2011激光超声检测技术解析

激光超声检测技术1激光超声检测根本原理2超声波的激光鼓舞2.1鼓舞机理2.2热弹效应鼓舞的超声波体波鼓舞的指向性、瑞利波的鼓舞、Lamb波的鼓舞、多层介质中导波的鼓舞、阵列鼓舞源2.3用于鼓舞超声波的不同类型的激光3超声波的声学探测3.1光束上超声波信息的编码强度调制、相位或频率调制3.2光学干预仪4应用4.1激光超声缺陷检测体波的激光超声缺陷成像、外表波的激光超声缺陷成像、Lamb的激光超声缺陷全显成像、外表开口缺陷的扫描激光成像4.2激光超声过程监测4.3激光超声材料表征薄膜的机械性能表征、材料各向异性表征1激光超声检测技术-根本原理激光超声主要利用激光作用在被测构件上，通过电离式作用或快速热膨胀引起构件局部受力变形，进而在构件激发出声波，并且利用光学传感器束探测该声波的变化。因此，该方法供给的是一种非接触的检测方法。激光超声检测技术-特点优点〔1〕非接触避开了传统超声法中由于耦合层的变化而带来的对信号的各种干扰以及由于耦合剂的使用而对一些材料的污染，同时也使得快速超声扫描成像的实现变得更简洁。另外激光探测法还可使被测超声波场不受任何干扰，这一特性对于其它传感器的校准特殊有利。〔2〕能远距工作远距操作可免去很多对传感系统的冷却要求，大大削减系统简洁性，另外激光束可通过一玻璃窗口导入特定的密闭空间，因而激光超声可便利地用于存在核辐射、强腐蚀性以及化学反响等这样一些恶劣的环境条件下。〔3〕频带宽在大多数金属中利用几十纳秒的短光脉冲所产生的超声脉冲宽度与鼓舞光脉冲宽度特殊相近，利用超短的超声脉冲和宽带的超声传感器，可以更准确地测量超声脉冲的渡越时间，该特性对于薄膜材料的定量分析及基于超声衍射方法的缺陷检测技术尤其重要。〔4〕高空间区分率这是指探测激光束可被聚成特殊小的点，从理论上说，光点的极限大小受光波衍射限制，因而对于常用的激光系统来说，可实现仅数微米的最高空间区分率。激光超声检测技术-特点缺点〔1〕灵敏度低尽管激光鼓舞的超声波振幅与一般宽带压电换能器所激发的相当，或者略小一些，但激光干预仪的接收灵敏度要比传统的超声检测系统差很多。在超声频率范围内，典型的压电传感器的探测极限在0.01pm到lpm之间。对多数试验室使用的干预仪，在抱负条件〔防震，试件外表抛光〕和带宽10MHz状况下，一般最小可测位移在100pm左右。〔2〕完整的检测系统简洁，体积浩大，造价也比传统压电传感系统昂贵。〔3〕由于使用高能激光，因而工作场地需实行严格的激光防护措施。1激光超声检测技术-根本原理传统的超声检测技术绝大多数耦合剂的使用温度都在100°C以下。常用的超声换能介质PZT，其工作温度一般不能高于300°C，即使换成其它高温材料，如铌酸锂，工作温度也不会超过700°C。电磁声换能器〔EMAT〕并配上适当的冷却系统，可以实现高温下的非接触式检测。但是，这种系统中电磁传感头与被测件间的工作距离只有数毫米，且检测信号的强弱受这一距离变化的影响很大。工业CT技术作为一种无损检测手段具有很多优点，美国IDM公司曾承受工业CT技术〔辐射源为3个50的〕实现对每秒数米延长速度的热轧钢管作在线检测、监控。但是该系统目前特殊昂贵、简洁，被测件的最大允许尺寸也往往受到确定限制，因而还难于实现一般的工业使用。承受确定的空间构造光，利用CCD摄像机对摄取的工件图像进展处理，可对一些三维尺寸作在线检测，该法已被证明经济便利且有效，缺点是摄像法无法测量像管子壁厚这样的一些量，也无法检测工件的各种缺陷。激光超声是对传统超声检测技术的一大进展，它利用高能激光脉冲来激发超声并用激光来检测超声，具有非接触、可远距离探测等很多优点，尤其适合于一些恶劣环境场合，比方存在高温、具有腐蚀性、辐射性以及被检件具有较快的运动速度等一些条件下的使用。2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞超声波的激光产生利用激光产生超声波的方法可分为直接式和间接式两大类，直接式利用激光与被测物质的直接作用，通过热弹效应或烧蚀作用激发出超声波，间接式则要利用被测材料四周的其它物质作为中介。1鼓舞机理图1激光超声的产生(a)热弹性机理(b)烧蚀机理

