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文档简介

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专题：用光干涉极值法动态测定膜厚一、引言：薄膜光学是物理学领域近期发展出来的一个分支，它主要研究光在分层介质中的传播规律，如介质的折射率、反射、吸收及色散变化的规律等。对于厚度小于10nm的膜，其光学特性（如折射率和吸收系数）与膜厚有显著的关系。在各种不同的应用中，对薄膜厚度的要求是十分严格的，所以不论何种形式的镀膜设备都需对膜厚进行监测。抢答当两束光满足什么条件时能够发生稳定干涉？

思考与讨论：（1）图中反射光的光程差是多少？ab1n2n1neCBA●SLP●DirireE●

（2）透射光的光程差又是多少？分组讨论2分钟分组讨论3分钟这两束透射的相干光的光程差是：

ab1n2n1neCBA●SLP●DirireE●

干涉条件可写为：

（1）

（2）

（3）思考与讨论：光强每经过一个周期的变化，膜层的厚度增加多少？分组讨论2分钟这种方法的优点是可实现镀膜过程中，膜厚的动态控制

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