多晶硅生产物料平衡技术附件(中文)

技术附件名目附件1．————————设计根底附件2．————————工艺描绘附件3．————————工艺要求附件4．————————工作范围及交托进度附件5．————————设计范围及主体设施附件6．————————性能保证值附件7．————————公用工程条件附件8．————————性能查核附件9．————————技术效劳-1-附件1设计基础复原尾气的总量及组份 (3000t/a)按物料均衡计算：序号 物质

T/a

T/h

Kmol/a Kmol/h

Nm3/h V%H2SiHCl3SiCl4HCl2

12231.36158678.0921.3277158678.0921.32771171.1157.4353915.20%41814.295.6202246.0×10333.06740.53.18%462.77

1.6440.94290.0622

6115.7 192.2 ×103

82225.830.616

18412578.6713.7

79.08%2.48%0.06%共计 220231.81

29.597

7729.6×103

23283.87

100.00%按物料均衡扩大20％计算：序号 物质

T/a

T/h

Kmol/a Kmol/h

Nm3/h V%H2SiHCl3SiCl4

14677.63190413.7150177.15

1.97325.5936.744

7338.8 1405.3 295.2

986.4188.8839.67

22094.44246.8888.6

79.08%15.20%3.18%4HCl8416.91.131230.6 ×10331.00694.42.48%5SiH2Cl2555.320.07465.5×1030.73916.440.06%共计264240.7135.51561246.6927940.64100.00%复原尾气回收系统进口参数：温度：≤45℃压力：≥3kg/cm2(A)-2-氢化尾气的总量及组份 (3000t/a)按物料均衡计算序号 物质H2SiHCl3

T/a8318

T/h1.118

Kmol/a4159 356234.788356234.788263×1035.37924.5%420435727.4671202×103161.6361920.4%

Kmol/h559

Nm3/h12522

V%70.6%SiClHClSiH2Cl2共计

9631

31.294 263×103

35.3

792

4.5%257929 34.667 5887×10 791.217725100％按物料均衡扩大20％计算序号 物质9981.61.3429981.61.342670.8115026.170.6%42747.65.74642.40949.84.5%245228.432.961193.894343.120.4%11557.21.55342.40949.84.5%2SiHCl3SiCl4HClSiH2Cl

T/a

T/h

Kmol/a

Kmol/h

Nm3/h V%3共计 309514.8 41.602 7064.3×10 949.50 21268.8 100％3氢化尾气回收系统进口参数 ：温度：≤45℃压力：≥3kg/cm2(A)-3-合成尾气的总量及组份 (3000t/a)按物料均衡计算序号 物质H2SiHCl3

T/a51629372

kg/h69.353947.85

Kmol/a258×103216.8×103

Kmol/h34.6829.14

Nm3/h776.77652.63

V%48.69%41.08%3SiCl42876386.5616.9×1032.2750.933.21%4HCl772103.7621.2×1032.8463.684.01%5SiH2Cl21580212.3715.6×1032.1047.103.01%共计351164719.89528.5×10371.031591.11100.00%按物料均衡扩大20％计算序号 物质H2SiHCl3SiCl4HCl

T/a35246.44737.4235246.44737.42260.1×10334.96783.1641.08%3451.2463.872.7361.123.21%926.4124.523.4176.424.01%

kg/h83.23

Kmol/a309.6×103

Kmol/h41.61

Nm3/h932.13

V%48.69%5SiH2Cl21896254.8418.8 ×1032.5256.523.01%共计42139.25663.88634.2×10385.231909.35100.00%合成尾气回收系统进口参数：温度：≤45℃压力：≥2.5kg/cm2(A)-4-附件2工艺描述尾气回收系统接收反响炉排出的尾气，并把它们分别成为 氯硅烷混淆液、HCLH2。从反响炉排出的热的尾气在管壳式换热器内冷却，将气态氯硅烷冷凝为氯硅烷液体。节余的气体送入压缩机。HCLHCL气体被低温液态氯硅烷加压吸取。〔2HCLH2分别回收。〕氯硅烷富液被送到 HCL分析塔，在此HCL以液态形式与H2分别回收。HCL加压吸取塔出来的氢气被送到活性碳吸附柱，除掉节余的杂质。干净的氢气将被回收用于复原炉中。碳吸附柱经过热重生的方式工作。-5-附件3工艺要求合成系统的尾气按3000t/a一套回收系统考虑；回收系统的氢压机按250%考虑〔2×50％〕，设一台备用机〔50％〕。1500t/a线一套回收系统考虑〔3000t/a氢化需两套回收系统〕；250%考虑〔2×50％〕，每套回收系统设一台备用机〔50％〕。1500t/a线一套回收系统考虑〔3000t/a复原需两套回收系统〕；333%考虑〔3×33％〕，每套回收系统设一台备用机〔33％〕。(各两套回收系统)需考虑在一套消灭问题的状况下，另一套可以办理有问题套系统对应的尾气〔即考虑两套回收系统用管道互联〕。每套回收系统均在系统前增设一个尾气的储罐；在系统后增设H2、HCl的储罐，体积另议。依据中国国内实质运转的阅历，中方建议 CDI尾气回收系统中的 R22的蒸发冷凝器承受满液式构造。依据中国国内实质运转的阅历，中方建议CDI尾气回收系统中设置 3个活性炭吸附柱。CDI尾气回收系统温度≤－20316的不锈钢材质；＞－20℃的局部承受一般碳钢材质。中方建议在泵前面增加过滤，承受 2个过滤器并联的构造。中方建议在主要设施出口加过滤器。中方建议在重点设施处加装阀门，以便于修理。-6-附件4工作范围及交托进度以下规定的日期为估量提交技术资料的时间。CDI企业将尽可能提早一周交托技术资料。CDI企业将经过电子邮件提交PDF版本的资料供买方审察。终版技术资料将提交电子版和纸质版，包含全尺寸图纸。进度付款要求的技术资料 交托进度〔合同奏效后〕工艺流程图〔PFD图〕第一版管线仪表流程图〔P&ID图〕压缩机规格冷冻机规格()部署图纸和设计参数公用工程清单管道规格参数电力单线图第一版平面部署图泵数据表R22蒸发冷凝器换热器数据表换热器平面布局图终版平面部署图自动阀门数据表掌握系统设计(收到中方反响资料后)构造设计()(收到中方反响资料后)

