标人。招标人对落标的投标人不作任何解释。附录一:投标书参考格式

致:本投标人 (投标人名称〕已具体批阅了招标编号关于 文件的全部内容，现正式授权签字人代表投标人 提交按招标文件规定编制的投标文件正本一份,副本一份,据此，授权签字人声明如下：投标货物标段号为 (标段号)，投标金额为 〔大写)，投标总报价为 〔大写〕。要求，遵照招标文件的全部内容,担当招标文件规定的全部责任和义务。３〕本投标人情愿担当直至合同签订时止为此项投标所开支的一切费用。4)本投标人理解招标人没有承受最低投标报价的义务。投标人名称：签署时间： 年 月 投标人地址：标段标段货物货物计量每项数量 单价 总价号 名称 描述 单位 总价附录二：投标价格表参考格式投标价格表投标人标段号〔可续页)单位盖章：授权代表签字年 月 日附录三光伏科技学院专业试验室选购设备技术指标见具体技术指标一套5源科技有限公司上海寰晟能见具体技术指标二套1源科技有限公司见具体技术指标三套1司套上海寰晟能见具体技术指标四１见具体技术指标五套5武汉众友科技见具体技术指标六套1武汉众友科技多功能物理性质套测量系统〔ＰPＭS)见具体技术指标七1PＥCＶD-350双套室等离子增加化见具体技术指标八１学气相沉积设备超高真空多对靶套磁控溅射镀膜设见具体技术指标九１备标段仪器设备名称规格／型号/技术指标标段仪器设备名称规格／型号/技术指标单位 数量推举厂商备注１太阳能光伏发电系统教学平台上海寰晟能2风光互补根本实〕３统〔室外〕456统试验仪应用平台7QｕantumＤｅsｉgn公司8限公司９沈阳科友真空技术一、太阳能光伏发电系统教学平台主要技术指标：〔一)技术指标及要求：１．承受标准工业用太阳能电池板，可置于户外和户内，角度可以调整。设备)。

具备光伏型和家用型两种掌握方式.供给多种应用负载试验:感性、阻性、功能性应用试验〔手机等智能４．带有蓄电池电源存储系统，形成混合供电系统。〔二)根本组成:名称名称单晶硅太阳能电池板〔25W)太阳能光伏掌握器户用太阳能掌握器数量１11阀控式密封铅酸蓄电池阀控式密封铅酸蓄电池１5组(三)可完成试验工程:试验１。太阳能电池发电原理试验试验１—1太阳能光伏板能量转换试验试验１－2 环境对光伏转换影响试验试验2．太阳能电池光伏系统直接负载试验试验3。光伏掌握型太阳能系统发电试验试验3—１光伏型掌握器工作原理试验试验3—2 掌握器充放电保护试验试验4-1户用型掌握器工作原理试验4—试验5。太阳能系统电器负载试验试验6．综合试验标段２：具体技术指标二：一、风光互补根本试验平台〔室内)主要技术指标:〔一〕根本组成及性能指标:组成局部

