集成电路产业链安全生产指导服务手册（2023版）

盐城市重点产业链

安全生产指导服务手册

集成电路产业链

盐城市安委会办公室

2022年12月

集成电路产业链

序

近年来，市安委办以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，紧扣

党的二十大提出的“坚持安全第一、预防为主，建立大安全大应急框架，完

善公共安全体系，推动公共安全治理模式向事前预防转型。推进安全生产风

险专项整治，加强重点行业、重点领域安全监管”重大要求，全面落实市委

八届四次全会精神，围绕“奋力谱写中国式现代化盐城新篇章”和“建设四

个绿色之城”的战略定位，将服务全市23条重点产业链安全发展作为安全生

产工作的重中之重，深入开展重点行业领域安全生产专项整治，组织专家团

队指导服务，扎实推进安全体系和能力现代化，努力以新安全格局保障新发

展格局。

在服务过程中，市安委办建立了“重点产业链安全指导服务”挂揭榜工

作机制，通过市级公开挂榜、县级主动揭榜，实现市县联动、部门参与、分

类推进、攻坚克难，激发工作活力、增强工作动力。各县（市、区）成立工

作专班，聘请安全专家、专业技术人员参与，广泛开展调研，走进企业、深

入现场，摸清本地重点产业链企业的现状；从企业原辅材料、设施设备、生

产工艺、作业场所和安全管理等方面，多角度、多层次深入剖析，总结提炼

重点产业链安全特点、固有风险及安全管理重点难点堵点问题；针对易发事

故的生产场所、作业环节和作业行为，依据国家法律、法规和标准规范要求，

提出产业链危险有害因素辨识内容及其防范措施。在此基础上，市安委办多

次召开会议研究讨论，组织相关行业领域的省市安全专家进行市级审核、专

家评审，形成了《盐城市重点产业链安全生产指导服务手册》。

本手册主要包括概述篇、产业链上中下游篇、制度篇、通用管理篇、展

望篇和附则篇等。概述篇主要介绍产业链历史沿革、产业分布、产业现状等；

盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

产业链上中下游篇主要介绍产业链企业主要工艺和关键设备简介、危险有害

因素分析、常见问题和隐患等；制度篇主要介绍产业链企业适用的行业法律

法规及相关规章制度等；通用管理篇主要介绍产业链企业常见通用设备设施

安全技术要点、人机料物环定制化管理相关内容等；展望篇主要介绍产业链

生产安全面临的机遇与挑战以及未来行业安全发展趋势等；附则篇主要介绍

产业链企业典型生产安全事故案例剖析、适用的法律法规和援引的标准规范

等。

本手册采用图文并茂的形式，深入浅出，力求内容全面、通俗易懂，便

于企业在实践中借鉴和部门在监管中参考。本手册将随着我市经济社会发展

和重点产业链企业安全管理等情况，不断进行完善提升。

集成电路产业链

刖百

集成电路产业生产工序有简有繁、上下游企业点多线长、危险因素相对

较多，涉及金属设备制作、工程塑料设备制作、仪器仪表制造、危险化学品

使用等生产工艺，同时还涉及设备的运输、安装、检维修过程中，存在机械

伤害、起重伤害、高处坠落、触电等多种风险，安全难点难以统一管控。

集成电路产业作为盐城市重点发展产业链，由于起步时间较晚、企业主

体责任重视程度不够、安全监管历史欠账较多等原因，产业链企业安全保障

能力的发展还滞后于行业发展的总体要求。

为进一步强化集成电路产业链企业安全生产基础能力建设，提升本质安

全水平，有效预防与遏制各类事故的发生，市安委办组织编写了《盐城市重

点产业链安全生产指导服务手册（集成电路产业链）》。

该手册结合集成电路企业的安全特点，针对易发事故的生产作业场所、

环节、部位和作业行为，依据国家法律、行业法规、标准和技术规范，提出

了大气污染防治设备危险、有害因素辨识的主要内容及其防范措施，手册同

时系统总结了生产中安全检查的要点，常见隐患的排查及整改相关措施，并

提出了相应法律规范援引，供相关企业、安全监管部门、政府招商引资、项

目投资人在实践中借鉴参考。

由于集成电路行业门类众多，企业差别较大，加之编写时间和水平所限,

本手册中难免存在不足之处，欢迎大家在参考使用的同时，多提宝贵意见，

以便于及时改进完善。

本手册编制工作，得到盐都区安委办的大力支持和积极配合，在此表示

感谢！

集成电路产业链

目录

产业链一概述篇........................................................1

1集成电路产业相关定义与概述..........................................2

1.1集成电路(IntegratedCircuit)...................................................................................2

1.2集成电路产业(ICindustry).....................................................................................2

