GB/T 42721-2023电子特气一氧化氮

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T42721—2023

电子特气一氧化氮

Electronicspecialtygas—Nitricoxide

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T42721—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位大连科利德光电子材料有限公司昊华气体有限公司湖州市南浔区佰通标准化

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研究院中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司广东华特气体股份有限公司苏州金宏气体股份有限

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公司江西华特电子化学品有限公司华测检测认证集团股份有限公司绿菱电子材料天津有限公司

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北京高麦克仪器科技有限公司三峡大学湖北和远气体股份有限公司湖北京瑞气体有限公司兰州裕

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隆气体股份有限公司玉门大洋天庆石化有限责任公司昊华气体有限公司西南分公司中昊光明化工

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研究设计院有限公司上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有

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限公司上海市计量测试技术研究院中国计量科学研究院杭州新世纪混合气体有限公司宿州伊维特

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新材料有限公司联雄投资上海有限公司杭氧集团股份有限公司衢州杭氧特种气体有限公司上海

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凡伟仪器设备有限公司浙江泓芯半导体有限公司布鲁克北京科技有限公司空气化工产品中国

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投资有限公司浙江炬和科技有限公司绍兴科艺标准技术咨询有限公司沈阳中复科金压力容器有限

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公司浙江西亚特电子材料有限公司浙江东开半导体科技有限公司和立气体上海有限公司昆明广

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瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司

、。

本文件主要起草人施旖旎付梦月陈辉刘颖焦培培郭琼张天泽李翔宇袁瑞玲邵治平

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傅铸红陈艳珊金向华孙猛廖恒易茹高艺曹雪枫汤萍牛艳东李长健马彬淇杜大艳曹小林

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方强袁有录王小波尹爱华常侠边鲁宁阳辉汪正宏陈洁吴靓方华王昭彬于庆伟高艳秋

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郝萍王德发张体强张金波杨金山秦远望何波杨康黄辉韩一松毛玲玲吴慧明兰锋尚柏羊

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耿朝曦王晶李倩董硕顾大正宫兵王大为杨利钱叶超吴乾康梁永强梁成科高静马昌宁

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赵刚赖晓峰周鹏云

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Ⅰ

GB/T42721—2023

电子特气一氧化氮

1范围

本文件规定了一氧化氮的技术要求采样试验方法检验规则标志包装运输贮存及安全信息

、、、、、、、

的要求

。

本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

纯氮高纯氮和超纯氮

GB/T8979、

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

压缩气体气瓶充装规定

GB/T14194

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

移动式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005

气瓶安全技术规程

TSG23

气体分析采样导则

ISO19230(Gasanalysis—Samplingguidelines)

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

一氧化氮的技术要求应符合表的规定