标准解读

《GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法》这一标准主要针对光学功能薄膜中微结构的厚度测量提供了详细的操作指南和技术要求。该文件适用于各种类型的光学功能薄膜，特别是那些表面或内部含有微小结构特征的产品。根据此标准，微结构被定义为尺寸在亚微米至几百微米范围内的几何形状。

标准首先介绍了适用范围、规范性引用文件以及术语和定义部分，确保了对相关概念有统一的理解基础。接着，在技术要求章节里，明确了进行微结构厚度测试时应达到的具体条件与标准，包括但不限于样品准备、环境控制等方面的要求。

对于测试方法，《GB/T 42674-2023》推荐了几种不同的技术手段来实现准确测量，如原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）等，并且对每种方法的应用场景、操作步骤及注意事项进行了详尽说明。此外，还特别强调了如何正确处理数据以获得可靠的厚度值。

在结果表达方面，本标准规定了报告格式、单位使用等细节，保证了不同实验室之间能够相互比较实验结果的一致性和可比性。同时，也提到了质量控制的重要性，建议定期校准仪器设备并采用参考物质进行验证试验，以此来确保长期稳定地提供高质量的数据输出。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2023-08-06 颁布
  • 2024-03-01 实施
©正版授权
GB/T 42674-2023光学功能薄膜微结构厚度测试方法_第1页
GB/T 42674-2023光学功能薄膜微结构厚度测试方法_第2页
GB/T 42674-2023光学功能薄膜微结构厚度测试方法_第3页
免费预览已结束，剩余9页可下载查看

下载本文档

GB/T 42674-2023光学功能薄膜微结构厚度测试方法-免费下载试读页

文档简介

ICS7108099

CCSG.15.

中华人民共和国国家标准

GB/T42674—2023

光学功能薄膜微结构厚度测试方法

Opticalfunctionalfilms—Measurementmethodformicrostructurethickness

ISO92202022Metalliccoatins—Measurementofcoatinthickness—

(:,gg

ScanninelectronmicroscoemethodNE

gp,Q)

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T42674—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件参考金属镀层镀层厚度扫描电镜测试法起草一致性程度为非等效

ISO9220:2022《》,。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出

。

本文件由全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会归口

(SAC/TC431)。

本文件起草单位中国乐凯集团有限公司合肥乐凯科技产业有限公司衡山县佳诚新材料有限公

:、、

司浙江耀阳新材料科技有限公司深圳市纵横标准技术有限公司凯鑫森上海功能性薄膜产业股份

、、、()

有限公司东莞市光志光电有限公司

、。

本文件主要起草人夏江南高建辉姜宁赵朔田坤韩明星程媛李宗刘玉磊刘文亮姚一凡

:、、、、、、、、、、、

李文沾赵建明曹建周鹏罗惠滨

、、、、。

Ⅰ

GB/T42674—2023

光学功能薄膜微结构厚度测试方法

1范围

本文件描述了通过扫描电子显微镜检测光学功能薄膜以下简称薄膜横截面微结构厚度

(SEM)()

以下简称横截面厚度的方法

()。

本文件适用于厚度不小于的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试

50nm。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则

GB/T27788

光学功能薄膜术语及其定义

GB/T33376

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T33376。

31

.

光学功能薄膜opticalfunctionalfilms

用于平板显示器的具有优良光学性能的原膜和功能膜

。

来源有修改

[:GB/T33376—2016,2.1.19,]

4原理

从待测样品上切割一块试样对试样横截面进行研磨抛光蚀刻超薄切片处理用校正过的

,、、、。

测量横截面厚度

SEM。

注附录给出了指南

:A。

5仪器设备

51SEM

.

分辨率应小于

50nm。

52SEM台置测微标尺

.

用于校正的放大倍数不确定度的误差值应小于

SEM,5%。

6影响测定准确度的因素

61表面粗糙

.

如果试样横截面或基体表面粗糙会导

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论