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文档简介
机修钳工技师、高级技师(*号是高级技师项目)学习单元2机械设备零部件加工及相关
设备、工具与工艺
任务——1.组合导轨的刮研及检测;2.可调式研磨棒的设计及制造;3.数控机床*4.新型刀具材料*5.特种加工.超精研磨*6.超差项的解决方法*学习任务2.1组合导轨的刮研及检测一、矩形组合导轨的刮研及检测矩形组合导轨如下图。
(1)调整床身的安装水平用机床垫铁调整好床身的安装水平。
(2)绘制表面1,2的运动曲线利用水平仪在表面1,2的读数在同一图上分别绘制出表面1和2的运动曲线(后面刮研用)。(3)选刮研基准(表面1,2选其一)先将检验棒插人孔A中,再用指示表检测矩形组合导轨简图分别检测表面1,2与检验棒上母线的平行度,一依据检测结果,选择出一条与孔A平行度较好的表面作为基准,现假设选用表面1。
(4)刮研基准表面1用平尺研点刮直表面1,并使其与检验棒上素线平行。
(5)刮研表面2以表面1为基准,刮研表面2,用轻型平板刮研或用桥板检测表面l,2的平行度。
(6)刮研表面3若可将表面3倾侧成水平位置,则用平尺刮研,用水平仪检测,若不能翻转,则用平尺刮研水平面内直线度,短导轨可用平尺精度及研点保证,长床身就可用光学平直仪或拉钢丝用读数显微镜进行检测。
(7)刮研表面4同刮研表面3,也可采用平行导轨三点刮研法。
(8)刮研表面5,6若床身可翻身,则可用平尺刮研,使其与表面1,2相平行,若床身不便翻身,则可利用拉刨或磨削等“自修身”的方法进行修复。一、矩形组合导轨的刮研及检测二、V-平面组合导轨的刮研及检测
V(凹和凸)平面组合导轨见下左图和右图。(1)刮研V形导轨首先按单导轨刮研的方法将V形导轨刮研好,刮研时,要同时检查与传动部件安装平面的平行度或垂直度。
(2)刮研平面导轨以刮好的V形导轨为基准来刮削平面导轨,用桥板和水平仪按下左图、右图检查两导轨的平行度,刮研至要求。
(3)配研显点用型面平板涂上蓝油和导轨配研显点,然后精细刮削V形导轨两个斜面和平面导轨面,直至研点数达要求(这一步只对精密机床导轨而言)。(凸)V-平面组合导轨刮研简图(凹)V-平面组合导轨刮研简图三、双(凹)V形组合导轨的刮研及检测
1.用专用研具进行刮研一副凹凸形样板研具见下左图。研具的长度应是导轨跨度的1-1.5倍,原则上越长越好。利用此研具,两条导轨可同时刮研。
1)先将研具在机床导轨磨损量最小处对研,以此来修整研具的角度。
2)然后将凹、凸形研具与导轨对研配接触点。
3)再精刮安装水平仪的上平面,按下右图用指示表检验上平面与v形表面的平行度和两个研具两平面的平行度。双(凹)V形组合导轨专用研具简图用指示表检测V形面与安装面的平行度简图三、双(凹)V形组合导轨的刮研及检测
2.用通用工具刮研
1)刮研一条v形导轨。利用平尺或方形平尺等通用工具,先将这条导轨刮研至要求。
2)刮研另一条v形导轨的一个斜面。以刮好那条v形导轨为基准,用平尺为研具,以桥板和水平仪为检具,再刮另一条v形导轨的一个斜面,使其与基准导轨的平行度达要求,见下图。
检测双V形导轨的平行度简图4)配刮台面导轨。
