§离子注入工艺

第四章离子注入工艺离子注入的特点是加工温度低，易做浅结，大面积注入杂质仍能保证均匀，掺杂种类广泛，并且易于自动化。由于采用了离子注入技术，大大地推动了半导体器件和集成电路工业的发展，从而使集成电路的生产进入了大规模及ULSI时代。2023/10/71一．离子注入工艺设备结构离子注入机原理图2023/10/722袄0酸2废3渴/纤7醒/淘3骆03二约、染离繁子悼注次入感工份艺数的光特指点(拍1愿)盗注阁入插的慎离拉子皮是友通鞭过昆质悔量奸分旋析定器利选沸取稳出筑来泰的胞，案被脊选漫取代的反离雕子佣纯判度哥高拳，经能命量逆单鹊一骡，孤从侨而使保举证蒙了舰掺洽杂侍纯物度班不农受贤杂淡质摧源胁纯狸度没的介影移响浸。弟另晶外奏，脱注锻入击过善程赵是顷在愿清应洁恳、嗓干尝燥善的午真架空系条堂件键下协进妥行捆的养，魂各爹种蚀污侍染好降己到吃最杰低稀水红平宵。2陡0柄2腾3剥/咏7堤/泊3唇04(万2惹）糟可鸡以报精剖确辜控睬制棍注袄入斑到赔硅倾中勤的肢掺资杂傲原诉子香数患目颗。（旬3弓）早衬赞底山温唇度哗低匆，然一火般闸保恭持融在抢室沉温霞，坟因且此挠，泄像蓬二电氧哨化变硅漆、烛氮蛮化列硅捆、辉铝构何设光业刻载胶乱等虽都淹可辱以砖用康来遭作容为樱选猫择絮掺迟杂陶的某掩没蔽贩膜全。（乱4绩）息离篇子宫注形入刻深斧度采是修随青离沾子萝能器量陪的润增跑加剪而员增归加贸，馆因摧此办掺技杂搞深滨度窗可野以新通侍过付控他制苗离凝子世束共能妈量迷高厨低竹来盘实破现归。猾另急外垃，袖在扩注秘入掠过鹿程鄙中咸可米精闻确隙控珠制寄电掀荷阻量盈，娘从钟而朽可芬精规确岸控爆制钱掺洒杂晓浓扮度威。-2臣0皮2豪3吊/项7扰/浴3妻05（旧5意）论离潮子罗注锯入务是猫一目个炸非滑平奴衡遭过西程愈，娘不由受依杂蜻质忧在剥衬撑底委材旨料砌中错的粉固彼溶划度辆限浴制振，隆原功则贺上继对箭各注种编元悬素岭均馅可汇掺贡杂锻。（部6迈）欲离事子悦注抗入棉时蓬的争衬奥底剧温吃度谦低贿，腊这灶样使就援可笑以还避区免领了穗高井温遥扩绪散亚所陡引吸起以的超热揪缺乔陷悼。（嫩7葡）难由障于纤注析入为的兰直剑进布性大，疗注监入贴杂无质纵是物按涛掩怪膜牧的著图恭形声近脊于睁垂麻直棍入屡射班，即因枯此辩横芹向霜效奔应果比琴热勺扩撑散使小剂的喷多逗，自有唯利游于药器宗件额特棉征暴尺侧寸悼的安缩贷小图。2逮0概2洋3辉/子7巩/向3督06（是8快）竞离鹊子很往亭往夕是痰通博过偏硅尼表驶面录上凶的按薄钥膜型注慰入绿到激硅暖中告，寄因史此祸硅孝表考面场上角的收薄豆膜绒起盐到违了由保辣护恭膜颗作臣用（还9筑）坦化做合针物尝半槐导闹体叉是傍两窜种救或倾多停种率元芦素封按灿一福定庸组药分亚构碗成卡的朵，慨这远种库材促料鸦经秒高宅温默处脖理胀时婚，创组焰分铁可兽能立发奴生愈变梢化亏。融采蓬用锐离羽子毯注涨入其技那术授，睁基奴本撕不呆存垦在性上佛述样问溜题险，抬因涂此假容愈易松实辨现办对峰化难合血物高半奔导医体多的卡掺防杂2雕0摩2挠3炉/承7滴/浴3这07基雨个俱概现念驼：（孩1镰）狸靶粮：惭被膊掺足杂顷的故材亩料剩。（心2鼓）径一庙束搭离弦子勒轰勾击欠靶便时及，维其雹中厉一堵部鼠分奔离待子厕在清靶唯面酸就利被舒反串射修，寇不海能盯进榨入敢靶扫内胜，置称讲这秒部东分错离今子祥为散胀射菌离乞子，俊进抗入反靶倡内泻的镰离丸子仙成氧为注旺入阳离吩子。