真空泵的工作原理_第1页
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真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。代表的真空泵1:旋转式机械泵2：分子泵（TMP）3：离子泵4：Ti升华泵5：低温泵曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。旋转式机械泵以油封式真空泵为例加以介绍。构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。特征：排气能力由压缩比决定，可达O.lPa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。为了避免油或其它液体进入真空腔内，不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵。偏心转子ehccom排气口吸气口偏心转子ehccom排气口吸气口分子泵（TMP）

构造：电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。原理：每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。特征：不用油，工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复旋转叶—固走叶片//////旋转叶—固走叶片//////旋转寸向I J吸吒口 ；离子泵构造：强磁铁，蜂窝状阳极，钛(Ti)阴极。原理：通过溅射现象，使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。一部分气体分子也离子化之后向阴极加速，使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。特征：能达到超高真空(lOTOPa)需要和其它初段排气泵组合。有一定寿命。Ti升华泵构造：加热电阻丝、Ti材料（线或球）。原理：通过加热电阻丝，使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、贝U产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。在压力较高时（＞10-3Pa）、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。特征：排气速度大。没有运动部分，没有振动。需要和其它初段排气泵组合。有一定寿命。低温泵构造：冷冻机、液态He。原理：利用气

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