扩散泵的洗净a课件

扩散泵大修顺序敬请阅读本顺序书是为SHINCRON公司人员教育用而作成的。客户使用本顺序书进行大修、修理时引起事故、故障SHINCRON概不负责。同意以上条件者请参考以下的顺序书进行大修、修理。1分解设备前的条件

1.分解设备前的条件

①设备必须停止｡(真空室为大气，控制电源ＯＦＦ。)②扩散泵的油温必须降下来｡(扩散泵的电源OFF后，冷却水在冷却状态放置５个小时｡)③停止冷却水与气压。２.扩散泵的分解作业（ＤＰ的型号，使用油量记载在ＤＰ下部侧面的铭牌板。）

①关闭扩散泵冷却水。关闭冷却水管道部的扩散泵的入口和出口侧的手动阀(球阀)，停止冷却水｡

②松开手动阀(球阀)上部入口和出口侧的袋螺母，把蓝色的管子拆下。※ＤＰ・・・・・扩散泵2袋螺母

扩散泵出口侧手动阀(关)

扩散泵入口侧手动阀(关)3③把拆下来的出口侧的蓝色水管放到准备好的水盘里，从入口侧蓝色的水管处用气枪吹出扩散泵内的冷却水。出口侧水管

入口侧水管

气枪

比HD-450小的扩散泵，冷却水回路为1条，HD-550以上有3条｡有3条回路的，可以把①～③重复3次｡） 4④

拆下扩散泵下方的绝缘陶瓷的挡盖，做上吻合标记，拆下3根电源线｡吻合标记

5⑤拆下扩散泵侧冷却水的入口和出口侧的袋螺母，并把蓝色管子拆下。此时，不要忘记标上吻合标记｡吻合标记6⑥把扩散泵上带有的4只带支架脚轮降到最下面。⑦把辅助阀的螺丝全部松开。等松开后，慢慢松开1英寸的密封拴或油量计用的1英寸螺母，由密封挡口徐徐导入大气，然后拆下辅助阀。（过快的导入大气有时会使扩散泵中的喷射伞架飞溅出来导致破损所以请千万要注意。）辅助阀１英寸密封拴１英寸油量计用螺母

油量计用螺母

7高真空阀吻合标记水冷井

长螺丝（反方向也有1根｡）如果长螺丝有转动，请按这里。吻合标记

把扩散泵与高真空阀紧合在一起的螺丝除长螺丝外都拆下来｡⑨把高真空阀与水冷井、扩散泵部，分别做上吻合标记｡⑩把2根长螺丝的螺母，单侧一点一点的松缓，

平衡的卸落到地上。此时，注意旋转时不要让长螺丝掉出来。如果出现转动时，可用扁嘴钳等夹住。⑪当脚轮卸落到地面时，拔下2根长螺丝。⑫保持水冷井不落下，并请移到宽敞的地方。接下来进行扩散泵的洗净与喷射部的分解及洗净。8扩散泵的洗净与喷射部的分解及洗净①扩散泵与喷射部的分解螺钉垫片螺丝ａ.把中央的螺钉与垫片拆下。b.把扩散泵与喷射部固定的螺丝拆下。9螺钉垫片冷冻盖弹簧陶瓷片

c.把冷冻盖向上抬起取下。此时，注意把中间的弹簧与垫片不要弄丢｡d.把陶瓷片向左旋并取下。103洗净溶剂请使用盐酸系列或者聚四氟乙烯系列的溶剂。（请勿使用石油系列的溶剂。石油系列的溶剂中油分与扩散泵油有所不同，含有的不纯物较多。）b.洗净时所准备的工具有油盘、抹布、尼龙砂纸（百洁布等尼龙系列的东西），对于脏污严重的部位，请准备400♯～600♯左右的砂纸。c.洗净时为了不把地面沾上油污或者溶剂，请铺上塑料薄膜，在上面作业。11喷射器

加热炉阀抽气阀d.

把喷射器、加热炉阀、抽气阀从扩散泵上取出，放到油盘中。12②扩散泵的洗净a.

取出扩散泵内的扩散油。台面上放上可以缓冲物（多层抹布等），为使油不从抽气阀漏出，请横着放。此时注意不要损坏绝缘碍子（陶瓷）与水冷管。横着放好后，抬扩散泵脚轮使之稍稍倾斜以尽快倒出扩散油。绝缘碍子抹布层(废布等可缓冲的柔软物)台（油桶等）b.扩散油倒出以后，抬起扩散泵，在泵内加入适量溶剂，用尼龙砂纸从上部开始清洗。底部与加热炉部分的比较严重，必须重点清洗。c.洗净结束后，按照倒出油的顺序把泵中的溶剂清理出来，用抹布擦拭泵的内部。接下来再用新的抹布沾上溶剂擦净泵的内部，至此扩散泵的清扫工作结束。为防止垃圾等掉入请盖上塑料薄膜等。13③喷射部的分解及洗净a.

把喷射部分倒置，拆下防松螺母与Ｍ10螺母可以开始分解｡倒置喷射部Ｍ10螺母防松螺母14b.按照顺序进行分解｡（从上开始按次序分解）顶部喷射盖

弹簧螺母中心螺栓＜第一罩A＞＜第二喷射盖＞15＜第二罩用圈＞＜第三罩用圈＞＜第三喷射盖＞

（因有上下朝向，请注意）（因有上下朝向，请注意）16＜第二罩＞＜第一罩Ｂ＞＜第四喷射盖＞第四罩安全挡17c.把溶剂倒入油盘，使用百洁布把分解后的喷射部分清洗干净。洗净时请使用手套，并在通风良好处作业。

喷射伞架的安全挡部及加热炉阀部要比其他部位更烧焦并附有黑色的烧焦物，请使用百洁布或者400♯～600♯的砂皮把黑色烧焦物清除干净。d.

洗净结束后使用新的抹布沾上新的溶剂一个个擦拭干净，至此喷射部位的洗净工作完全结束。18④喷射部的组装以及扩散泵的组装喷射部的组装是按照分解的顺序的倒顺序进行组装｡组装完毕，把喷射部竖立起来，放置到平稳的场所，离稍远一点的地方确认喷射部是否平行垂直状态。如果发现倾斜，请再次重新组装。确认喷射散架部有无松紧、安全挡部有无凹陷等，如果有请进行修正。19＜ＨＤ－４５０＞20b．交换油量计部、排油管部的垫圈。油量计部角环型垫圈SP-23（氟化或腈化橡胶）

１排油管部Ｏ型圈V-15氟化橡胶１注）扩散泵大修时上述两处消耗品不论脏污、破损的有无都必须交换。21c.

扩散泵的组装按照分解顺序的反顺序进行。组装完成后，请加入规定量的扩散油。至此组装全部结束。(该顺序的照片等均参照了扩散泵HD-450｡)22吸入法兰排气口法兰油量计排油管口油量O型圈（腈）O型圈（腈）角形圈（腈）O型圈（氟化橡胶）LION-S（L）HD-200-1V225V70ナシ