GB/T 43798-2024平板显示阵列用正性光阻材料测试方法

ICS31030

CCSL.90

中华人民共和国国家标准

GB/T43798—2024

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

Testmethodofpositivephotoresistformanufacturingofflatpanel

displayarray

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T43798—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

测试条件

4…………………2

环境条件

4.1……………2

试剂材料

4.2……………2

其他配套

4.3……………2

测试项目

5…………………2

胶膜云纹

5.1……………2

曝光量

5.2………………4

曝光测试观察图形完整性

5.3…………6

关键尺寸

5.4(CD)………………………6

残膜率

5.5………………7

固含量

5.6………………8

液体颗粒计数

5.7………………………9

粘度

5.8…………………10

相对密度

5.9……………11

水分质量分数

5.10……………………11

金属杂质含量

5.11……………………11

试验报告

6…………………13

Ⅰ

GB/T43798—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位京东方科技集团股份有限公司上海彤程电子材料有限公司中国电子技术标准

:、、

化研究院阜阳欣奕华材料科技有限公司江阴润玛电子材料股份有限公司福建泓光半导体材料有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人杨澜程龙吴怡然赵俊莎曹可慰李琳吴京玮岳爽李璐戈烨铭何珂

:、、、、、、、、、、、

曾成财袁晓雷

、。

Ⅲ

GB/T43798—2024

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

1范围

本文件描述了平板显示阵列用正性光阻材料的测试方法

。

本文件适用于液晶显示器件有机发光显示器件等显示阵列制造用正性光阻材料的性能测试

、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

化学试剂电感耦合等离子体原子发射光谱法通则

GB/T23942

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.11:

仪器分析用高纯水规格及试验方法

GB/T33087

薄膜晶体管液晶显示器用四甲基氢氧化铵显影液

GB/T37403(TFT-LCD)

化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则

GB/T39486

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

曝光量exposureenergy

光阻材料单位面积吸收光能或其他辐照能的剂量

。

注用于衡量光阻材料对曝光的敏感程度光学曝光中在给定的曝光光源强度条件下通常通过曝光时间长短调整

:,,

曝光量

。

32

.

基底片substrate

用于光阻材料涂布的衬底材料

。

注本文件中基底片可以是单晶硅片外延硅片以及平板显示用玻璃片等

:、,。

33

.

前烘softbake/prebake

光阻材料通过涂布过程后