5)台面导轨与床身导轨合研。当台面导轨上研点达标后,就可用台面导轨与床身导轨合研,若在床身导轨全长内接触不理想,则可微量地再修刮床身导轨,使研点扩大并趋于均匀。6)复检。复检导轨副在垂直平面内的平行度和水平面内的直线度。三、双(凹)V形组合导轨的刮研及检测
3)刮研另一条v形导轨的另一个斜面。用2)中同样的方法将此斜面刮好达要求。四、双(凸)V形组合导轨的刮研及检测双(凸)v形组合导轨的刮研方法基本与上述双(凹)v形组合导轨相同,只是采用的工具略有改动。可用左下图所示.的桥板测量进行刮研;也可用右下图所示的双V形座及标准圆柱进行检测,预先刮好基准,也可用配合件作研具进行刮研;当然也可用双(凹)V形组合导轨刮研用的研具进行刮研。用V形座及圆柱检测双(凸)V形组合导轨的平行度简图双(凸)v形组合导轨平行度的检测简图五、燕尾形(组合)导轨的刮研及检测
燕尾形(组合)导轨见下图。(1)刮研底平面5先将底平面5在平板上研点刮平。
(2)刮研表面1,2用角形平尺分别在1、2上研点刮研,要求两平面相互平行,小件可在平板上用指示表进行检测(左下图),大件可用等高块及指示表检测或水平仪检测(右下图)。
燕尾形(组合)导轨平面导向的检测简图
燕尾形(组合)导轨的刮研和检测简图
(3)刮研表面3,4用角形平尺刮研3、4两斜面,两斜面的平行度可用圆柱量棒和千分尺进行检测(如下图),检测时,应在燕尾导轨全长移动三个位置(即两头和中间)进行检测,千分尺最大读数差即3,4两个斜面的平行度误差。
燕尾形(组合)导轨用千分尺检测平行度简图五、燕尾形(组合)导轨的刮研及检测*学习任务2.2可调式研磨棒的设计及制造一、研磨环各部分尺
研磨环一、研磨环各部分尺寸
二、芯轴各部分尺寸
芯轴二、芯轴各部分尺寸
三、左垫圈各部分尺寸左垫圈三、左垫圈各部分尺寸四、右垫圈各部分尺寸右垫圈四、右垫圈各部分尺寸五、组装后的研磨棒规格尺寸研磨棒五、组装后的研磨棒规格尺寸学习任务2.3数控机床一、特点及组成1.特点
(1)柔性高柔性即是灵活、通用、万能,可以适应加工不同形状的零件。
(2)精度高可避免人为误差,传动系统和结构都具有较高的精度和刚度,可获得较高的加工精度和稳定的加工质量。
(3)效率高是普通机床效率的3~4倍甚至几十倍。
(4)劳动强度低只需操作键盘、装卸零件、检测零件及观察机床运行,故操作者劳动强度大为减轻。2.组成
(1)主机由几种机械部件组成,包括床身、主轴箱、工作台、进给机构、自动换刀装置等。
(2)数控装置一般由一台专用计算机构成。
(3)驱动装置包括主轴电动机、进给伺服电动机等。
(4)辅助装置是数控机床的一些配套部件;如自动对刀部件,自动排屑部件等。一、特点及组成二、分类1.按运动轨迹分类
(1)点位控制或位置控制数控机床。
(2)轮廓控制数控机床轮廓控制又称连续控制。
2.按驱动系统(伺服系统)的控制方式分类
(1)开环控制数控机床不具备位置检测反馈装置。二、分类(2)闭环控制数控机床此类数控机床具有位置检测反馈装置。(3)半闭环控制数控机床具有位置检测反馈装置,但检测元件不进行直接检测,而是通过角位移检测元件,间接检测伺服机构中执行元件的转角,再通过计算换算出工作台的实际位移量,将计算值与指令值进行比较,用比较后的差值进行控制,使机床作补充位移,直到差值消除为止。。二、分类
3.按加工方式分类
(1)金属切削数控机床如数控车床、镗床、磨床及加工中心等。
(2)金属成型数控机床如数控折弯机、弯管机等。数控机床半闭环控制系统框图(3)特种加工数控机床如数控线切割机、电火花加工机床及激光切割机等。