（帝3缎）沈非违晶慕靶冒成瘦为身无晒定拜形绵靶库，爷本井章守所牢涉胖及系道黄德承靶份材冠料米，雄都武是窃按苏无叶定演形月来抄考副虑语。2偏0男2鹅3伪/色7萄/谢3兵08三葵、跟离伴子桌注袜入羡原鼻理“讯离厚子郑”烂是辣一化种阔经夏离冲化屠的狱原变子葵和厨分久子欢，探也拨称阔“蹲等劲离巨子华体恰”薯，盼它脊带穷有妥一踢定轨量越的注电蜡荷帖。番“采等叔离拨子盈发渡生盯器窑”具已取广腾泛化应荣用破到C泄V乖D消、金日属坟镀滋膜围、针干孤法反刻映蚀搭、吓光诸刻局胶说的轨去托除墓等刚工盖艺卡中舱，杂而吹在件离识子崇注武入秃的辟设煮备拌中骂，友它碰被纽奉用善来腐制研造弱工灿艺驳所宪要春注宜入锤的粗离世子让。赌因陶为蛾离值子末带详电历荷纲，椒可予以穿用洞加漂速肌场死进辅行挺加案速座，驻并丽且驱借池助育于虹磁相场款来叼改盗变港离亩子娇的阅运违动茧方束向解。啄当视经缺加寒速丈后乏的暖离遭子师碰垄撞至一沾个麻固嘴体抗靶穴面高之雹后修，钩离骂子贞与钳靶海面翠的捉原蔬子森将螺经鼠历猛各偶种溜不锄同痕的邮交友互础作极用住，纺如咽果杰离奴子拿“绢够大重蓝”丑，茧则勺大枕多醋数液离怜子捞将鹅进题入煎固织体句里斥面鲜去钉。称反建之很，锻许旱多餐离旧子从将疾被辰靶庆面亏发幅射便。2横0月2融3冶/器7零/宽3柿09当哄具结有涝高伐能州量腊的语离柜子色注蹦入性到舱固怨体州靶呜面威以愈后读，摧这挽些腐高钢能咬粒殃子破将性与医固导体境靶去面化的恭原桑子灯与陶电鸦子塘进披行嫁多更次戏碰竭撞宏，捆这匆些正碰乌撞草将扮逐叫步育削笔弱梨粒凳子夸的藏能帅量汤，盏最揪后栗由齿于录能议量橡消渣失播而苦停狡止森运唤动泰，逮新继城依形魔成阶一静定佳的前杂岭质棉分衡布善。同贿时靠，尖注火入图离嗽子危和帅晶生格腰原访子公相绕互龟作阶用傲，脉那好些象吸剑收遗了幅离抬子然能扛量皂的耳电顷子帆，仗可黎能辞激浙发排或邪从页原肉子絮之旦内异游碗离哑，翠形到成短二籍次乎电剑子捧。2笋0却2砍3挥/梦7掏/对3谱01艳0离题子困在凤硅中体盾内撒的稿注旅入芝深饰度属和恰分市布分状扮态愁与鄙射境入罩时缓所浑加莫的捡电方场享强做度忌、勇离瓜子茄剂巨量甩、棋衬灵底晶宏向价等边有术关爷。杯通半常龙，观在桨离念子刷剂巨量学和动轰拣击鸭次位数司一嚷致渐的撕前沃提鉴下笛，从注膛入浓的遍深屯度疲将膀随陶电债场兔的叙强碰度鸡增待加读而恰增圈加指。喜实众践例表茅明丧，病用钞离削子天注调入连方疲法态在暖硅吴片具内场部刮形珠成杠杂危质颤分故布情与怜扩支散秧是荐完评全隆不垫同要的日。追扩将散匙法欧得崭到颂的煤杂昂质绘分倒布伴近帮似邀为凶余胶误爹差醉函径数译和醒高咬斯岛函斯数移分躬布酿，青而厅用毛离亦子身注劫入葡法贿形窗成鸣的恒分个布怕，粘其袍浓睡度乘最欣大农值责不玻在辨硅懒片艇表事面舍，吗而钞是陡在苏深着入辫硅假体雅一责定睬距者离贫。畅这升段浪距使离红大犹小们与骡注熟入勇粒驱子特能容量刻、姜离纲子罚类枝型斤等赤有游关锦。2暴0举2决3旧/辆7远/熟3束01科1在妈一耐般义情失况蛾下周，蹄杂闸质梅浓摆度沈最寸大事值字在以距觉离聋表瞎面灿0咳.旗1匠u纸m砌处厕，取其俯分晃布民有脑一辱点悠像浑高略斯厉分棵布捞，瘦是惭由锦于迟杂屯质肃被肌电麦场异加怨速含注斤入柔到高硅职片秋内件后尿，扔受竹到陡硅淹原眉子趋的侨阻完挡巧，希使振其鸦动脑能动完饮全颠消斑失形，券停米留殿在银原尘位体。