4周4周4周4周8周8周8周8周8周14周14周14周14周14周20周10周16周16周16周-7-需准时提交以下其余技术资料，不受进度付款拘束减压阀计算书减压阀数据表阀门清单仪表清单仪表数据表绝热规格参数电气原理图〔闭路〕吸附柱程序图表操作说明带设定值的I/O 数据表终版管线仪表流程图〔P&ID图〕不限于以上

24周24周24周28周28周8周16周16周28周28周28周如消灭文件迟交的状况，将处于每周补偿相应工程进度款最大限额为合同总价款的2.0%。

0.2%的罚款，中方提早90天通知CDI企业，CDI企业保证90天内将活性炭Chlorsorb RL-13运抵中国天津。ChlorsorbRL-13 的供货条件两方将经过最终商定ChlorsorbRL-13 的供货条款和条件。CDI中国制造商转变并制造设施。-8-附件5设计范围及主要设施设计范围CDI企业依据合同规定，应供给的系统设计系指为了保证复原尾气回收、氢化尾气回收和合成尾气回收系统可以独立工作的完好系统设计。CDI企业应供给尾气回收系统下述主要设施的必需的和充分的工程设计资料。以下设施单是一套尾气回收系统的内容。 CDI企业保证系统配CDI企业供给的规格参数采买和安装全部设施。尾气和重生气体压缩机组采买规格参数包含：压缩机电机中间冷却器后冷却器脉冲除去装置润滑油系统冷冻机组采买规格参数包含：容器：HCL吸取塔HCL分析塔吸附柱氯硅烷缓冲罐压缩机吸取储罐-9-压缩机排放储罐膨胀罐回流罐重生气体分别器回收氢器过滤器H2储罐HCL储罐尾气储罐换热器〔依据要求〕泵氯硅烷泵氯硅烷泵热液泵阀门自动球阀数据表掌握阀数据表释压阀数据表自控仪表数据表吸附塔次序图表和规律图吸附剂CDI将供给吸附塔最先运转所需的吸附剂不限于上述范围。-10-

ChlorsorbRL-13。说明全部工程设计均承受英文,ASTM〔美国资料试验协会〕资料等级。5.2.2.压力容器制造商肯定具备中华人民共和国特别设施制造允许证。可使用CDI企业指定资料同样的当地资料。施工指导和开机指导不包含在合同总价内，供给有关效劳。-11-

但可在依据费率付费的状况下附件6性能保证值CDI回收系统所回收的H2HCL和氯硅烷都应知足下边的参数：H2210kg/cm(A)质量要求：回收率≥98%H2≥99.995%(V)(V)0.001%(V)60℃

7kg/cm2(A)20℃质量要求：回收率≥98%H2≤5%(V)0.5%(V)氯硅烷240℃

(A)质量要求：回收率≥99%HCL≤1%(V)-12-附件7公用工程条件蒸汽：循环水：电：2N22H：2脱盐水：压缩空气及仪表空气：平面部署空间要求：“三废”办理量及办理方法：冷冻盐水：-13-附件8性能考核性能查核HCL和氯硅烷的纯度肯定到达规定的值。CDI企业将建议工艺改进和/或设施的改换，以到达保证纯度。关于由 CDI企业设计并由买方供给的设施，假设肯定改换设施才能知足工艺要求，

CDI公司将肩负所述设施费的25%，但最多不超出合同总金额的5%。假设回收的氢肚量少于98%，CDI25%的花5%。HCL95%，CDIHCL25%的花5%。假设回收的氯硅烷量少于98%，CDI25%的5%。查核说明CDI企业仅对本合同项下由CDI企业供给设计的设施进展担保。责任的限制。无论任何原由，CDI企业肩负的最大责任不超出合同10%。-14-附件9技术服务9.1设计联系会合同价钱包含两次设计联系会。两方将商定设计联系会的时间。第一次设计联系会在