干泵使用注意事项培训教学课件

adie∩byAlcatelVacuumTechnology干泵使用注意事项培训是vacuumtechnologyunlimitedByblues,Aug,2019ALc▲TELadie∩多级罗茨的工作原理byAlcatelVacuumTechnology〉通过以下方式将潜在沉积物最小化1.通过减小气体经过的中间腔的容积;2.通过在泵的每一级进行N2吹扫从而稀释工艺气体(P和H型3.通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺,从而限制气体在泵内的冷凝(P和H型)ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-2Allrightsreserved2019,Alcateladie∩干泵的温度控制原理byAlcatelVacuumTechnologyCooling3·way-whveRootsateroutletExhaustaAnti-suckbackvalveALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-3Allrightsreserved2019,Alcateladie∩干泵的氮气吹扫原理byAlcatelVacuumTechnologyIPNpHvesirilALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-4Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology〉当真空泵上方的主开关设置为“0时,电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。〉针对P和H型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害,因此氮气流量需要由工艺设备进行监控,没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备,如必要还需要互锁〉如果高于LEL(爆炸极限低点)含量的易燃物质进入真空泵,那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL以下,同时工艺设备需要在真空泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-5Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology〉如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害,因此冷却水流量需要由工艺设备进行监控〉如果工艺中有任何腐蚀性的,易反应的,易燃的或氧化性强的介质进入真空泵,则需要在排气口安装监控装置,确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外,也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入真空泵〉如果有易燃物质进入真空泵,用户需要在排气口提供可以检测LEL的装置(能够检测到25%的LEL的仪表),当检测到易燃气体含量达到25%的LEL值时停止进入真空泵的气体。ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训一6Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology〉当真空泵停机时,内部元件(监控系统,变频器)包含充电大于60VDc的电容,依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后,等待1分钟再打开真空泵。〉氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力对于氮气吹扫,断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀对于冷却水管路,断开进水接头并保持出水管路连接。等待1分钟后,断开出水接头ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-7Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology〉A|cate并不能控制进入真空泵的气体种类。通常,工艺气体是有毒的,易燃的,有腐蚀性的,易爆的或易发生反应的由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡,因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的,以保证最终的排放气体符合空气标准ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训一8Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护开关(ADP泵)和RT2开关(罗茨泵),该互锁必须在安装,使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活,则电源会切断,真空泵处于安全状态。当真空泵出错时,必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除错误,需要将主开关关闭,打开电气箱。=5并将相关保护开关重置为ALc▲TELSeries2干泵使用注意事项培训-9Allrightsreserved2019,Alcateladie∩使用时的安全注意事项byAlcatelVacuumTechnology〉真空泵配置了紧停(EMo)回路。当紧停激活时,真空泵进入安全停机状态。若要外部使用,真空泵J1接口上的两个干接点针脚1和4可以提供使用。真空泵的CoverplugE