1.3集成电路产业全景图..............................................2

1.4集成电路产业链发展与分布现状....................................3

1.5集成电路产业链主要工艺过程......................................4

1.6集成电路产业链企业安全生产现状..................................4

1.7集成电路产业链主要危险、有害因素................................5

1.8盐城市集成电路产业链较大以上安全风险...........................11

产业链上游一半导体材料及设备篇.......................................13

2半导体生产制造.....................................................14

2.1特种气体安全管理要点...........................................14

2.2危险化学品试剂安全管理要点.....................................16

产业链中游一集成电路设计、制造篇.....................................17

3集成电路设计、制造.................................................18

产业链下游一集成电路应用篇...........................................19

4集成电路的应用.....................................................20

4.1机动车辆安全管理要点...........................................20

4.2叉车作业安全管理要点...........................................20

4.3人工装卸作业安全管理要点.......................................21

产业链安全管理一制度篇..............................................23

5集成电路产业链安全管理体系.........................................24

5.1推进安全生产标准化建设..........................................24

盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

5.2安全生产组织体系...............................................28

5.3安全生产目标和责任体系.........................................28

5.4安全生产规章制度体系...........................................28

5.5组织制定并实施本单位安全生产操作规程...........................30

5.6安全生产教育培训体系...........................................31

5.7安全生产投入...................................................32

5.8安全生产文化体系...............................................33

5.9安全风险分级管控和隐患排查治理双重预防工作机制.................33

5.10工业企业安全生产风险报告......................................35

5.11建设项目安全设施“三同时”......................................37

产业链安全生产一通用管理篇..........................................39

6集成电路产业链现场安全管理.........................................40

6.1消防设施及器材安全管理.........................................40

6.2应急疏散安全管理...............................................40

6.3现场电气安全管理...............................................41

6.4高处作业安全管理...............................................43

6.5吊装作业安全管理...............................................43

6.6动火作业安全管理...............................................44

6.7危险化学品安全管理.............................................46

6.8有限空间安全管理...............................................47

6.9集成电路产业链应急管理.........................................48

6.10集成电路产业链隐患排查和治理..................................49

产业链管理一附则篇..................................................65

7事故案例...........................................................66

8行业涉及的主要法律法规与安全标准...................................74

8.1法律、法规依据.................................................74

8.2标准、技术规范依据.............................................76

集成电路产业链

集成电路产业安全生产管理

产业链一概述篇

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

1集成电路产业相关定义与概述

1.1集成电路(IntegratedCircuit)

集成电路或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、芯片(chip),

是一种微型电子器件或部件，是采用一定的工艺，将电路中所需的晶体管、电阻、

电容和电感等元件及布线互连一起，制作成一小块或几小块半导体晶片或介质基

片，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，可使电子元件在

小型化、低功耗、智能化和可靠性等方面更进了一步，在电路中用字母“IC”表示。

1.2集成电路产业(ICindustry)