(4)其他数控机机床如数控火焰切割机、三坐标测量机等。二、分类三、基本工作原理1.编制零件程序
2.将零件程序送入数控装置
3.数控装置向驱动装置发出脉冲信号数控机床的基本工作原理即加工零件的过程四、机械结构1.主要特点与基本要求
(1)主要特点
1)变速箱结构被取消或部分取消。
2)具有较高的传动刚度和没有传动间隙。
3)机械结构比传统机床具有更高的集成化功能要求。
4)精度更高,驱动功率更大,机械结构动、静、热态刚度更好,工作更可靠,可以实现长时间连续运行和尽可能少的停机时间。
(2)基本要求
1)更高的精度。
2)更好的动、静态刚度。
3)适应高速运动的寿命和工作可靠性。
2.构成四、机械结构3.主传动系统
(1)结构特点
1)主传动系统的机械变速机构越来越简化。
2)电动机直接或通过传动带带动主轴。
3)主轴电动机的转子和主轴合为一体,传动路线的长度缩短为零。
(2)主轴部件的结构:数控机床主轴部件典型结构如图所示,结构要点如下图。四、机械结构数控机床主轴部件(一)
1—卡爪2—弹簧3—拉杆4—碟形弹簧5—活塞6—液压缸7—套筒四、机械结构数控机床主轴部件(二)1)结构形状及构造,主要取决于轴上传动件、轴承等零件的安装和主轴加工装配的工艺要求。四、机械结构①轴端部采用7∶24锥孔,用于装夹刀具或刀杆。
②主轴端部还有一端面键,用于传递转矩,兼作刀具定位。
③主轴是空心的,用来安装自动换刀需要松开夹紧装置。
2)主轴前后轴承的类型和配置。
①主轴前后端采用双列圆柱滚子轴承和在前端安装双列向心推力球轴承,适用于重载和中等转速的工作场合。
②采用2~3个向心推力轴承或用向心推力轴承和圆柱滚子轴承结合的配置,适用于高转速中等载荷的工作场合。
四、机械结构3)主轴的准停装置①准停装置的作用有确保主轴停止,端面键能对准刀具上的键槽,以便插入。确保镗削自动让刀时,镗刀在主轴停转时保持不变的位置。
②准停装置分类有接触式、非接触式。
4)主轴定位常采用定位销插入的方式,定位可靠,但结构复杂。
5)刀具自动松开和夹紧装置(实现自动换刀的装置)。
①刀具夹紧。
②刀具松开。
③卸荷装置。四、机械结构(3)常用元件
1)多楔带,又称复合三角带,它兼有平带和V带的优点。
2)主轴轴承。
4.进给系统
(1)基本要求集中在精度、稳定和快速响应三个方面。
(2)典型结构
1)立式加工中心X和Y两坐标进给系统机械结构如图所示,传动及结构要点如下图。四、机械结构伺服电动机与丝杠直联的进给系统机械结构图
1—伺服电动机2—联轴器3—滚珠丝杠4—限位开关
5—工作台6—轴承7—导轨8—磁尺9—螺母①伺服电动机1与滚珠丝杠3通过联轴器2直接驱动工作台5。四、机械结构使用同步齿形带传动的数控车床进给系统
1—脉冲编码器2—同步齿形带轮3—同步齿形带
4—滚珠丝杠5—伺服电动机②直线运动采用滚动导轨,确保运动的精度和动作的灵敏度。四、机械结构③伺服电动机与丝杠直联。编码器往往安装在伺服电动机轴上,成为一个整体单元,安装和调试均比较方便。
④两个运动坐标可联动,计算机控制系统协调两个运动坐标的位移和速度完成平面轮廓的切削。无键弹性环联轴器
1—主动轴2—螺钉3—从动轴
4—压盖5—弹性环6—轴套四、机械结构2)数控车床进给系统机械结构,如上图所示,传动及结构要点如下:
①伺服电动机5通过同步齿形带3和滚珠丝杠4相联。
②编码器1固定在滚珠丝杠的右端,将工作台的实际位移信号反馈给控制系统,属于半闭环控制。
③同步带连接方式隔离了电动机的振动和发热,使电动机安装位置更加机动。
(3)关键元件
1)联轴器。
①无键弹性环联轴器四、机械结构②套筒式联轴器。结构如下图所示。套筒式联轴器
1—销2、5、8—套筒3、6—传动轴4—螺钉7—主动轴
9—十字滑块10—防松螺钉11—键四、机械结构同步带
a)梯形齿同步带b)圆弧齿同步带2)最常用的同步带结构如上图所示四、机械结构3)无间隙传动齿轮副。
①刚性消除间隙方法通常有两种:偏心调整法和垫片调整法②弹性消除间隙方法通常有两种:轴向弹簧调整消除法和周向弹簧调整消除法。四、机械结构传动齿轮间隙的偏心调整
1—小齿轮2—偏心套3—大齿轮直齿轮间隙垫片消除
1—小齿轮2—大齿轮3—垫片轴向弹簧调整结构
1、2—薄斜齿轮3—弹簧4—键5—垫圈6—轴7—宽斜齿轮斜齿轮间隙垫片消除
1—宽斜齿轮2—垫片3、4—薄斜齿轮四、机械结构周向弹簧调整结构
1、2—薄斜齿轮3、9—柱销4—弹簧5、6—调整螺母7—调整螺栓8—凸耳四、机械结构(1)基本要求分成两类:数控转台和分度台。
1)数控转台。
2)分度台。
(2)典型结构如下图所示。
1)工作过程。
①转位。
②准停。四、机械结构回转工作台③定位。
2)结构要点。
1)工作过程。
①转位。四、机械结构②锁紧。四、机械结构
2)结构要点。
①开式数控转台使用步进电动机或其他伺服电动机驱动,没有检测元件和信号反馈,也没有为分度的定位元件。
②齿轮(2、5)的啮合间隙是通过调整偏心环1来消除的,见下图。③蜗杆4和蜗轮8的啮合间隙则采用双导程蜗杆调整来实现。
④数控转台没有零点,以消除连续回转的累计误差。
(3)主要元件
1)鼠牙盘。
①结构。THK6370自动换刀数控卧式镗铣床分度工作台结构图
1—弹簧2—滑动轴承3—蜗杆4—蜗轮5、6—齿轮7—液压缸8—活塞9—分度台10、11—推力轴承12—升夹液压缸13—上齿牙盘14—下齿牙盘XHK5140自动换刀数控立式镗铣床开式数控转台结构
1—偏心环2、5—齿轮3—步进电动机4—蜗杆
6—调整环7—锁紧液压缸8—蜗轮鼠牙盘及其齿形四、机械结构双导程蜗杆齿形示意图②工作过程。③优缺点。
2)双导程蜗杆。
①工作原理。四、机械结构②优缺点。
6.自动换刀装置
(1)自动换刀种类
1)回转刀架换刀。
①特点。
②换刀过程。
③适用范围。
2)多主轴回转刀架换刀。
①特点。回转刀架就是刀库。四、机械结构四、机械结构②换刀过程。
③适用范围。
3)刀库换刀。
①特点。带有独立的刀库。
②有机械手换刀。
③无机械手换刀。四、机械结构(2)刀库
1)组成。
①驱动装置。通常采用电动机或液压机。
②减速装置。必要的采用减速机构。
③定位装置。专用的定位机构。
④控制装置。采用机电结合的销定位方式,也可采用简易的位置控制器。
2)种类。
①盘式刀库的不同形式如图所示。四、机械结构盘式刀库的不同形式②链式刀库的不同形式如图所示。
3)容量。四、机械结构4)刀具的选择与识别。
①任选法。链式刀库的不同形式
a)单链结构b)多链结构c)回转式链带结构刀具编码示意图
1—刀柄2—编码环3—压紧螺母四、机械结构刀座编码示意图
