CMOS集成电路制造工艺教材

第6章CMOS集成电路制造工艺第6章CMOS集成电路制造工艺6.1CMOS工艺6.2CMOS版图设计6.3封装技术3木答版抄年兴画画胸稿刻痕版套跑色林印隙刷4半径导仇体两芯罩片计制惕作吩过倍程5硅仅片容（w嚼a肝f犯e掩r）改的赞制恢作6掩刘模香版愧（m向a值s祝k裂,占r象e舰t帜i绢c要l昂e）舰的亲制洋作7外家延街衬伯底屿的孟制狸作8集缸成昆电湾路含加电工很的垫基见本金操乱作1、叹形采成吸薄航膜（缎二纲氧膊化饲硅喜、隆多姓晶虎硅乞、耳金索属收等职薄获层泰）2、周形讯成旦图何形（苗器搭件描和宜互讨连庸线般）3、席掺余杂（盈调踪蝶整垄器旷件诵特葵性序）91、巩形词成宜图大形半徐导膀体盗加莫工兄过岛程悬：玻将蹈设分计哑者码提纤供险的树集饲成浴电趁路版据图夺图别形复割制钳到沈硅静片拨上光露刻旨与腰刻庄蚀畜：厉半迫导潮体马加荷工果水偿平疏决团定阁于只光颤刻俗和铺刻疯蚀医所慕形尝成助的劣线漂条蓄宽言度1兰0光爪刻辰（p贞h岔o棕t笼o朵l盆i俱t哗h各o岂g更r数a叉p校h聪y）1域1曝浙光派（e肾x拆p衣o闻s餐u六r麦e）1徐2刻河蚀朴（e足t难c表h）1急3光倍刻窝的鲁基药本挪原恨理1乱4正堂胶断和探负宝胶径的倍差炸别1搁52、肠薄境膜支形惊成悬：缘瑞淀化积1服62、宾薄豆膜厉形陕成扶：略氧来化1类73、乐掺嗽杂魄：窑扩辉散忙和热注饺入1转8从带器嫌件泪到朱电维路浇：般通孤孔1随9从袄器与件闸到费电滥路里：巧互慌连诵线2矛0从司器欧件气到跪电蜂路护：亿多性层已互就连2族1从冤器锐件丧到稻电翻路贞：总多怒层兼互雁连2璃2从宽硅爆片济到赤芯爸片餐：泄加霜工招后姐端2辟3从边硅用片湿到与芯蚕片栽：悔加远工夕后切端2樱4从隔硅急片艳到两芯塔片扫：欺加服工神后新端6扩.谊1称C像M污O骡S工苍艺6袖.旋1仍.技1基蝴本句工蜜艺赏步障骤6深.诸1叹.坟2夜n阱C痒M己O朋S工捕艺到流属程6梨.蜓1泛.赚3硅豪基C樱M开O捆S中踏的块闩两锁淡效尊应6盲.痰1蝴.络4先煮进袖的C趋M经O肤S工柴艺6恩.翼1亿.且1基训本更工屯艺朽步类骤(耕1匠)氧请化C贴M塘O表S集纸成见电痛路森中S就i晒O2层牧的钞主朽要坑作坟用斯：做M廉O闹S晶且体贵管蓬的恨栅江绝纵缘陵介替质忽；做章杂丈质础扩脚散喜和落离爽子糖注共入抚的屡掩卸蔽涛层挨和榨阻悉挡忌层嫁；做M守O疤S晶鼻体裤管软之稳间份的城隔欣离务介包质牢；做屈多循晶钢硅漂、牲金绒属施等齿互女连孙层菜之男间浪的剪绝神缘责介砍质值；做北芯章片作表萌面稠的末钝彻化麦层译。热万氧管化孟法附：勺干薪氧滔、租湿救氧锁、干瘦氧-湿侍氧-干挡氧约交躁替跌氧肚化6羡.路1豪.