金属防腐清洗剂

用来化学机械抛光、刻蚀、沉积等防腐的产品金属防腐清洗剂01前言参考配方基本信息常见类型目录030204基本信息金属防腐清洗剂广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中，该清洗液降低了对后续工艺的干扰，大大降低了金属材料的表面点蚀，减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷，提高了清洗效率和产品优良率，增加了收益率，大大改善了金属表面的平坦度质量。前言前言该清洗液广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中，该清洗液降低了对后续工艺的干扰，大大降低了金属材料的表面点蚀，减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷，提高了清洗效率和产品优良率，增加了收益率，大大改善了金属表面的平坦度质量。基本信息基础配方使用工艺组分机理基本信息基础配方将一定分量的各组分（有机羧酸化学添加剂（0~5）、有机膦酸化学添加剂（0~0.5）、有机磺酸化学添加剂（0~1）、氨基酸化学添加剂（0.5~5）、聚合物金属防腐抑制剂(10~5000mg/L)、含氮杂环化合物（0~1）、载体加至100混合均匀即可。组分机理1）络合剂：一般选用氨基羧化合物及其盐、有机羧酸及其盐、有机膦酸及其盐的一种或多种。有机羧酸为柠檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或马来酸中的一种或多种混合物；有机膦酸为烷基膦酸、苯基膦酸、1-羟基乙烯基-1,1-二膦酸、亚甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亚甲基磷酸、环丁烷基三胺-5亚甲基膦酸或多氨基多醚基四亚甲基膦酸中的一种或多种的组合；有机磺酸为甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸内酯的一种或多种的组合；含氮氨基酸为甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、苏氨酸、丝氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天门冬氨酸、赖氨酸、中一种或多种。2）防腐抑制剂：该清洗液中运用聚合物金属防腐抑制剂为聚丙烯酸类化合物、丙烯酸类化合物与苯乙烯的共聚化物、丙烯酸类化合物与顺丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸类化合物与丙烯酸酐类的聚化合物、膦酰基羧酸共聚物、中一种或多种；相对分子量为2000~.其中较好的是相对分子量在5000~的聚丙烯酸。使用工艺1）压力1.0~2psi、抛光盘的转速50~70r/min、抛光头转速70~90r/min、抛光液流速200~300ml/min、抛光时间1~2min;2)然后在压力1.5psi、抛光盘的转速25r/min、抛光头转速25r/min，使用本清洗液，流速300ml/min、抛光时间0.5~1min;3)用清洗液及聚乙烯醇滚刷对晶片表面进行刷洗2min,滚刷转速为300r/min,清洗头转速280r/min,清洗剂液流量300ml/min;4）再用去离子水及PVA滚刷刷洗2min，滚刷转速为300r/min，清洗头转速280r/min，去离子水流量300ml/min.参考配方参考配方投料比成分说明柠檬酸1~2苯基膦酸0~0.5二甲基磺酸0~1甲硫氨酸0~0.05聚丙烯酸常见类型常见类型金属油污清洗剂、铝材清洗剂、超声波清洗剂、水基清洗剂、无磷清洗剂、发动机清洗剂、汽车清洗剂、电解脱脂剂、无磷脱脂剂、中性脱脂剂、铝酸脱脂剂、钢铁脱脂剂、水性脱脂剂、化学脱脂剂、除