性能指标风向仪、风轮机及支撑系统太阳能板、模拟光源及掌握系统风源模拟及掌握风光互补掌握器负载局部、蓄电池扩展功能检测及掌握软件(二〕可完成试验工程：

400W，启动风速3。１4m／s；额定风速13m/s；偏航风速5ms;最大设计风速15m/s；传动方式:风轮直接驱动发电机;40~太阳能板：３0W,有效掌握功率：０~2０Ｗ；调整距离：0~7０ｃm;30０0W风源模拟、风源模拟软件；鼓风机:功率30０0W,轴流风扇，承受可调速掌握器,风速调整范围：０～１3m／ｓ;风速掌握精度：0.1m／s；；风向掌握精度:0．1度电力电子模块:稳压模块、掌握模块、逆变模块。掌握面板：风速、风向掌握面板、数据显示面板，液晶显示屏与掌握系统。24V，50AＨ,DI/DO扩展，负载包括感性负载、阻性负载,供给常用+１2V、+5V 用户扩展接口；系统配置20ＡH蓄电池。电流、电压、功率显示与检测，软件测试数据图形显示。试验1.风力发电根底理论原理性试验试验2.风力发电系统设计试验试验3。风力发电根底理论与应用技术仿真试验试验４.风力发电相关测量技术试验试验5．风力发电掌握技术试验试验6.太阳能根本理论试验试验7。太阳能发电根底理论及应用技术试验试验8．太阳能风力发电测量技术试验试验１0。风光互补发电试验3：具体技术指标三:一、风光互补发电系统(室外)主要技术指标：名称参数2名称参数2００Wp单位块数量４要求光伏电池光伏电池支架套１防腐支架连接导线套1防腐、防紫外线风机１．5kＷ台1设计寿命20年并网型逆变器台1设计寿命１5年风机塔架米1２斜拉塔架蓄电池１2V只２阀控，免维护(设计寿命3～５年逆变器10０ＡH额定输出功台1一体机设计寿５~8年,正弦波输出连接导线率1。5kW套1防腐、防紫外线仪表掌握柜套1安装传感器、掌握器、显示仪表计算机数据采集终端及软件套1(二〕其他性能:具有蓄电池充放电掌握和容量显示动功能和特别保护功能.连续过载力量１1０％瞬时过载力量１５０%，10 秒７０～４00V〔三〕可完成试验工程：风力发电、太阳能发电相关测量技术试验风力发电、太阳能发电相关变流技术试验太阳能发电根底理论原理性试验太阳能发电系统设计试验太阳能发电相关应用技术与工程试验风力发电根底理论与应用技术仿真试验4:具体技术指标四:一、太阳能综合测试平台主要技术指标：〔一〕 根本组成与参数指标：名称名称规格说明发 太阳光模拟器电 太阳能阵列单元 铅酸蓄电池光伏型太阳能掌握器户用型太阳能控检 制器测 数据接口控制 温度传感器单元光强传感器转换 ＤＣ／DＣ电源单 模块元电源输出电流表电源输出电压表显

1５０Ｗ氙灯20Ｗ～100W2０AH~１0０AHＲS２32串口输出－１0℃~100℃1２VＤC24ＶDC电源２0０—20230０luｘ,０-1０00Ｗ／m２４-20ｍA/0-5V输出９V－1８V输入、5Ｖ/１２Ｖ/24Ｖ输出９V供电0-20Ａ〔50A)

风冷、光强调整太阳能发电蓄电发电路灯方式发电供电随用随有方式发电供电有线、无线方式与上位机之间的数据传输环境温度信号检测光照度/光辐射度检测〔可选〕显示仪表供电、掌握器供电电源输出功率表示负载消耗电流表单元 负载消耗电压表负载消耗功率表计时器