集成电路产业作为信息产业的核心与基础，是关系国民经济的和社会发展全局

的基础性、先导性和战略性产业。随着产业分工的不断细化，集成电路产业链通常

由芯片设计制造、芯片分销以及终端电子产品涉及制造等环节组成。

1.3集成电路产业全景图

近几年，我国集成电路产业得到快速发展，以人工智能、智能制造、汽车电子、

物联网、5G为代表的新兴产业正在快速崛起。特别是国家重大科技专项和集成电

路产业发展实施纲要的出台，对集成电路产业的发展起到了很大的促进作用。

嘉成电路设计

臬成电路设计CAD设计除证

集成电路制造

高于拉入

扩散电平

光阳去除

集成电路封装

晶囱点测

封装打线

CM*匕材料

WAFER消试

图1.3-1集成电路产业全景示意图

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集成电路产业链

集成电路产业链上游主要为半导体材料及设备，包括硅片、光刻胶、靶材、检

测设备等；中游包括集成电路设计、集成电路制造、集成电路封测；下游为集成电

路的应用，包括通讯、消费电子、计算机、汽车电子、医疗器械、新能源等。

1.4集成电路产业链发展与分布现状

集成电路产业链市场前景好、成长空间巨大，是盐城重点产业链培育行动计划

中极具发展潜力的一条产业链。全市现有集成电路产业链企业26家，其中盐都10

家、东台3家、建湖9家、滨海3家、市开发区1家。2021年全市集成电路产业

链实现销售37.04亿元，其中盐都15.42亿元、建湖7.72亿元、东台6.72亿元、

滨海5.93亿元、开发区1.25亿元。全市共有规上企业19家，其中盐都7家。

盐城市集成电路产业链主要集中在上游关键部件及生产设备制造环节，主要产

品有芯片、功率半导体、通讯模组及存储器、芯片涉及、芯片封装测试等。产业链

企业主要分布于盐城市盐龙街道、张庄镇及秦南镇。

建湖县集成电路总体处于产业链的下游，以芯片组装和部分终端电子产品的制

造为主。

图1.4-1盐城市主要集成电路产业集群分布示意图

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

滨海县产集成电路产业基本处于集成电路产业的中游和下游环节，主要从事集

成电路芯片、电子元器件的制造和集成电路的封测。

东台市集成电路产业链主要集中在上游关键部件及生产设备制造环节。重点发

展IC封装基板、集成电路设计和封测等细分领域。已梳理集成电路产业链头部企

业17家，其中上游材料企业3家，中游制造企业8家，下游封测企业6家，主要

代表企业有：深南电路、士兰微电子、长电科技、华达微电子等。

1.5集成电路产业链主要工艺过程

集成电路工艺(integratedcircuittechnique),就是把电路所需要的晶体管、

二极管、电阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬

底上，再用话当的工艺进行互连，然后封装在一个管壳内，使整个电路的体积大大

缩小，引出线和性接点的数目也大为减少，集成电路的设想出现在50年代末和60

年代初，是采用硅平面技术和薄膜与厦膜技术来实现的，电子集成技术按工艺方法

分为以硅平面工艺为基础的单片集成电路，以薄膜技术为基础的薄膜集成电路和以

丝网印刷技术为基础的厚膜集成电路。

利用研磨、抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、蒸发等一整套平面工艺技术,

在一小块硅单晶片上同时制造晶体管、二极管、电阻和电容等元件，并采用一定的

隔离技术使各元件在电性能上互相隔离，然后在硅片表面蒸发铝层并用光刻技术刻

蚀成互连图形，使元件按需要互连成完整电路，制成半导体单片集成电路。主要工

艺流程图如下：

图1.5-1生产工艺流程框图

1.6集成电路产业链企业安全生产现状

自安全生产专项整治行动以来，产业链企业进一步强化安全红线意识和底线思

维，加大源头管控、标本兼治，着力依法推动安全生产主体责任落实和全市安全生

产形势持续稳定向好。

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集成电路产业链

从工艺流程分析，企业的安全风险和一般工贸行业企业相差不大，主要的工艺

流程压铸、组装、机械加工，部分企业涉及到危险化学品的使用、受限空间、特种

作业等较大安全风险。

1.7集成电路产业链主要危险、有害因素

根据《生产过程危险和有害因素分类与代码》(GB/T13861-2022)以及《企业

职工伤亡事故分类标准》(GB6441-1986)辨识，各主营产品生产过程存在着火灾、

其他爆炸、容器爆炸、机械伤害、触电、车辆伤害、物体打击、起重伤害、高处坠

落、中毒和窒息、淹溺、灼烫、人的失误、自然灾害等危险、有害因素。

1.7.1火灾、其他爆炸

①操作人员在生产现场吸烟或其他火种，引燃可燃物，造成火灾事故。

②可燃、易燃原辅材料遇明火引起火灾事故。

③防雷、防静电设施存在缺陷，建构筑物遭遇雷击引起火灾事故。

④各种设备均由电气操作，电气设备、线路选型错误、短路、超负荷、接触不

良，会产生电火花，引起火灾事故。

⑤检修动火作业时，未严格执行检修管理制度，未视风险情况进行动火作业审

批，作业时现场缺少安全管理人员，存在动火作业引燃附近电缆的危险。

⑥若灭火器配置不足或者失效，发生着火事故时不能及时灭火，极易造成火灾

蔓延的危险。

1.7.2容器爆炸

①压力容器、空气管道超负荷致容器超压有可能发生爆炸。

②压力容器、管道超期运行，过期未检测，有可能发生爆炸。

③压力容器安全附件未定期检测、失灵等，致空压机超压，有可能发生容器爆

炸。

④压力容器超出使用年限未及时更换，年久失修，可能会发生容器爆炸事故。