1—编码装置2—读码装置②记忆存取法。四、机械结构5)典型刀库的结构。
①由液压马达驱动,通过蜗杆4和蜗轮5、端齿离合器2、3带动与刀库圆盘13相连的轴1转动。
②圆盘上有40个刀座,相应有40个刀座编码板,读取装置在刀库的下方,圆盘转动时,编码读取装置依次读出所经过刀座编码板上的代码,在找到所需刀座时圆盘停止转动。
③此时,液压缸6使端齿脱离接触,液压缸12卸油,依靠弹簧10的作用带动V形块14使圆盘定位,以便换刀。四、机械结构四、机械结构圆盘刀库的结构图
1—轴2—端齿离合器左盘3—端齿离合器右盘4—蜗杆5—蜗轮6、12—液压缸7—读码器
8—编码器9—刀座孔10—弹簧11—顶销13—刀库圆盘14—V形块回转式单臂双爪机械手
a)刀具轴与主轴平行b)刀具轴与主轴垂直c)刀具斜置
1、9—刀库2、10—换刀位置的刀座3、8、13—机械手4、5、14—机床主轴
6、7、12、15—刀具11—换刀位置四、机械结构1)单臂双爪机械手换刀的动作顺序。
①首先单臂转动一个角度,使双爪紧握刀具,见图2-44a。
②单臂向前伸去,同时将刀具从主轴孔和刀库中拔出,见图2-44b。
③单臂转动180°,双爪交换位置,见图2-44c。
④单臂缩回,刀具插入,见图2-44d。
⑤然后双爪复位,见图2-44e。单臂双爪机械手的换刀动作顺序图
a)抓刀b)拔刀c)换刀d)插刀e)复位
1—主轴2—刀库3—机械手四、机械结构2)机械手的典型结构。
①换刀的动作顺序。换刀开始时,气缸4向左运动,推动齿轮15逆时针转动。由于此时气缸1位于上方,圆盘14的端面销插在齿轮15的槽孔内,故齿轮15带动手臂主轴2和手爪到抓刀位置,同时行程开关17发出抓刀结束和拔刀开始的信号。然后气缸1向下推动手臂主轴2拔刀,轴2上圆盘14随之下移,端面销和齿轮15脱开,和齿轮10接合。拔刀结束时,行程开关8发出信号使气缸6左移,通过齿轮10带动手臂主轴2继续逆时针旋转180°,实现手爪7的换位。换位结束后,行程开关12发出信号,气缸1向上完成插刀动作,齿轮10脱开,齿轮15接合。在行程开关9发出插刀完毕信号后,气缸4右移使手爪回到原始位置。在气缸6复位后,等待下一个换刀指令。四、机械结构四、机械结构②手爪结构如图所示,其工作原理为:手爪抓住刀具后,顶销3依靠弹簧1顶住刀具。在手爪下移开始拔刀时,弹簧2将销紧块顶起,使顶销3无法缩回,保证刀具销紧。手爪只有在最高位置时,依靠销4将销紧块顶出,顶销3才能自由伸缩实现抓刀和松刀动作。单臂双爪机械手的结构示意图
1、4、6—气缸2—手臂主轴3、5—轴7—手爪8、9、11、12、16、17—行程开关
10、15—齿轮13—柱销14—圆盘手爪结构图
1、2—弹簧3—顶销4—销四、机械结构1.分析零件图样2.工艺处理阶段3.数学处理阶段数控编程的步骤五、数控编程的步骤4.编写程序单5.制作控制介质6.程序校验和首件试加工五、数控编程的步骤1.手工编程2.自动编程手工编程的工作过程自动编程的工作过程五、数控编程的步骤学习任务2.4新型刀具材料一、涂层刀具材料
1.涂层刀具材料的特点
1)硬度高。
2)耐磨性好。
3)化学性能稳定。
4)耐热耐氧化。
5)摩擦因数小。
6)热导率低等。
2.与未涂层刀具相比
1)延长刀具寿命3~5倍以上。
2)提高切削速度20%~70%。
3)提高加工精度0.5~1级。