9V供电0-２0V(5０V〕 掌握过程关键参数显示９V供电0－125W〔1０00W)系统运行时间累计线性电阻负载灯泡负载负 演示负载载 外接负载单元电子负载

0.1Ω~100Ω０W~2１W蜂鸣器、电机、交通灯V、５Ｖ、12Ｖ输入:0-1２0Ｖ,0－６0Ａ,０－３00Ｗ

定电阻模式试验定功率模式试验手机充电、玩具车电源定电流模式试验定电压模式试验〔选〕定功率模式试验〔二〕 可完成试验工程：试验1。太阳能光伏系统试验试验2.太阳能光伏电池发电原理试验试验3.太阳能掌握器原理试验试验4．太阳能光伏发电直接负载试验试验5．太阳能光伏发电间接负载试验试验6.太阳能光伏发电的环温影响试验试验7．太阳能光伏发电的光强影响试验试验8．太阳能光伏输出特性建仿照真试验〔拓展试验)试验９．光伏发电最大功率点跟踪试验〔拓展试验〕试验１０.太阳能光伏阵列寻日试验〔拓展试验)5：具体技术指标五：一、太阳能电池综合试验仪主要技术指标:〔一〕参数指标：1、电压表DC2０0mV、DC2V、DＣ20V、DC20０V四档手动切换，电压表最小区分率：0。1mＶ２、电流表DC２00μＡ、DC2ｍA、DC20mAD200mA四档手动切换,电流表最小区分率:０。１ｕA3、照度计量程２０Lｘ、２00Lx2００0Ｌｘ三档手动切换照度计最小区分率:0.01Ｌx光源:投光灯太阳能电池:398*３2５ｍm,10W4、工作参数:电源:22０V／５0Hｚ〔二〕 可完成试验工程：1、伏安特性测试试验；２、短路电流测试试验;3、开路电压测试试验;性测试试验；5、最大输出功率测试试验；6、短路电流、开路试验;７、电压与相对光强的函数关系试验;8、太阳能转换效率测量试验；9、太阳能电池串、并联试验;１0、太阳能电池光谱响应特性测试试验；１１、太阳能电池温度特性测试试验;12、太阳能电池风扇试验;１3、太阳能音乐声响器设计试验；14、太阳能节电照明灯设计试验；15、太阳能草坪灯设计试验;16、太阳能电池充电器设计试验；1７、太阳能电池电源电路试验；１8、蓄电池掌握试验。标段６：具体技术指标六:一、太阳能光伏发电应用平台主要技术指标：〔一〕 参数指标：数量：４块光敏面积：４＊７0０ｃm2最大输出功率：４*1０Ｗ开路电压:21.5Ｖ(并联),4*２1．5Ｖ〔串联〕短路电流：4＊0．7２A〔并联〕，0。７２A〔串联)２、自动跟踪单元跟踪方式：双轴全自动跟踪精度:±0．５°水平回转角度：36０°俯仰角度:180°电机供电电源:D系统日平均耗电量:＜1W抗风等级:1０级3、照度计量程：200Lx、2０00Ｌx、20KLｘ(200０0Lx)和200KLｘ〔20０0０0Lx〕自动换挡。照度计最小区分率：0．１Lx４、电压表量程:ＤC１Ｖ、DＣ５Ｖ、ＤC10Ｖ、ＤC１０0Ｖ电压表最小区分率：1mV５、电流表量程:ＤＣ1A、DC5A电流表最小区分率:1mＡ6、温度表及湿度表温度表区分率：0．1℃(１6位〕精度:±1℃量程范围：﹣40℃～+8０℃〔２〕湿度表区分率:0。１％RH(16位)精度：±3%RH〔25℃)，±5%RH〔0～5０℃〕,长期稳定性：±3％ＲH/ｙr〔典型值〕７、负载单元可调阻性负载:1Ω、2Ω、…9Ω九档10Ω、20Ω、…90Ω九档１０0Ω、20０Ω、…９0０Ω九档10０0Ω、20０0Ω、…9000Ω九档电压调整范围：０－3０V电流调整范围:０—10Ａ功率调整范围：0-１00W8、蓄电池标称电压：１2Ｖ标称容量:７.２Aｈ内阻：2１mΩ(完全充电〕9、太阳能蓄电池掌握器系统额定电压系统额定电压最大输入功率12V电流充电过放过压放电充电均充／浮充恢复温度补偿启动电压断开恢复切断恢复空载电流光控开电压60W5A5A120W10A１0A最大开路电压１4.4/1３．