屿但筋由具于绑杂险质爆离滔子芹具征有沸的万能脑量刃是农不妇均对匀锻的粘，畅也慎就脊是象使错杂岂质趁离校子输的咬能乎量赠有饱大具有门小启，柴这廊样宗就答形商成本了图按奔一仙定护的孕曲旅线瞒分都布乞，沃能何量会大固和否能候量详小瘦的约都裂是颜少共数该，夸而炒能习量浙近倒似斜相较等耍的袭居出多大数没。举当初然效注宵入午后耳，脏能译量畏最链大做的芬注爆入期深陶，刘能遗量拒小不的喜注翠入缩慧浅坛。2先0衡2觉3烘/急7春/逐3港01碍2离纺子爸注疗入缓的段杂铲质纳分昂布析还脾与系衬透底陈晶必向茎有劈燕关反系臣。蠢如沃果扣注衫入烛的械离冤子询沿义规绸则正排错列飘的滤晶遗格彩方咸向迅进岸入蜘硅葵中线，绑离追子硬可色能冠要网走督很银长苍一怎段曾路油途品才眯碰捧到酱硅馆原株子问，帅因袭此袄，良进胡入龄深侨度筛就恐大兼，至使造杂寺质斩分赶布脖出倚现脆两畏个网峰庭值说，尾这津种逝现丹象误称居为句“乏沟素道砖效联应添”眯。够向尸<技1板0陈0创>枪，社<扔1付1嗓0银>允晶缠向邀注末入希时体，绍往案往烂会卷发川生敏这沫种幸沟飘道偶效洒应由，绢而湖<依1剖1割1银>泡再启偏旨离燃一羊定钉角求度带，梢情松况钥就贸好动得避多局。2到0晚2堆3扯/汽7言/初3施01牌3离恶子痰注吊入胜时蔑，贯由荡于柜受在到庸高罪能梳量摇杂深质傲离洒子互的箱轰既击盼，障硅闲片去内珠许库多喉晶样格少被齿破观坏连而支出坚现忠晶森格倘缺剧陷伞，黑严杠重岭时中会锣出偿现掘非衰晶东层转。肉这宝种凭缺农陷竭一铃定茄要迟经蛮过恶退杆火孕处隔理建来戴消膜除保，搬所柳以俭退僻火奸工蓝艺献在优离拖子永注愚入闸工轮艺跨中部是象必旱不锣可竭少装的氏。与塞扩慈散外一受样载，份离向子婶注腊入紧也果需雕要发掩凤蔽瞎，肺其轿掩领蔽挥物辉可喇以腐是压二瞎氧彩化杏硅东、云氮遇化茅硅未、A柳L2O3及A拥L都眉行苦，窗且沉掩锯蔽果膜聪厚劫度娱随谦电种场汤强秤度台和那杂截质周剂李量洞的谅增熄加戚而航加符厚颂。2肆0堂2亚3宽/挡7若/村3势01透4§流4冈.储1蒙核伶碰爹撞遮和顶电兆子衔碰无撞L陷S拢S理颗论绝:宁注朵入殊离漠子趋在眠靶拒内柜的斥能剑量邻损种失住分乘为狐两框个炕彼议此显独景立带的前过慨程(耳1召)壶核苹碰邮撞鉴，豪（钉2场）渣电鸣子惰碰臭撞忙，榴总剥能蔑量熄损裕失盘为模它愚们誓的篮和砍。2妙0祥2运3携/流7货/镰3林01伐5核绵碰况撞印和井电里子挪碰吊撞其:2等0察2因3立/通7族/简3乡丰01翅62谎0介2聪3析/播7酿/匪3累01吩7（帜一）孝、核额阻凭止争本敏领能迁量宿为榨E丝式的找一田个念注耽入乏离呆子里，渣在犹单倦位广密陵度粥靶莫内浇运掏动垫单腊位悲长畏度暖时唐，姻损宗失顿给勇靶稍原屑子碌核匀的奇能面量扁。2翼0须2盾3壮/泉7息/辞3余01榨8（尾二漠）帐电甘子支阻赏止咳本感领同箭注羊入平离辱子象的咳速济度阳成叶正数比抽，蝴即株和级注欢入粥离储子寨能京量廊的栽平朱方引根葵成占正狮比料。2坟0湾2桌3庆/胖7晌/肉3绘01痛9（舅三箭）射顶程书的默概矿念2拍0狐2瓦3峡/第7尚/帮3馒02暖0§纠4绕.部2探注指入离菠子榴的你分本布2肠0谋2恶3缘瑞/拜7察/欺3志02兔1（首一防）正纵时向乔分拿布2皇0融2快3似/哑7持/帜3勺02学2*脖注蹦入中离复子悬的坦分忆布婚计雀算1失.餐平蚀均纺投世影挤射老程Rp，标趟准亲偏寻差

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