4)降低刀具消耗费用20%~50%。3.涂层刀具分类
1)涂层高速钢刀具。
2)涂层硬质合金刀具。
3)在陶瓷刀片上进行涂层的涂层刀具。
4)在超硬材料(金刚石或立方氮化硼)刀片上进行涂层的涂层刀具。
4.涂层刀具材料的应用一、涂层刀具材料
1.陶瓷刀具材料的特点
1)硬度高。
2)耐磨性能高。
3)耐高温。
4)抗热振性好。
5)抗冲击性能好。
6)不易与金属产生粘结。
7)化学稳定性好等。
2.陶瓷刀具材料分类
1)CA氧化铝基氧化物陶瓷(白陶瓷)。
2)CM氧化铝基金属碳化物复合陶瓷(黑陶瓷)。
3)CN氮化硅基氮化物陶瓷(非氧化物陶瓷)。二、陶瓷刀具材料
4)CO陶瓷涂层刀具。
3.陶瓷刀具材料的应用
1)氧化铝基陶瓷刀具。
2)氮化硅基陶瓷刀具。二、陶瓷刀具材料
三、超硬刀具材料1.超硬刀具材料的特点
1)具有很高的硬度。
2)具有很好的导热性。
3)具有很高的杨氏模量。
4)具有很小的热膨胀。
5)具有较小的密度。
6)具有较低的断裂韧性。
7)具有良好的化学及电学性质。
三、超硬刀具材料2.超硬刀具材料分类
1)聚晶金刚石(PCD),即人造金刚石。
2)聚晶立方氮化硼,即人造立方氮化硼。
3.超硬刀具材料的应用1)聚晶金刚石刀具。
2)聚晶立方氮化硼刀具。*学习任务2.5特种加工一、特种加工的特点1)不用机械能,与加工对象的机械性能无关。
2)非接触加工,不一定需要工具(有的虽使用工具,但与工件不接触),故工具硬度可以低于被加工材料的硬度。
3)微细加工,工件表面质量高。
4)热应力、残余应力、冷却硬化等都比较小,尺寸稳定性好,可获得较低的表面粗糙度值。二、特种加工的用途1)可加工任何硬度、强度、韧性、脆性的金属、非金属材料或复合材料。
2)特别适合加工复杂微细表面和低刚度的零件。
3)还可以用于超精密加工、镜面加工、光整加工及纳米级的加工。三、特种加工的分类1)电火花加工。
2)电化学加工。
3)高能束加工。
4)物料切蚀加工。
5)化学加工。
6)复合加工。四、电火花加工1.定义
2.加工原理电火花加工原理示意图
1—脉冲电源2—自动进给调节系统3—工具
4—工作液5—过滤器6—工作液泵7—工件3.特点
1)可以加工任何软、硬、韧、高熔点的导电材料。
2)适于加工特殊及复杂形状的零件。
3)可实现加工过程自动化。
4)可以改进结构设计,改善结构的工艺性。
5)可以改变零件的工艺路线。
4.应用
1)用来加工各种型腔及孔。
2)可进行切断和切割。
3)可进行电火花磨削和镗削。
4)可进行电火花展成加工。
5)可进行电火花表面强化及刻字。四、电火花加工五、电火花线切割加工1.定义2.加工原理
3.特点电火花线切割加工原理图
1—电极丝2—储丝轮3—工件4—脉冲电源5—绝缘底版1)不需要制造形状复杂的工具电极,用简单的电极丝即可。
2)能切割加工微细异形孔、窄缝及复杂形状的工件
3)加工中并没有把全部多余材料加工成废屑,提高了能量和材料的利用率。
4)切割效率高,加工精度高,表面粗糙度值高,切割厚度厚。
5)自动化程度高,操作简便,劳动强度低。
6)安全、不会引燃起火。
4.应用
1)可加工各类模具。五、电火花线切割加工2)可加工二维直纹曲面的零件。
3)可加工三维直纹曲面的零件(需配有数控回转工作台)。
4)可切断各种导电材料、半导体材料及稀有、贵重金属。