戚1基治本送工朋艺佣步粱骤(街2智)淀枝积通运过冬物瓶理猾或袜化颂学眠的俊方绢法陡把里另券一龄种闸物尸质形淀朽积净在跟硅谎片蛛表喂面达形在成戒薄以膜(低爷温)。物响理必气辛相培淀概积(援P计h叮y甚s仰i百c稍a旱l饶V阀a委p寸o土r刷D星e短p痛o珠s械i探t怠i窃o齿n，P眯V翁D带)蒸范发溅影射化浓学冶气半相罪淀肝积(蔬C炮h不e菜m脚i钩c枯a疯l展V汪a牙p怖o形r笑D乳e著p催o运s溉i寺t违i衡o倒n，C璃V纲D秘)6理.博1幕.妙1基悉本店工适艺情步渴骤(财3论)光炼刻贝和限刻催蚀把芦掩域膜捎版目上糊的叮图滋形吃转芬移雅到罗硅拉片券。①生逗长兽一峰层S诵i倍O2薄狸膜；②在民硅船表坦面幕均挡匀挖涂驱抹此一殊层恐光稳刻弟胶(以施负姐胶呈为篮例)；③咱盖团上掩抱膜乔版舌进旋行承光膨照，使柱掩垦膜托版辈上盐亮响的(久C荐l猴e沙a染r唤)区梳域圆对倾应狼的泡光值刻克胶无被抖曝复光箱，湾而原掩类膜岂版岛上串暗筹的(佛D现a尼r子k紫)区家域趴对览应编的权光谁刻级胶灾不窜能终被罚曝嫁光。6龟.捎1泥.惧1基则本则工抗艺茂步美骤(源3婚)光索刻捕和冠刻刊蚀④把面未牵被膨曝秧光横的羽胶竿去伯掉暑，活显胁影煤后壶掩兵膜黑版毛上令的辉图型形尝转羡移乐到苗光须刻烛胶算上；⑤丧采书用湿糊法问刻北蚀或干牺法分刻构蚀早去庸除帐没借有边光恨刻己胶导保气护菌的S棉i宜O2；⑥去勒除卫残照留贺在皮硅沸片泳上健的缠所衡有御光床刻僻胶抓，贺完徐成冬版罪图肢图盟形穴到假硅闯片从图妻形例的不转棒移。6竭.菌1轻.急1基翠本民工堡艺袜步寸骤(府3逐)光象刻案和跑刻威蚀光五刻图胶负州胶戚：曝刚光令前侮可坑溶均于钳某株种距溶罢液缠而晕曝击光柏后漂变诸为寄不献可扶溶；正状胶擦：曝谨光当前色不站溶于薪某共种托溶韵液泽而曝知光趟后秘变址为遗可骨溶；通才常拆正持胶稳的指分问辨扬率资高动于帐负出胶。6药.惹1星.红1基蜂本验工封艺仰步粉骤(男4胸)扩葛散淹和肯离梢子闭注饼入在垒硅呈衬猎底宁中四掺淋入立杂仆质豪原松子婚，希以锋改钢变木半冷导东体卸电假学专性告质航，录形叫成p昌n结幕、川电眉阻匠、反欧洲姆妻接毯触坐等亲结害构咳。扩车散：杂屿质原歉子在晶高钉温葱下久克衡服渡阻培力把进购入仅半选导梯体封，钱并雷缓垮慢警运狼动快。替停位节式稼扩盼散、间忍隙爱式侨扩庭散离颜子数注乎入：将莫具忍有多很润高约能惑量还的旧带瞧电妙杂拳质谣离数子乘射鸦入纤硅图衬属底堆中战。需高葡温闷退煎火6需.鄙1劳C宗M盾O锄S工策艺6鼓.甚1但.遵1基可本由工溪艺姑步魄骤6认.别1忠.刮2魄n阱C诱M县O理S工搜艺久流求程6聋.睁1丘.察3硅贷基C钱M腾O魄S中摧的颗闩存锁麻效券应6盲.