原位真空光电测试系统需求说明

原位真空光电测试系统需求说明序号设备名称性能指标参数数量单位1原位真空光电测试平台一、配置及参数高真空腔体定制化真空腔体：定制UHV六通腔体主体、带视窗快速开关门（蓝宝石视窗厚度1mm，直径大于15mm）、UHV闸板阀、XYZ三轴线性移动台（XY~±15mm行程，精度1µm；Z~250mm行程）、Z轴线性移动台（Z~50mm行程）等；可实现样品在蒸镀位置与光学测试位置之间的无缝切换。真空泵与真空计：涡轮分子泵（抽速>60L/s）、磁耦合两级旋油泵（抽速>5m3/h）、全量程真空计（量程1×10-9–1×103mbar）、皮拉尼真空计（量程5×10-4–1×103mbar）、双通道控制器等；腔体极限真空度优于9x10-8mbar。分子束蒸发镀膜装置UHV分子束低温蒸发源（温度范围100-1100℃；精度±0.1℃）、500W直流电源、PID温度控制器等；实时监测，分子束蒸发速率可控制在0.1nm/min以内。石英晶振传感器、膜厚监测仪（频率精度±0.03Hz）、震荡器线缆等；低温电学测试样品台样品台：定制12引脚样品托、耐低温低噪音屏蔽线、BNC母头终端、PT100温度计、微型加热器等；相邻引脚直流电流噪音小于1x10-11A（@1V电压）；温度范围80-400K，控温精度±0.5K。低温-变温样品插杆：DN63CF安装法兰、开循环连续流制冷、内置温度传感器、电馈通插头等。液氮兼容低温输液杆（长度定制）、50L液氮杜瓦罐等。50W直流电源与温度控制器。微区光学成像与荧光测试模块显微光学成像模块：10X明场物镜（0.3NA；工作距离17.5mm）和50X长焦距明场物镜（0.6NA；工作距离11mm）、5孔物镜转盘、精密调焦机构（精度1µm）、定制照明与观察模块（配备宽谱LED科勒照明、大于500W像素CMOS相机、外接光源光纤接口、成像光路、滤镜等）等。荧光激发/接收模块：高稳定性532nm激光（功率>20mW）；单路FC-PC光纤接口输入，两档手动切换，内置荧光滤光片组（包括带通、二向色镜、长通等）；单路FC-PC光纤接口输出，内置光纤耦合模组；双光学元件插槽预留，可扩展滤光片、波片、偏振片等。实现545-950nm波段荧光测试。背照制冷光纤光谱仪：多模光纤输入；焦长100.0mm，f数4.5，对称交叉C-T光路；波长范围360-930nm，分辨率1.45nm，信噪比1000：1；TEC一级制冷，低于室温下40℃运行环境。DPS光路切换器：两档切换（内置反射镜）、外接笼式结构（包含透镜）、适配光纤接口等。气体载入装置双路气体载入，定制化气体管路，可实现高真空密封性；高精度气体流量控制器，适配多种气体，可变量程10sccm至1000slm，精度±1.0%S.P.*1，1秒内快速响应；独立数字显示器。光学减震平台及腔体固定1）精密光学防震平台：超厚高导磁不锈钢面板，内芯井字筋网格焊接结构，表面平面度优于0.1mm/m2，平面粗糙度优于1.6μm。长宽高1.8m×1.2m×0.1m，表面均布间距25mm×25mm边距37.5mm的M6螺孔，中心定制开385mm×180mm的方形通孔。2）气浮式隔震系统：采用橡胶薄膜气动隔振，内置精密控制阀，重复定位精度高，固有频率<2.0Hz，额定载荷450kg，高度调节范围±10m。空气压缩机：排气量20L/min、噪音<45dB（距离平台1米处）。3）定制固定及防震组件：高品质表面阳极氧化铝制支撑组件、不锈钢气路防震块等。7.高精度二维材料显微转移模块7.1显微转移操作平台：1）四轴可调衬底载物平台：样品台通过钢丝滚珠无间隙导轨提供直线移动，三轴可调；支持沿XY方向平移，行程20mm，测微丝杆控制系统分辨率0.002mm；绕z轴手动调节旋转最大±90°，测微器精细调节，行程5°，调节精度0.1°左右；绕x轴和y轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±3°。2）衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度为150℃，使用PID温度控制器，温度控制稳定性小于±0.1℃，带加热开关。3）四轴可调载玻片移动平台：载玻片XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，行程25mm，测微丝杆控制；Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~2°；4）支持真空自动吸附样品，确保转移过程中目标样品位置精确固定。；真空泵电磁阀控制，按钮控制是否吸附样品；真空泵：35L/min流量；7.2显微成像光路系统：1）单筒显微镜：变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超长工作距离20倍物镜，综合最大放大倍率850~900倍；双固定位设计，高倍放大下图像无明显抖动。2）白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1WLED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压,1WLED控制器，可调光；3）显微相机：1920x1080高灵敏度CMOS传感器，30fps速度保存；支持HDMI相机直接输出到显示器（本设备不附带电脑）；曝光时间0.4ms~999ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制，可软件测量显微样品尺寸及角度；工作温度-10~50摄氏度。4）显微观察支架：一体式高稳定性铝材支架，长宽高280mm*100mm*100mm，重量25kg，支持沿xy方向50mm行程，可大范围调节显微镜观察位置；5）显示器：24英寸1920*1200全高清专业显示器，支持顺时针旋转90度。7.3样品台高温模块（最高温度为260℃，带微型风冷），0.1度高精度PID控温器及电源8.可调单色光源，1台光源类型：300W紫外氙灯；不稳定性：＜1%；单色光光谱范围：200-2200nm；分辨率：0.08nm@200-1100nm；0.2nm@1100-2200nm；带宽:手动调节，0.08-7nm@200-1100nm，0.2-14nm@1100-2200nm；波长准确性：±0.2nm波长重复性：±0.1nm10.控制电脑2台，国际主流正品，不低于如下配置：CPUi5,8G内存，256G固态+1T机械硬盘，含Win10家庭版（正版），同品牌显示器。二、要求说明该套设备为个性搭建系统，以上功能必须是有机结合，实现系统测试功能，而非简单拼凑。投标单位需提供该设备在国内外应用案例。1套2精密性电源/测量单元双通道电源最大输出：210V、3A直流/10.5A脉冲最小电源分辨率：1pA/1μV，最小测量分辨率：100fA/100nV电源精度：±(0.06%+100pA)测量精度：±(0.06%+100pA)测量最大位数：6½噪声（峰峰值0.1Hz-10Hz）：≤1pA最小可编程脉冲宽度:50μs脉宽（10%前沿到90%后沿的时间）编程分辨率:1μs。任意波形发生器和20μs间隔的数字转化能力滚动视图模式可绘制I-t或V-t曲线综合的4象限电源和测量能力4.3英寸彩色显示屏支持图形和数字显示模式免费的应用软件（QuickIV）有助于基于PC仪器的控制高吞吐量和SCPI命令支持传统SMU命令集支持10/100Base-T，USB2.0，GPIB接口其他配件：夹具4个（Banana-TriaxAdapterfor4-wire(Kelvin)connection）、转换接头A，4个（Triax(m)toBNC(f)adapto，内轴），转换接头B，4个（Triax(m)toBNC(f)adaptor，外轴）超声波铝丝压焊机，1台适用电源：220VAC±10%,50Hz、可靠接地消耗功率：50W适用铝线线径：25～50um(1-2mil)超声波功率:0～5W连续可调焊接时间：0～200ms焊接压力：第