5)可加工微细槽、任意曲线窄缝。五、电火花线切割加工六、超声波加工1.定义
2.工作原理超声波加工原理图
1—超声波发生器2—换能器
3—变幅杆4—磨料悬浮液注入
5—工件6—工具(1)磨料的冲击作用。
(2)磨料的抛磨作用
(3)液体的空化作用
3.特点1)不需要使工具和工件作比较复杂的运动。
2)加工时宏观切削力很小,不会引起变形、烧伤。
3)被加工表面无残余应力,无破坏层,表面粗糙度值很小,加工精度高。六、超声波加工4)加工机床结构和工具都较简单,操作维修方便。
5)生产效率低,这是超声波加工的缺点。
4.应用
1)适合加工各种硬脆材料,特别是某些不导电的非金属材料,如玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石、金刚石等。
2)可加工各种复杂形状的型孔、型腔、型面。
3)可用于切割加工和清洗等。六、超声波加工七、激光加工1.定义
2.工作原理激光加工原理图
1—激光器2—激光束3—反射镜
4—聚焦镜5—工件6—工作台3.特点
1)光点小,能量集中,热影响区小,热变形小。
2)不接触加工工件,对工件无污染。
3)便于自动化控制。
4)不受电磁干扰。
5)切割缝隙小,缝隙可达0.1~0.2mm。
6)高速快捷,成本低廉。
7)切割面光滑,效果一致。
8)安全可靠。
七、激光加工(2)激光加工工艺包括切割、焊接、表面处理、打孔、打标、划线、微雕等各种加工工艺。七、激光加工4.应用
(1)激光加工系统包括激光器、导光系统、加工机床、控制系统及检测系统。八、离子束加工1.定义
2.工作原理
3.特点
1)离子束加工是当今所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法,是纳米加工技术的基础。
2)非接触式加工,不会产生应力和变形。
3)在真空腔中进行,污染少,材料加工表面不氧化。
4)设备费用昂贵、成本高,加工效率低。
4.应用
(1)蚀刻加工如蚀刻陀螺仪空气轴承和动压马达沟槽;高精度非球面透镜加工;高精度图形蚀刻(集成电路、光电器件等);集成光路制造;加工极薄材料等。(2)镀膜加工如在金属或非金属材料上镀制金属或非金属材料(涂层刀具的制造)等。
(3)离子注入如某些特殊的半导体件等。八、离子束加工*学习任务2.6超精研磨一、超精研抛的四个阶段(1)自由研抛阶段
(2)镶嵌研抛阶段(3)饱和钝化研抛阶段
(4)“壳膜化”研抛阶段
二、分类1)磁力研磨。
2)弹性发射加工。
3)磁流体抛光。
4)磨料流加工。
5)化学机械抛光。三、磁力研磨磁力研磨
工作原理
1—磁极2—磁性磨粒
3—工件1.定义
2.工作原理3.特点
1)通过改变磁场的强度可以轻易地控制研磨压力。
2)具有良好的自锐性。
3)加工过程易实现自动化。
4)加工温升小,工件变形小。
5)加工表面光滑平整。
6)加工效率高。
7)不污染环境。
三、磁力研磨4.应用
1)适用于精密零件的研磨、抛光和去毛刺,如轴承的内外、滚道、滑阀、齿轮泵、模具等。2)既可磨削以铁和碳素钢、合金钢等磁性材料制造的零件,也可磨削由黄铜、不锈钢和软合金等非磁性金属材料制造的零件,还可磨削陶瓷、硅片等非金属材料。三、磁力研磨*学习任务
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