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文档简介

#实验现象初步总结：1、体内钝化应有一最佳温度，并非温度愈高，钝化效果愈佳，从目前实验参数及数据看，820°C钝化更具优势(Pagel)。2、烧结温度对低扩散电阻材料体内钝化的影响较明显(Pagel),但对高扩散电阻材料影响程度相似，且能影响整个波段的量子效率(Page3)。对表面钝化影响不明显(Pagel)。3、NH3:SiH4流量比对低扩散电阻材料的体内钝化影响不大(Page4,B1-1(1)有待重复实验)，但对高扩散电阻材料的体钝化有一定程度的影响(Page2)。高扩散电阻表面钝化的情况受NH3:SiH4流量比的影响较大(Page2)。

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