轻1暴.剪4先炎进菜的C航M裳O唐S工郑艺6般.稀1脊.争2稻n阱C步M皂O寺S工制艺图流渡程两冲种凯器吊件蚂需筒要蜡两叶种碍导探电帜类营型蓬的奇衬愿底知。在n型盒衬扎底立上矿形驻成p阱销，悔把N宝M杠O弃S管匪做范在p阱决里扒；或班在p型戏衬丘底惑上难形鞭成n阱烦，讨把P段M匙O殊S管寨做怨在n阱木里册。6落.改1解.所2让n阱C呼M旗O酿S工闪艺栗流扒程①准垦备膜硅谦片寇材裤料p型<僚1纤0会0偶>晶习向判硅并片②形埋成n阱热馋氧净化己，返形火成杂掩淘蔽窃层光涨刻碗和其刻缺蚀劳，爸开巡寿出n阱满区肆窗凡口离喉子岂注枪入表并籍高津温薪退税火涝，寒形举成n阱6片.忠1州.猫2沉n阱C缓M部O稻S工罗艺街流棋程③赴场洞区诵隔脚离局成部也氧脾化(血L称o孤c斥a州l矛O过x厚i伸d做a哲t佣i陶o窄n眼o漫f笋S材i犹l四i粘c颗o喷n，L牌O矿C连O裁S帐)工纵艺利近用敢有茂源勺区却掩晴膜镜版谎进拳行脑光节刻锄和令刻厘蚀登，鼓露敢出四场徒区场冈区乱注四入去枯除溪光短刻算胶补，占场桌区焦热尺生蛙长曾一汽层眼厚六的数氧债化岗层去度除哭有守源称区抗上的保乐护隐层场江区缝和棵有骂源获区炼的扭氧毛化货层欣台鹅阶严降庆低抢，坟平宁整户度巷提练高竭。6瞧.锣1钉.赚2终n阱C涉M殃O状S工宾艺足流探程④形辰成咳多抢晶范硅施栅热眼氧台化生生钢长固栅还氧碑化械层→C疼V估D淀鲜积则多壤晶蓝硅甩并浴离嘉子罪注艳入→光垃刻竿和正刻盟蚀⑤源铁漏昌区n便+父/抚p柔+注男入利夜用同恐一n暴+掩弊膜吃版，桨采会用工负床胶自和关正平胶进番行两粗次光当刻返和晕刻腥蚀，否分桃别脏进编行n萌+注第入窃和p派+注慰入坏。6河.占1走.巧2辆n阱C沃M追O玻S工包艺糕流挡程⑥形这成奇接资触凶孔C骆V豪D淀绝积做绝屋缘够层→光负刻辣和般刻敏蚀灵形剂成担接爆触解孔⑦形潜成勉金粒属哈互悄连淀树积膏金勉属觉层→光因刻稼和更刻售蚀弄形季成顽金余属截互爷连6巷.锅1然.牌2爱n阱C河M爬O侍S工叛艺存流城程⑧形罗成作钝角化录层淀培积S恨i3N4或谊磷驴硅野玻乔璃→光珍刻蝇和让刻惕蚀旗，非形糖成恭钝评化高图抛形铝尚栅富工称艺瓦：源(或狗漏)区芹与庙栅护之运间屈形奴成样缺兴口歼，飞无嫂法影形忆成校连派续树的霉沟丝式道。硅墙栅纷工栋艺利：“末自伯对休准混”6揪.钱1铲C社M亚O矮S工膛艺6箭.辞1肝.盲1基拌本宪工属艺和步锈骤6吓.遗1柿.或2辅n阱C阳M蚕O善S工问艺都流棒程6古.民1煌.描3硅烂基C功M吵O燥S中脱的们闩榆锁它效影应6宿.屡1匙.菜4先瞎进拴的C挖M骂O筝S工抢艺6滋.腾1胳.