2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞2热弹性鼓舞超声波为简洁起见，假设构件是均匀、各向同性介质，热弹性鼓舞包括以下三个步骤：(1)电磁能量被介质吸取。(2)热源的发散。(3)体积膨胀引起的动力学问题，并且假设能量吸取、温度上升和机械变形各自独立，互不关联。光能被吸取取决于激光波长和材料特性，当光垂直入射到构件外表时，光强随深度的变化对金属，一般承受外表波模型；对其他材料承受体波模型。材料吸取光能在材料外表引起的热能分布2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞热传导方程可解决给定热源的热学力学问题。承受hyperbolic热传导方程通过求解(3)式可得到温度T的分布

由于吸取光能产生的温度上升，引起的体积膨胀承受标量和矢量势函数，包括体积变形的动力学方程上述动力学方程的边界条件是外表拉力的消逝。应变位移

2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞给定激光源参数，承受传递函数技术可得到温度场和动力场分布，热导方程和动力学方程在时间上承受单边拉氏变换，在空间上承受傅里叶变换(对线光源)或Handel变换(对点光源)，得到闭解后可重新回到物理方程上。热散射无视，结果可简化得到平面应力2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞试验测量的四热源中心外表法向位移(a)纵波(b)横波体波产生的指向性

2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞

瑞利波的产生(点光源)

热弹性线源产生的单方向瑞利波外表法向位移2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞在一个薄铝板上产生的热弹性Lamb波，外表法向位移距热源不同距离上测的2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞多层介质构造中导波的鼓舞

2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞阵列源

通过在时间和空间上布置激光能量，产生的声波可被集中到需要的地方，声波信号带宽变窄，信噪比提高。

产生窄带外表波的激光超声系统2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞

相互穿插的两束光波产生高频外表波2激光超声检测技术-超声波的激光鼓舞3用来鼓舞声波的激光器选择激光器的类型取决于在材料中鼓舞何种形式的超声波和希望得到的超声波的带宽。激光器的主要参数有：波长、能量、脉冲持续时间和重复率。重复率对检测速度特殊重要，脉宽对产生的超声波带宽起着预备作用，同样，空间范围也影响到带宽，调制的连续波激光比较适合低频范围(几KHz)，一般状况下，10ns激光器产生10MHz频率范围，对更高频率范围，脉宽以100波秒计，可产生100MHz或上GHz。激光能量取决被测材料，由于激光造成的损失可否被承受，激光能量从纳焦、微焦甚至几百焦耳都可用来鼓舞超声波。最终，激光波长的选取取决材料的吸取性能，激光波长范围从紫外、红外甚至更宽范围。3激光超声检测技术-超声波的光学探测1超声波信息在光束上的编码为实行光学方法探测超声波，就须用一束光作用在波传播方向，一般承受激光束作为光源，这是由于激光可供给单色、线性极化、公正光束等优点，其电场方程如下式电场E是幅度a，频率和相位需要留意光电探测器无法直接跟踪相位，太高，因此只有光强可直接来测量。有很多种方法可影响光束，但从广义上可分为强度调制技术和相位(或频率)调制技术两类。3激光超声检测技术-超声波的光学探测1.1超声波强度调制超声波在材料中受折射会发生变化，进而影响到反射光的强度，从而可用光电探测器猎取该变化。尽管对大多数材料，该变化很小，但仍成功的应用于测量薄膜和纳米构造。另一种强度调制技术是利用外表倾斜与超声振动的关系实现测量。第三种方法是利用频率或波速的连续或猝发外表波packet.强度调制低于相位或频率调制，因此在无损检测中应用很有限。1.2超声波的相位或频率调制超声波在构件外表运动引起反射或散射光的相位或频率发生变化。如图10所示，一束光垂直入射到一构件外表，设外表法向位移为，假设外表略微倾斜，则反射光束也会略微倾斜，构件外表位移发生变化，从而使光束路径发生变化(两次声波法向位移)进而引起光束相位发生变化。3激光超声检测技术-超声波的光学探测超声波位移调制光束相位