1.7.3机械伤害

机械伤害指设备运动(静止)部件、工具、加工件、直接与人体接触引起的夹

击、碰撞、剪切、卷入、绞、割、刺等伤害，不包括车辆、起重机械引起的机械伤害。

易造成机械伤害事故发生的因素主要有：

①机械设备的转动部位或外露的锋利部位未做防护，无安全保险装置、无安全

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

标志、无护栏或者护栏损坏等，被人体接触，机械设备的切割部位、突出部位及尖

锐部位会对人体造成直接伤害；其转动位置会将人的四肢、衣服、头发卷入设备内

造成人员的机械伤害。

②高速旋转的设备，如果设施密封不严或者管道、门体和密封胶条等破损，会

带来粉尘飞溅伤人事故。

③检修、检查机械时忽视安全措施。如检修机械设备时，未切断电源，未挂警

示牌，未设专人监护等易造成机械伤害。

④设备的电源开关布局不合理。一旦遇有紧急情况不能做到立即停车，或者是

几台机械开关设在一起，均可能造成误启动机械引发人机伤害。

⑤机械的检修、保养未在停机状态下进行。在设备检修、保养时其危险部件往

往处于外露状态，如果违章作业或监管不当，特别是在动态检查、调整、调试时，

易发生机械伤害。

⑥机械的控制参数出错，转动机械速度过快，有造成机械故障的可能，有可能

伤及附近操作人员造成机械伤害事故。

⑦易发生危险的设备或设备危险部位未设置安全警示标志，操作人员操作失

误，有造成机械伤害的危险。

⑧教育培训不到位，未经过培训上岗，操作者业务素质低，缺乏安全知识和自

我保护能力，不懂得安全操作技术，操作技能不高，工作时注意力不集中，对工作

马虎大意，责任心不强，受外界影响而情绪波动，不遵守操作规程，都是发生机械

伤害事故的间接原因。

1.7.4触电

各企业生产设备设施均采用电气化进行，其配备的电气设施在生产运行中出现

故障时，容易造成触电事故，导致人员伤害。可能造成人员触电的情况有：

①电气设备的绝缘不符合相应的电压等级要求，或者因遇到各种机械性的挤、

压、砸等因素而使绝缘损坏。

②电气设备的安全距离不够；更换厂房照明、临时接线等作业时未执行停电确

认制度；对变压器进行清扫、接头紧固和实验时未执行停电、验电、挂牌等制度。

③电气设备和线路未按规定要求设置漏电保护装置；电气设备和线路未按规定

位置配置准确、统一的安全标志。

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集成电路产业链

④电气设备无过流保护或过流保护不当，电动机无过载保护或过载保护不当。

⑤电气设备产生静电引起的电击危险。

⑥操作过程中未按规定穿戴配电专用的劳动防护用品、地面未铺设绝缘垫板、

违规操作等引起的触电伤亡事故。

1.7.5车辆伤害

车辆伤害是指企业机动车辆在行驶中引起的人体坠落、物体倒塌、下落、挤压

等伤亡事故，不包括因机械设备提升、牵引车辆和车辆停驶时发生的事故。

使用叉车、托盘堆垛车及外来车辆运输，可能发生车辆伤害。车辆伤害事故发

生的方式主要有挤、撞、压人和物料滚落伤人等。

①车间内设置人行路线和叉车行驶路线，设置警示牌与指示标志，指示叉车的

安全行驶，如果叉车不按照路线行驶或者制动失灵、转向失灵，均容易导致车辆伤

害的发生，造成人员伤亡或财产损失。

②叉车属于特种设备，若驾驶人员未取得特种作业证书，无证操作，叉车未定

期进行检测检验，容易发生车辆伤害事故。

③叉车司机不按安全操作规程作业，可造成车辆伤害的危险。疲劳驾驶、酒后

驾驶也是导致车辆事故的直接原因。

④使用叉车运输货物时，因为货物重心不稳，或者未采取固定措施，当时运输

时货物脱落，若附近存在作业人员，可造成物体打击事故。

1.7.6物体打击

机械设备在运转过程中机械部件、工件等脱落、飞出，引起物体打击；生产车

间内部分设备位置比较高，在维修时存在工具、附件、零部件等物件失落、飞落而

导致物体打击，不仅会造成人员伤亡、财产损失，还会造成二次事故。具体危害如下:

①高处物体未被固定受碰撞、风吹、振动等坠落，可能造成物体打击。

②无防范措施从高处抛掷物品，可能造成物体打击。

③搬动物品时由于疏忽大意，可能造成物体打击。

④选用工具不当造成翻倒、挤压，可能造成物体打击。

⑤设施受损倒坍以及碎片飞溅等都有可能对人员造成物体打击伤害。

⑥检修作业中违章作业，易造成物体打击事故。

⑦动力设备运行过程中存在电器故障、电击，可能造成物体打击等二次事故。

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

⑧在货物的搬运、装卸等作业过程中，容易造成物体打击事故。

⑨检修作业中违章作业，易造成物体打击事故。

1.7.7起重伤害

升降机、电动葫芦等起重设备本身存在缺陷或缺乏必要的安全防护；设备转运

时吊索断裂；在作业时信号缺陷，标志缺陷，操作失误和监护失误、违反操作规程、

违章指挥，都易造成碰撞、物体坠落等起重伤害事故。具体危害如下：

①操作工人被轧在运动机件与固定物件之间或被坠落重物击伤。

②安装或拆卸起重机的工人从高处坠落。

③操作人员或其他人员接触到架空电线或其它带电导体。

④起重机超载致使起重物坠落而造成伤害。

⑤起重机械有发生电气火灾的危险。

⑥操作人员或其他人员在作业时站位不准确（如在吊物等位置）有物体打击的

危险。

1.7.8高处坠落

工业生产中主要登高装置有直梯、斜梯、活梯、活动架、脚手架（通用的或塔

式的）、吊笼、吊椅，升降工作平台、动力工作平台等。凡高度在基准面2m以上的

高处作业称为高处作业。有少许设备、设施的高度在2m以上，如屋顶消防检查维

修、电梯（井）维护保养等，存在高处作业。造成高处坠落伤害发生的因素主要有:

①设备、设施工作平台栏杆损坏，或者设计不符合有关规范。

②作业人员身体状况差，不符合高处作业的安全要求；安全防护设施有缺陷，

没有醒目的警示标志。

③未实行危险作业审批制度，高处作业现场无安全监管人员在场，劳动防护用

品穿戴不到位等，都有可能发生高处坠落事故。

1.7.9中毒和窒息

经辨识为有限空间的各个除尘器、消防水箱、搅拌釜、尾气处理设施、冷却循

环水池、污水池等的清理、检维修作业为有限空间作业，有可能因作业前通风不足、

违章作业等发生中毒和窒息事故。

生产过程中使用的甲、乙类危险化学品可能造成中毒事故。

1.7.10淹溺

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集成电路产业链

消防水箱、冷却循环水池，如未设“当心淹溺”、“有限空间禁止入内”等安全

警示标志，容易造成人员不幸溺水乃至死亡。

1.7.11灼烫

灼烫指火焰烧伤、高温物体烫伤、化学灼伤（酸、碱、盐、有机物引起的体内

外灼伤、物理灼伤（光、放射性物质引起的体内外灼伤、不包括电灼伤和火灾引起

的烧伤）。

灼烫主要包括高温液体、溅出、高温、设备表面。

具体表现如下：

①违章作业；

②未正确穿戴防护用品：a,防护用品缺乏；b.因故未戴防护用品，缺乏防范知

识和意识；

③防护用品失效：a.防护用品破损；b.防护用品质量不合格；c.选型不当；d.