施3硅爷基C郊M棋O伐S中居的捧闩光锁粱效修应寄像生蛛晶阀体票管Q1、Q2，秀寄隙生维电宽阻Rn饥w、Rs衫u剃b构劈燕成伪等骨效偿电淡路Q1和Q2交纲叉根耦熟合畜形唉成此正瞎反政馈浊回额路电胁流率在Q1和Q2之吓间材循霞环龄放垫大VD储D和G剑N醋D之壮间肝形辉成木极名大狮的妨电症流含，眯电椅源词和衔地方之言间句锁妙定限在贺一钓个尾很棵低翠的宴电勇压(维纱持敬电皱压Vh)6热.扩1赏.欢3硅汽基C提M跑O堂S中控的劈燕闩先锁喊效袋应发剖生崇闩稍锁激效钞应联后VD骆D和G术N幸D之焦间孔的豆电仁流-电急压覆特封性防愁止清闩兔锁逝效切应扭的距方劝法禁：提管高旧阱慈区硬和颂衬慌底缩慧掺境杂沿浓蹄度；加n难+和p舟+保凯护泳环；采苹用p详-外币延夏工格艺；采鬼用S西O比I厕(巩S警i貌l业i殿c开o下n狮O意n辰I饼n揉s成u铜l唱a蹦t援o疼r另)逮C闲M览O歇S工双艺。4岗2体博硅C贴M杂O基S中平的告闩骨锁堡效红应4取3闩群锁脚效坡应:等厌效翅电蜜路Q栏1Q斩2Q冷3Q睛4V悦o贯u肠tV洁o营u穷tR击wR俗s4块4防罢止惹闩顿锁适效帽应冲的榆措虎施减隶小悲阱赖区颗和唉衬侄底还的雹寄研生无电秒阻降表低道寄什生开双认极透晶础体灯管鞠的猪增振益使父衬淹底饮加芹反培向喉偏衫压加铅保室护课环用羊外汤延动衬摩底采羞用S历O衣I尘C苦M讯O迫S技劲术4叔5抑大制分闩雁锁鹊效危应忍：1、裙减礼小删寄肉生爷电镰阻2、坛降示低飞寄绘生晋晶村体团管绪增牺益3、僻衬肠底坦加详反侦向仓偏数压4屡64、桂保澡护差环4简75、续外阻延跨衬壮底6折.敲1亡C亚M乳O佳S工假艺6欠.圾1习.环1基奇本冷工剃艺门步壤骤6股.亮1么.岩2逮n阱C写M诸O竹S工轨艺盈流云程6核.犁1恰.只3硅签基C森M恨O感S中热的卵闩托锁沙效声应6驼.焦1抹.幕4先扫进舍的C糕M羡O晒S工臭艺4货9深碰亚菜微到米C位M捆O促S结搬构首和姥工抓艺5汇0深泉亚粗微拆米C御M哲O与S工傲艺槽的还主掠要亭改稻进浅它沟饺槽萄隔之离双笨阱薪工姥艺非梢均泛匀袍沟可道旨掺怀杂n鼓+足/药p葱+两抽种名硅鸭栅极排浅烘的坊源蚕漏掀延缸伸忧区硅秋化勺物缴自叠对答准污栅-源-漏兄结浅构多缘瑞层烧铜刷互冻连5冷11、挖浅脏沟上槽斑隔闸离常港规C伪M甘O若S工遍艺紫中家的L袜O档C遭O跨S隔剥离届的早缺句点表惠面口有都较存大赖的沟不事平辜整炒度鸟唇嘴慈使沉实感际六有跨源创区揭面懒积愁减雪小高鲁温否氧馅化弊热尝应波力跃也避会束对耻硅肃片沉造塞成李损镜伤魔和线变狐形浅桂沟毕槽疼隔鲜离册的秧优手势占阻用失的怒面母积潜小抽，狂有激利傻于括提深高殃集任成筐密调度不虎会历形云成谈鸟秧嘴用C杨V向D淀棉积凭绝竟缘架层徒从押而质减夹少文了纷高替温晃过颗程5仅2浅写沟拳槽置隔最离纸（S浴T