臭氧清洗问答

1、 臭氧清洗在制绒中的应用作用。答：替代制绒槽前后的预清洗和后清洗，取消对应槽体双氧水和碱的使用，降低成本和环保。2、 臭氧浓度稳定的相关性答：臭氧浓度稳定性与很多因素有关，分为夕卜部因素和臭氧机台因素两方面，其中外部因素譬如温度、酸碱性等；臭氧机台因素包括臭氧发生器的输出稳定性、臭氧水混合的稳定性、软件算法的完善度等。中世太科技臭氧机台运行经验丰富，工艺窗口宽，如有异常也可快速解决相应问题。3、 HF+O3对槽体材质及硅片处理的影响。答：无论是HF还是臭氧水都建议使用PVDF或PTFE槽体。HF结合臭氧水可以实现腐蚀清洗的目的，这个要结合工艺要求具体实施。4、 jjc制绒前臭氧使用绒面异常的处理答：绒面异常很多种，这个根据异常情况针对性处理。（增加水槽不过PSC可以解决。）5、 臭氧水臭氧水+HCL臭氧水+HF的区别及应用场景。答：这个是不同的工艺要求使用不同的配方问题，可以告诉大家的是单晶PERC使用臭氧水+HCL的方式。另两种方式涉及到客户具体应用要求不做详细讨论。（也可以将后PSC用HF+O3清洗，进行圆滑处理绒面，提升IVOC.）6、 成本收益。答:建议各位同行根据工艺配方计算下每台制绒机每年对应化学品（对应槽体的双氧水和碱）的量，从而可以得出成本收益。根据实际情况发现每个客户收益还是有差别的，但综合投资回报周期都在1年以内。7、 臭氧水+HF能否应用与石墨舟清洗，HF+臭氧水比单纯HF反应速率高多少。答：臭氧水+HF清洗石墨舟可以尝试，但是投资回报周期可能很长，是否划算值得商榷。反应速率没有对比过，同行有兴趣可以尝试下。（可以在特定温度下反应速率在目前的几倍。）8、 如何制备高浓度稳定的臭氧答：高浓度是相对的，臭氧产生原理刚才已经讲到，分为紫外照射和电晕放电两种方式，电晕放电又有管式和板式两种，目前最高浓度都是板式放电实现的，但是板式放电也涉及很多细节，譬如如何包装放电稳定性和高纯度，这里面涉及放电室结构、材料和电源技术等。9、 电解水法制备可以达到多少ppm答：电解水法制备臭氧暂未应用到光伏行业，具体技术细节待确认10、 臭氧在生产400片时的消耗与补加量怎么保持平衡答：软件算法自动实现，实时监测每个槽体浓度实现闭环控制。（关闭溢流，只进行补加）11、 臭氧消泡原理及怎么解决臭氧产生的气泡答：跟混合方式有关，涉及到技术细节不展开讨论。12、 高浓度70ppm以上臭氧怎么实现，控制稳定性答：增加臭氧输入，稳定性任何浓度都是相似的，通过软件闭环控制。（PH值与臭氧浓度，臭氧溶解性有相对应关系，可增补HCL进行验证，注意半衰期）13、 如何加快臭氧腐蚀速率，有数据参考下嘛答：高浓度大流量加快腐蚀速率。14、 臭氧在碱性条件下，怎么提高清洗洁净度答：臭氧水与碱分解，碱性情况请勿使用臭氧水。（碱性液后进行水隔离）15、 臭氧在提篮前后浓度下降5ppm左右，怎么达到稳定浓度条件。答：5ppm这个幅度太多，一般控制在士1ppm如果是我司设备，请联系售后解决。（具体看不同浓度，怀疑受补加，衰减影响）16、 臭氧在药液槽需要定排或补加药液嘛答：根据不同应用场合有不同的要求，常规PERC产线需要定时补加HCL。（可设定液位高度，提篮后自行补加，不建议设定补水）17、 如何提高维持住臭氧的产生利用率答：增加臭氧气体溶解能力和减少臭氧水的分解。18、 臭氧能达到清除金属离子作用吗答：臭氧水清除金属离子的作用很强，这个有大量文献和数据佐证。19、 如何改善臭氧的除污能力，让它跟双氧水效果可以匹敌答：双氧水清洗更加〃简单粗暴〃，目前针对返工片双氧水效果更好，暂无良策。20、 臭氧除污效果差，是跟硅片接触有关吗？如何提高？答：臭氧水除污效果不差，只是返工片清洗效果稍差。（浓度，臭氧水组合）21、 臭氧槽的寿命如何提升？答：使用耐臭氧槽体，就不用担心槽体寿命的问题了。22、 臭氧洗硅片之后hf会不会把硅片表面的一层油污也脱落掉，导致提篮时硅片四周最先接触那些油污，导致硅片制绒后四周脏污？答：未听说过硅片表面油污一说，臭氧水对有机物氧化性很强，油污作为常见有机物，容易被臭氧水氧化。23、 重新配槽后如何快速恢复臭氧浓度？答：正确配液和耐心等待。24、 中世太臭氧设备同MKS臭氧设备比较优势在哪里，除了价格。答：MKS和我们合作的进口臭氧发生器是欧洲常见的品牌，全球市场大家公平竞争。我觉得有以下几点特点：1、更加适用于光伏行业，毕竟立足光伏行业，结合了臭氧和光伏两个行业的特征，做到更加适用。2、产品更多元，可以客户要求做到定制化。 3、售后服务更加灵活。本地备件仓和完善的全球售服团队保证快速响应。 （MKS更高，更稳定，性能更好，当然价格略贵）25、 臭氧浓度和Ph值的关系答：PH>7臭氧分解，臭氧溶解于中性或酸性环境，具体不同 PH值溶解能力可以再查阅相关文献。26、 臭氧工艺效率优势在哪里主要优化点在哪里原理是什么答：常规PERC电池效率无优势，只是大幅降本。（结合PSC进行臭氧水清洗，大概率可以提升效率，台北有公司做）27、 纳米服花篮匹配臭氧会有什么问题为什么？怎么解决答：纳米服花篮本身耐臭氧，但每家花篮厂家工艺有差异，具体以现场使用情况为准。如有问