泄漏应急不当；e.防护用品使用不当；

④高温作业人员受环境热负荷的影响，作业能力随温度的升高而明显下降。研

究资料表明，环境温度达到28C时，人的反应速度、运算能力、感觉灵敏性及感

觉运动协调功能都明显下降。35c时仅为一般情况下的70%左右；极重体力劳动作

业能力，30℃时只有一般情况下的50%-70%,35c时仅有30%左右。使劳动效率降

低，增加操作失误率。高温环境会引起中暑，长期高温作业可出现高血压、心肌受

损和消化功能障碍病症。

1.7.12噪声

在生产过程会产生噪声，长期接触噪声会对人体和环境产生危害，其危害程度

主要取决于噪声强度（声压）的大小、频率的高低和接触时间的长短。止匕外，危害

程度与噪声的特性、接触方式和个体敏感性有关。

其对人体的危害主要有以下几个方面：

①听力和吸觉器官的损伤：人听觉器官的适应性是有一定的限度的，长期在强

噪声的作用下，听力逐渐减弱，引起听觉疲劳。若长年累月在强烈噪声的反复作用

下，可能导致内耳器官发生了器质性病变，引起噪声性耳聋。

②引起心血管系统的病症和神经衰弱：噪声可以使交感神经紧张，表现为心跳

加快，心律不齐，血压有波动，心电图阳性率增高，噪声引起神经衰弱，如头痛、

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

头晕、失眠、多梦、乏力、记忆力衰退、心悸、恶心等。神经衰弱的阳性率随噪声

声级的增设而增高。

③对内分泌系统的影响：噪声可导至交感神经活性增加，肾激素分泌增加，尿

中儿茶酚胺排出量增加，性腺功能发生变化，周期紊乱，月经失调，生殖能力下降。

④对消化系统的影响：噪声可导至胃肠功能紊乱，消化功能减弱，有消化道溃

疡报道。

⑤对心理精神影响影响：长期接噪，影响工作效率，干扰谈话，妨碍休息，健

忘厌烦苦恼，情绪坏。

1.7.13人的失误

作业过程存在个人失误或集体失误的可能，如违章作业、违章指挥、违反劳动

纪律、决策失误、信息交流失误等。操作人员安全意识不强、习惯性违章。如：检

查、检修设备时不停机。

1.7.14自然灾害

自然环境条件中对生产装置及其相关设施可以造成危险的因素主要包括地震、

雷击、气温、风、暴雨等。

①地震

地震是一种能产生巨大破坏作用的自然现象，尤其对建构筑物的破坏作用明

显，严重威胁建筑、设备和人员的安全，地震还可进一步引发火灾、爆炸等事故。

盐城市的地震动峰值加速度为0.05g(相当于六度，城市生命线工程要高一等

级设防。根据《中国地震动参数区划图》(GB18306-2015)和《建筑抗震设计规范》

(GB50011-2010,2016版)，工程建筑抗震设防类别为丙类，抗震设防烈度为6度，

设计基本地震加速度为0.05g,场地类别IV类。

②雷击

建筑及设备缺少防雷电设施就有可能遭受雷电侵袭破坏，电器设备火灾爆炸、

人身伤害等。

缺少避雷设施或避雷设施接地不良，放静电接地电阻过大，都可能遭到雷击或

雷电感应放电。

①雷电可直接造成人员伤亡，建筑物损毁、设备损坏。

②雷电还可能衍生火灾、停电等其他事故，造成人员伤亡、财产损失。

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集成电路产业链

③气温

1）本地极端最高气温可达38.75C,高温使作业环节的危险性增大，喷漆设

备，焊接、切割使用的气瓶等，长时间受高温影响，管道等易发生膨胀，管道、阀

门和泵等设备连接处也易渗漏。在高温环境下，生产人员在高温环境中易出现操作

失误。异常高温期间可能发生的事故分析在异常高温天气。在夏季高温期间，在通

风较差的室内由于通风条件差、局部湿度大及高温，极易造成人员缺氧中暑或休克。

高温还会增加人的疲劳与懈怠程度，致使作业人员反应迟钝，容易出现差错，增加

事故发生的可能性。

2）所在地极端最低气温为-11.8℃,冬季会受到低温危害。在低温气象条件下,

循环水管可能会堵塞，严寒有可能导致设备、管道、阀门冻坏破裂，并造成物质泄

漏和人员冻伤。体温下降，操作能力降低，注意力不集中，作业失误率增高。另外

冰冻地面还易引起滑倒摔伤。

④强风

区域年平均风速：3m/s,不是很大，但会短时间出现强风现象，风速最大为

23m/so建、构筑物或设备设施等若受风载荷能力不足，有坍塌的危险。室外高大

设施，如电线杆若基础固定不牢靠等因素，人员作业时受到危害。

⑤暴雨

夏季时节，往往伴有暴雨，若场区防洪及排水设施不良，会对临时储存区、生

产区等造成影响。

1）雨天车辆驾驶员视线不清，地面积水不利于车辆制动，易造成车辆伤害事故。

2）雨天地面摩擦系数降低，作业人员易滑倒。可能造成高处坠落或落水淹溺。

3）雨天易造成电气短路或引发触电事故。

4）暴雨天如排水不畅，影响安全作业。

⑥地质条件

项目所在地地质条件良好，断裂构造不发育，不会对项目建设和安全运行造成

大的影响。

1.8盐城市集成电路产业链较大以上安全风险

根据各企业申报数据统计，产业链主要存在2类较大以上安全风险，分别为：0301

项有限空间作业、0309项储存场所易燃、可燃、有毒物料泄漏、燃烧，详见下表。

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

全

安

险

风险代码/风可能导致的事故风

序号危险因素名称主要防控措施

级

险名称类型及其后果等

1.未开展有限空间辨识，未设管理措施：

置明显安全警示标志；1.开展有限空间辨识，并设置明显安全警示标志；

2.未严格执行有限空间作业管2.严格执行有限空间作业管理制度和操作规程；履行作业许可手续；

理制度和操作规程，未履行作3.对有限空间作业相关人员进行专项安全培训教育。

业许可手续；技术措施：

3.未对有限空间作业相关人员1.作业前，先通风，现场作业人员在佩戴好空气呼吸器、全身式安全

较

进行专项安全培训教育；带等防护用品的前提下，排净阀门井内的积水：再检测，对其氧气含大

安