转I）光笋刻篮胶氮益化基硅（a）（b）（c）（d）5委3S本T灵I抑振制推窄山沟抽效湾应5尽42、隆外膛延佛双骨阱限工淡艺常斥规驱单罗阱C停M慰O摧S工伏艺扛，棉阱京区溜浓声度墓较笛高秘，哥使庙阱信内课的悦器溪件萍有盗较河大去的盟衬输偏娃系胆数董和卖源爱、躲漏季区p牲n结狭电悄容采偏用棵外安延轻双伍阱低工侮艺搭的神好逢处由肤于舞外苍延看层弊电霜阻姻率闭很腾高租，悬可慰以阔分蜡别绣根剂据N床M徐O粉S和P爆M抛O框S性屋能粥优砍化联要年求奋选耳择压适刺当金的n阱罚和p阱昆浓亲度做抓在轨阱搜内裹的闭器傻件蔬可察以稻减再少堂受挨到α粒岔子焦辐沾射蛋的巩影示响外狮延畜衬吴底孔有壤助肉于银抑傅制合体茶硅C药M渗O悬S中嫂的张寄条生调闩萄锁寨效瞒应5突53沟督道畅区晶的携逆师向挨掺醋杂连和济环独绕速掺谨杂菌结津构沟够道糟掺郑杂亚原雹子乒数止的筛随汇机熟涨政落储引浆起既器犯件劈燕阈候值塑电你压航参洪数旬起摇伏鸭，雕因秀此闲希咸望稼沟先道蓄表祸面庄低功掺张杂锈；后体忌内雾需标要副高茫掺桂杂坦抑恢制乒穿到通睁电震流逆袍向隙掺筒杂誉技移术代利晕用遵纵轿向旋非拦均略匀诊衬去底祝掺馒杂刘，茧抑峡制关短叙沟秧穿括通行电裁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能撒；实么现四三诱维边立符体蜜集盐成幕。9说0S代O蜻I技角术狱实端现迫三编维适立叨体坟集道成9元1S忍O每I辱C露M得O尺S反惜相店器练结事构9创2S腾O县I与燃体续硅C危M狗O佣S性鹅能帆比欺较9、轿静较夜钉四砖无型邻旨，拌荒惭居某旧讯业恶贫晒。肺。7绞月神-宿2挡37宫月叠-蚊2勤3S丛u低n等d止a脖y停,偿J幕u乡丰l斗y狸3拨0送,历2矛0余2看31摆0、百雨秀中择黄虏叶端树冒，遵灯悲下惕白换头荒人欲。险。2恢0佩:恋1锐2太:劣1别12锄0什:遵1尺2炎:吹1码12淡0无:星1名27昆/围3赛0迅/载2抽0材2绘3掀8背:慨1咳2学:方1歪1塌P交M1娇1、贡以搞我烧独筝沈蚁久叉，柿愧铃君抬相都见县频煎。丧。7岂月盒-匀2鹿32雄0雄:供1若2僵:叹1脆12先0轨:丛1名2J形u馋l兼-狮2犯33终0付-两J怪u程l客-谊2皱31墨2、革故税人昨江侍海扰别陆，召几跑度洲隔导山撤川腹。尸。2常0阁:殃1锤2耽:晨1跑12劳0弦:两1旋2燃:跟1钟12即0馆:壶1豪2S博u狗n游d站a览y棵,峡J上u乎l冬y独3抵0垄,虎2掠0醒2司31浆3、磨乍辞见抖翻扑疑摩梦鞠，役相江悲朱各稻问紫年滔。针。7柴月零-鸭2详37悲月伪-映2饶32允0斯:丽1泪2裁:晕1饭12灿0揉:和1机2但:扒1哨1J扩u隙l末y壁3致0厌,循2坚0秧2景31汁4、壳他悲乡援生躁白型发然，赢旧塞国喇见妖青锦山亚。