电场可表示为

对于由超声波包引起的时变相位调制，从外表波动和光束的作用下，可得到光学频率的瞬时多普勒相移，假设外表速度瞬时间学频率外表波速与超声振动相关联，进而影响到光束频移。则

3激光超声检测技术-超声波的光学探测2光学干预仪由于激光频率很高，任何一种光电探测器都不行能测量单一光束的相位。因此一种称为相位纤偏编码信息的调解方案被提出，有很多种光学干预仪可实现这种方案，这里仅论述激光超声检测中普遍应用的几种。参考光束干预仪自参考光束干预仪两束零差干涉仪两束外差干涉仪时延干涉仪法布里－珀里干涉仪动态全息干涉仪多束干涉仪内禀光纤超声传感器在粗糙外表上，自参考干预仪可大幅度提高仪器性能，斑点光包含着构件位移和波前匹配参考(wave-front-matchedreference)的混合信息。3激光超声检测技术-超声波的光学探测两束重差干预仪(Two-BeamHomodyneInterferometers)来自同一激光器的光束被一分光器一分为二，一束光作用在被测构件上，另一束送到一参考镜面上，反射回来以后，两束公正光又混合在一起，并在光电探测器处形成干预条纹。3激光超声检测技术-超声波的光学探测双束外差式干预仪(Two-BeamHeterodyneInterferometers)该类干预仪中，被混合的其中一束光频率发生一些略微变化，通过一个声-光调制器(如Bragg盒)，从而供给一个频移光。3激光超声检测技术-超声波的光学探测时延干预仪(Time-DelayInterferometers)3激光超声检测技术-超声波的光学探测FP干预仪(Fabry-PerotInterferometers)3激光超声检测技术-超声波的光学探测动态全息干预仪该干预仪的原理是基于光折射特性的动态全息记录原理。一种方法是承受光相位聚焦技术(opticalphaseconjugation)将光斑(thespeckledobjectbean)极化，极化的物光与平面参考光在零差或外差干预仪中相干预;另一方面，同样光斑构造的参考光作为静态物光，通过与包含超声信息的物光相互干预后进展重构，这种方法很简洁通过两束光在光折射介质中实现。3激光超声检测技术-超声波的光学探测多光干预仪(MultibeamInterferometers)在超声检测的很多场合中，需要同时测量多个点的信息。例如，超声波衰减系数测试中就需要同时测量两个距离之间的声波，同样，在导波的频散特性测试中也需要。这可通过承受相位阵列接收仪器，图20给出了一种基于外差干预仪的可同时测量一个工件不同点超声位移的双探头系统。3激光超声检测技术-超声波的光学探测内禀光纤超声传感器(IntrinsicFiber-OpticUltrasoundSensors)

上面描述的大多数干预仪都可通过光纤将光放射到构件上，然后承受光纤测量反射光，在上述系统中，光纤仅起传光作用，假设光纤在传光中作用，这种传感器可埋入到构件内部来监测超声波，而不仅仅是监测外表振动。4激光超声检测技术-应用激光超声应用从工业界到学术界，下面从无损检测、材料表征和过程监控等方面加以论述。

4.1激光超声缺陷检测外表波的激光缺陷成像4激光超声检测技术-应用

Lamb波的激光成像4激光超声检测技术-应用外表开口缺陷扫描激光源成像在脉冲回波反射中，激发点和接收点必需位于一条直线上，利用扫描激光源技术可探测很小的缺陷，并且可用于角度变化猛烈的地方，没有可与该方法对等的常规超声检测方法，该方法依靠于近场散射和热弹性产生的超声在有无缺陷的地方，如以以下图。4激光超声检测技术-应用钛合金发动机叶片的检测，可检测的缺陷标样为0.05nm宽×0.75nm长×0.375nm深

4激光超声检测技术-应用2激光超声在过程监控的应用已有的工业应用说明，激光超声检测系统已经可应用工业现场，这些应用包括高温无绝钢管的壁厚在线监测，纸张特性分析，玻璃测厚，微观组织的演化，polymermatrixcomposites成形等。4激光超声检测技术-应用3材料特性的激光检测激光超声技术现