0301/有限空4.未为作业人员配备防护用窒息（人员伤亡、量检测合格后方可作业：作业现场至少设有两人进行监护；全

1风

间作业品，并监督正确穿戴、使用；财产损失2.进入自然通风换气效果不良的有限空间，采用机械通风，作业时，险

5.未加强作业现场管理，未严操作人员所需的适宜新风量应为30〜50nf/h；

格执行先通风、再检测、后作3.作业中断时间超过30min时，必须重新进行气体检测；

业；4.作业结束后，清理干净工具、杂物，作业和监护人员签字保存记录。

乍业现场未安排监护人，未

6.i个体防护措施：为有限空间作业相关人员配备安全绳、呼吸器等防护

配备急救援物资；用品，并督促正确穿戴、使用。

7.通风不良，易造成氧含量不应急措施：制定有限空间专项应急预案；配备安全绳、全身式安全带、

足。呼吸器等救援器材，定期组织应急演练等。

管理措施：

1.违章操作；1.严格执行规章制度、操作规程、责任制，组织员工安全教育培训，

.违章动火:违章吸烟等外来

2并考核合格上岗；

火种；2.严禁违章动火或外来火种进入成品储存区。

较

0309/储存场3.电气线路短路产生电气火火灾、其他爆炸技术措施：大

安

所易燃、可花；（人员伤亡、财产1.储存区物料堆放按照“五距”规定存放；全

风

2险

燃、有毒物料4.物料未按照“五距”要求堆损失）2.按规定安装防雷装置，并定期检测合格；

泄漏、燃烧放；3.储存区张贴“严禁烟火”等警示标识。

最配置消防器材；

5.个人防护措施：为员工配备防烟面罩等应急防护用品，并指导正确穿

6.未设置安全警示标识；O

7.厂房未定期进行防雷检测。应急措施：定期组织应急预案演练，配备齐全有效的应急器材，并定

期维护保养。

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集成电路产业链

集成电路产业安全生产管理

产业链上游一半导体材料及设备篇

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

2半导体生产制造

半导体企业特别是高端芯片制造企业在我国属于新兴的高新技术企业。半导体

制造需保证稳定的原料供给，便利的运输条件，充足的水源和大量的劳动力投入。

在其生产过程中需要保证各项气体环境，因而涉及到多种特种气体，其中多种

气体为易燃易爆气体，如氢气、氯气、氨气等。另外，特殊材料气体所具有的危害

性是非常多的，包括毒性、自燃性、助燃性、自行分解性、窒息性、腐蚀性等，特

别是其毒性一般都是非常强的，在目前工艺技术较为先进的半导体晶圆代工厂的制

造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的气体。

除此之外，生产过程中也会涉及双氧水、硫酸、氢氟酸等危化品试剂作为清洗

液、化学蚀刻剂。

2.1特种气体安全管理要点

根据所使用的不同类别气体，大致可以分为五大类：

一、易燃性气体

自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。

如常温下的SiH,气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定情况下，

PH：,与B2H6等气体也会产生自燃。

可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即爆炸上、下限值范围。此范围

越大的气体引起爆炸燃烧危险性就越高，如B2H6的爆炸上限为98%,爆炸下限为

0.9%0属于易燃气体有上、NL、PH、DCS、CIF3等等。

二、毒性气体

半导体制造行业中使用的气体很多都为有害、有毒气体。其中又以As?。、B2H6、

PL等气体的毒性最大。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输

送以及使用的过程中都要求特别的小心。

一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO、CF6等都属于毒性

气体。

三、腐蚀性气体

半导体制造业的腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状

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集成电路产业链

态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示很强的腐蚀性，如HC1、HF、

CIF3等。

四、惰性气体

惰性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全

上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有室息特性，在密闭空间若发生泄

漏会使人室息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2F6、CF,等。

这些气体具有多种用途，有些会蚀刻电子零件，而另一些会在上面沉积材料。

氮气用于吹扫手套箱或半导体室，以确保环境的纯度。由于氮气比空气重，它将把

空气推出环境，从而形成缺氧状态。这对半导体制造是有益的，因为它可以确保环

境无菌并防止某些材料与氧气相互作用。

五、氧化性气体

顾名思义，这类气体具有较强的氧化性，一般同时具有其它特性，如毒性或腐

蚀性等。属于这类的气体有CIF3、NF：,等。

1）应在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并应该知道如何应对这

些气体外泄时的紧急处理程序。

2）安装眼镜阀（与密封蝶阀或闸阀并用）、盲板、叶形插板阀、一道开闭器加

一道水封等可靠隔断装置，形成有效切断的安全装置。

3）检修时，作业人员必须携带相应报警仪、设专人进行监护。

4）严格执行动火制度。在设备、管道动火时，氧气含量必须控制在23%以下;