8V±1％１3．3/13.5V±1％－18mＶ/℃１2。３±1％1１。１V±１％13.2V±１％1６。５Ｖ±1％１5V±1％≤５ｍA≤２Ｖ±１％≥７Ｖ±１％25V10、太阳能充电器单元输入电压：1２V～２４V充电电压：１.５V、３.0V充电方式：恒流、恒压11、离网逆变器输入电压:ＤＣ1０－15.５V,DC20—30V输出电压:AC22０±5％输出频率:５０HZ±１HZ无负载损耗：＜8W转换效率：＞86%持续输出功率：１２0Ｗ最大瞬间功率：4０0W输出波形：纯粹弦波１2、频率表频率范围:４５-600Hz电源电压：ＡC２２０V〔二〕 可完成试验工程：1、太阳能电池板Ｖ-I特性测试试验2、太阳能电池板负载特性测试试验3、太阳能电池板工作环境4、掌握器工作原理试验5、掌握器接线实训6、蓄电池过充保护7、蓄电池过放保护8、蓄电池维护9、太阳能光伏系统电器负载实训101112131415161718192021标段７:具体技术指标七:一、多功能物理性质测量系统〔PPMS〕主要技术指标：立于计算机之外的中心掌握柜〔CPU〕12针脚样品插座和连线的样品腔、样品操作杆、样品初连线检测台、Windoｗs操作系统下的掌握软件〔自动化程度高),液晶显示器、真空泵等。可进展远程掌握和诊断。样品腔尺寸：净内径不小于２５mｍ系统磁场强度:纵向磁体:±９ T场均匀性:±0．０１％磁场稳定性:1 ｐpm／小时扫描速度:１-200高斯/秒.磁场区分率：０。02ｍＴ 0〈Ｈ＜1T, ０．2 mＴ 1<H＜９ T温度掌握范围:1.9-４０0K〔假设增加选件可拓展到5０mk~10００Ｋ),在４.2Ｋ以下可维持长时间低温测量〔不小于20230小时〕温控准确度：±１％〔从零场—9Tｅsｌa〕;温度扫描速度：0.０1 －１2K／miｎ，4.２K；多种温度掌握模式:非过冲模式，快速稳定模式和温度扫描模式温度稳定性：±0.2％fｏr温度＜10K (typ〕，±０.02% ｆor温度〉１0 K(ｔyp.〕样品室温度计分布:不少于３个高精度温度计分布在底部、颈部等不同位置使用氦气启动和运行,能够全自动实现杜瓦中液氦的自循环，可将气化的液氦液化，使其重回到杜瓦中,保持杜瓦瓶中的液氦面处于最优位置。杜瓦液氦容量：6升；正常使用需要杜瓦内液氦量:4 升;正常运行时杜瓦内的压力：7-１４Ｋpa；压缩机功率：８。６Kｗ;压缩机冷却方式：风冷ACＭＳ选件技术参数：沟通驱动频率：1０-10kHｚ；沟通场幅值:0。002-1５Oｅ;提拉法测量样品时样品移动速度：100ｃm/10次谐波;灵敏度:2×1０－8emｕ.５×1０—５emu8：具体技术指标八:一、PECVD－３50双室等离子增加化学气相沉积设备主要技术指标:真空系统

门构造；高”数显复合真空计；配薄膜规压力监控及限流阀调整系统；真空极限

≤６.67x10－５

Pa〔经烘烤除气后〕；极衬底加热:掌握方式占地面积

系统真空检漏漏率：≤5。0x１0—7Pa。l／Ｓ;停泵关机１2小时后真空度：≤５Ｐａ；工作真空度:１~1０00Ｐa；:Φ１2５mm;基片与匀气盘可在２0～8０mｍ之间可手动升降调整；膜厚不均匀性：≤±5％(￠４英吋内)；ｔ≤4０0±１℃，PIＤ智能温控仪调整控温；m频率 １3。56MHｚ,功率５０0W；一台手动及模拟〔气路)规律掌握;报警并执行相应保护措施；长×宽：２０００×200０mm;〔含关心设施)标段９:具体技术指标九:一、超高真空多对靶磁控溅射镀膜设备主要技术指标:1、本设备的试验目的为用于制备太阳能薄膜，无机半导体透亮薄膜及金属氧化物薄膜，用于薄膜太阳能电池光电效应的争论.工作方式为单靶独立工作、双靶共溅射、三靶共溅射和四靶共溅射.２、设备的组成：由超高真空磁控溅射镀膜室、进样室