禁。3愿0勿七锣月填2欲0榨2酒38童:狸1信2怠:他1拢1堡下纺午2英0祝:旷1揭2踪蝶:扁1免17障月钳-珍2予31兵5、炮比寸不怖了术得敌就苹不宪比根，军得较不五到痛的韵就钞不洒要去。辽。。七拜月隶2恩38鸭:尿1勤2呆下织午7斯月直-弓2异32擦0高:战1置2J继u陆l剧y脾3鸟0哈,阅2谨0熊2萌31厕6、洒行呈动纱出册成窝果洽，化工凳作灯出顿财担富执。姐。2进0杨2崖3班/娃7剃/弹3蔽0炉2塘0横:齐1安2域:贵1监12悼0禾:伞1衫2瞎:比1蝇13裙0垃J妻u具l抵y诱2营0牧2询31妇7、从做饲前法，麻能疏够雹环身视朗四食周姨；窜做恢时隙，惩你尖只刊能闷或雹者丛最沟好俊沿金着狗以作脚小为洗起淹点段的痒射蛾线烟向腿前砍。尿。8捕:鹅1善2届:亡1弓1孙下套午8放:跃1剪2直下畏午2漫0里:糟1百2活:假1败17朵月头-付2白39、爬没蹄有拨失惰败豪，结只例有忍暂县时台停租止捕成栽功涛！魂。7边月绵-票2棉37旋月峡-公2吵3S察u语n恐d拾a螺y翅,绍J锻u率l兔y窑3翁0名,菜2除0勉2荒31乐0、眨很嚷多尤事灯情蹲努岗力坐了踪蝶未习必璃有而结尤果忘，既但圈是腐不住努喝力赔却厕什诊么评改蜡变林也胁没膝有萄。米。2央0狼:找1远2胞:蜓1远12桑0县:蛛1糊2带:在1晒12蛾0叉:号1候27婆/芦3贤0担/间2请0骑2旧3叠8泽:泻1宋2姑:分1萝1帅P瓜M1钳1、堪成韵功傲就践是葱日理复绢一祸日梢那粪一璃点破点令小企小柏努裙力搁的报积梳累浇。号。7喘月则-蛮2勇32真0廊:尊1炉2妙:抬1久12罚0期:诉1辉2J邀u词l仗-深2泳33某0川-肉J兆u敏l聪-私2些31裁2、两世算间容成庭事搜，凭不沿求城其偏绝撕对喂圆铺满娱，翻留膝一很份只不垮足踏，蚁可艺得居无府限狭完野美偷。绝。2方0程:面1齐2肤:娱1买12凭0坏:躺1聪2夹:旦1侵12融0锯:遮1辱2S惜u梢n敬d蚊a代y献,择J市u锦l从y英3赶0库,演2废0误2箭31愉3、敢不朵知愤香剪积嗽寺悄，兽数刺里糕入挽云僻峰桐。但。7棕月婆-丢2不37唐月种-减2赢32材0铅:呜1烫2胸:很1命12惰0炊:颜1凉2慢:亡1的1J横u葛l论y洗3厘0烫,爱2境0泡2捞31贺4、烘意零志剑坚缴强青的务人糊能冰把星世霜界骄放底在佛手危中衣像拜泥去块镇一静样救任刃意挽揉即捏尤。3裙0屡七龙月捏2蚁0述2法38艘:岭1治2终:春1匀1舌下止午2夏0膛:朵1驰2茧:严1阶17拌月妨-蕉2宏31带5、舒楚影塞赚三寸湘质接费，霉荆懒门渔九要派敌通亏。岂。。七舍月播2摘38诸:科1犯2廊下停午