在生产区域或容器内动火时，应控制氧气含量在19.5-23%o

5）人员不应穿化纤工作服与带钉鞋，严禁带入火种。

6）工作中中不准随意敲击设备，检修人员应使用铜质工具，不准随意触动运

行设备，检修设备与运行设备间应采取隔离措施。

7）各种气、液体管道按规范设施清楚的色标、介质名称。

8）特气运行管理人员必须取得危险化学品管理安全资质、压力容器及压力管

道作业资质，另外相关人员还需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的

专业培训后方可上岗作业。

9）运行人员每天需对特气系统进行数次点检和巡检。特气系统状态及仪表的

数值是点检及巡检的重要内容，如压力、温度、重量等，还包括所有气体侦测器的

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

检测数值。在标准的点检表中，特气仪表数值都有一个管理值。运行人员在点检过

程中察看各个数值是否在管理值范围内，如超出管理值，则必须马上查找原因。

2.2危险化学品试剂安全管理要点

1）操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。

2）操作人员需佩戴过滤式防毒面具（活性炭面罩），戴安全防护眼镜，穿防静电

工作服，戴橡胶耐油手套（或手指套）。

3）危险化学品试剂使用场所需远离火种、热源工作场所严禁吸烟。

4）搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。

5）工作场所应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

6）倒空的容器可能残留有害物不可随意抛弃。

7）废弃处理物要用合适方法处理。

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集成电路产业链

集成电路产业安全生产管理

产业链中游一集成电路设计、制造篇

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

3集成电路设计、制造

集成电路设计、制造生产企业使用各类高精密度高性能机床如自动精密研磨抛

光机、加热平台、清洗化银自动线、煜料蚀刻、显影蚀刻连退膜机等，从工艺流程

分析，企业的安全风险和一般机械行业企业相差不大。

1）精密机床必需严格定人定机并保持较长时间的相对稳定。

2）操作者必需经过考试合格，持有本机床的《设备操作证》，方可操作本机床。

3）操作者须熟识本机床的结构、性能、加工规范、操作程序方法和维护保养

规程。

4）操作者应保持本机床及全部附件的完正与良好，对本机床的技术状态负责。

5）精密机床所使用的工具，需为专用的工具。

6）操作者应保持工作间的干净，不堆放与工作无关的工件和什物。

7）内贮有压力的受压容器上，不得进行修理工作，避免由于喷出蒸汽、气体

和其他的物质作用，而发生不幸事故。

8）一切人员若发现有危险象征时，应立即报告有关人员，以便及时采取措施

进行消除。

9）车间内的一切电器设备不得任意拆卸和安装，若工作需要时，须经有关部

门批准并在保证安全的情况下方可拆卸和安装。

10）正确的利用一切防护保险装置，对机器设备上的保险、防护装置不得任意

拆卸。

11）机修部门拆卸、安装及修理电气设备时，应首先切断电源，确认无电后再

进行工作。特殊情况下，允许带电修理低压设备，但必须采取可靠的防护措施（在

特别潮湿、有导电粉尘、化学活动性大及有火灾和爆炸危险的场所，绝对禁止带电

作业）。

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集成电路产业链

集成电路产业安全生产管理

产业链下游一集成电路应用篇

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

4集成电路的应用

主要安全风险点在于机动车辆作业、叉车作业、人工搬运作业。

4.1机动车辆安全管理要点

车辆物流运输时，禁止超速驾驶、禁止疲劳驾驶、禁止酒后驾驶，可有效避免

人为事故的发生。

进出作业现场或行驶途中，要注意上空有无障碍物，非紧急情况下，不得急转

弯和急刹车。

4.2叉车作业安全管理要点

1）叉车驾驶员必须经过专业培训，通过安全生产监督部门的考核，取得特种

设备培训合格证，并经企业同意后方能驾驶，严禁无证操作；

2）严禁酒后驾驶，行驶中不得饮食、闲谈、使用手机或对讲机等行为；

3）车辆启动前，应检查车辆的音响信号、电瓶电路、运转、制动性能、货叉、

轮胎，确认处于完好状态，起步前要查看周围有无人员和障碍物，然后鸣笛起步；

4）叉车在载物起步时，驾驶员应先确认所载货物平稳可靠，起步时须缓慢平

稳起步，叉车在行驶时严禁任何人攀爬与乘坐，货叉严禁站人；

5）除装卸货物外，必须靠右侧行驶；

6）空载时货叉距离地面50-150毫米:载货行驶时货架离地高度不得大于500

毫米，起升门架须后倾到上限位置；

7）除会车，其余情况下叉车行驶应于其他叉车保持10米左右安全距离；

8）叉车在运行途中若遇交叉路口或狭窄路口，应按喇叭减速慢行，并随时准

备停车；

9）进出作业现场或行驶途中，要注意上空有无障碍物，非紧急情况下，不得

急转弯和急刹车；

10）载货上坡应正向行驶，载货下坡应倒退行驶，确保重心落在前轮；任何情

况下都不允许在斜坡上调头或停车；

11）叉车行驶时原则上不得超车，如需要超越停驶车辆时，应鸣号减速，注意

观察，防止该车突然起步或有人从车上跳下；

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集成电路产业链

12）严禁超载、偏载行驶，装卸货物时，即货叉承重开始至承重平稳，必须启

动刹车；

13）作业速度需缓慢，作业结束后禁止将货物悬停于空中，卸货后应先将货叉

降至正常位置后再行驶；

14）叉载物品时，货物重量应平均分担在两货叉上，货物不得偏斜，叉车所载

物品不得遮挡驾驶员视线，如出现遮挡驾驶品视线或货物易滑时，应倒车缓愠行驶;

15）装卸货物时，货叉应缓慢接近或撤离物品，注意车轮不要碾压物品及托盘

等；

16）叉车在起重升降或行驶时，禁止任何人员站在货叉上把持物件或起平衡作

用、叉车叉物升降时，货叉半径1米范围内禁止站人；

17）运货上货柜车前，应先观察货柜车与装卸平台是否靠紧，车厢里是否有人,

检查货车的承重能力和货车与踏板的倾斜度，确认安全后再进行装卸；

18）叉车不得停放在坡度大于30度的路段上，不能将叉车停靠在紧急通道、

出入口、消防设施等地方；

19）严禁在叉车启动的情况下进行维修、装拆零部件，严禁自行维修叉车和装

拆零部件；

20）遵守叉车作业“七不准”：

不准将货物升高后做长距离行驶（高度大于500毫米）；

不准用货叉挑翻货盘和利用制动惯性溜放的方法卸货；

不准叉一托盘货物顶撞另外货物或顶撞其他物品；

不准将叉车交给无驾驶证人员操作；

不准直接铲运危险品；

不准用货叉载人作业，货叉升起后下方严禁站人和进行维修工作；

不准用叉车拖拽其他车辆，如确实需要叉车牵引，需经过负责人同意。

4.3人工装卸作业安全管理要点

1）平台必须由指定的操作人员负责操作，其他人不得擅自启动。

2）操作人品在升降平台时，必须告知他人远离升降平台，站在安全区域。

3）车辆未安全停靠在站台时，操作人员不得启动装卸平台。

4）装卸平台出现故障或损坏时，操作人员不得强行启动装卸平台。

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盐城市重点产业链安全生产指导服务手册

5）装卸平台的搭接板至少搭接在车厢板上100毫米处。

6）装卸货物时，不得将装卸平台紧急停止按钮转到停止位置。

7）装卸平台工作时，应关闭电源，防止误操作。

8）作业结束后，操作人员要将装卸平台恢复到原位置，随即关闭电源。

9）维修人员每月按要求对装卸平台进行保养，并做好记录。

10）平台发生故障应及时设立“停止使用”或“正在维修”的安全