多晶硅锭定向凝固生长方法概述

多晶硅锭定向凝固生长方法实现多晶硅定向凝固生长的四种方法：布里曼法热交换法电磁铸锭法浇铸法8.5.1铸锭浇注法铸锭浇注法于1975年由Wacker公司首创，其过程是将硅料置于熔炼坩埚中加热熔化，而后利用翻转机械将其注入预先准备好的模具内进行结晶凝固，从而得到等轴多晶硅。近年来，为了提高多晶硅电池的转换效率，也有人对此传统工艺加以改进，通过对模具中熔体凝固过程温度加以控制，形成一定的温度梯度和定向散热的条件，获得定向柱状晶组织。8榜.福5膛.短1铸遇锭文浇孙注绵法铸办锭挎浇症注蜘法狗生便产沾原篮理底示凭意逢图1寒固劝态舞2寇.羽液共态怠3荷熔抹炼棒坩厌埚兆4壁.欢涂点层炊5绣.统凝确固阴界戴面题G事.锁模朴具8愁.您5扣.航1铸座锭眉浇豪注丑法由工于座浇酿注粉法调用泡的弄坩要埚,模蜡具翼材匠料削多胆为牧石固墨腊、采石悄英侄等熟，断所茶以维用恰该踏法昆制株备刊的隙多哑晶宁硅丛中卸氧促、垒碳欣等原杂意质骆元罚素拳含处量峡较贡高坡。同前时差，等硅吩熔刻体渗在割高逢温啄时凭与中石拨墨沙发芳生描反色应涨，苍加晓之曲硅什凝凉固苹过散程荷中燃的闸体尺膨帐胀饼作柜用末，厅易暗造相成钞硅颤锭馆与湿石竟墨兵模每具秩的狂粘膏连扭，箩冷帝却缴后姑难趁以伪脱硬模做。为纺了败避是免崇以架上按缺碑陷检，攀研害究妈者溪们护经蒸过赠多昨年房诚的障研铁究就实置践封，洋在臣坩灶埚恭、粱模炊具软的虾内油工梨作任表款面惨上忆涂模上颈一顶层餐膜购，含以舞防鹊止费坩鼠埚太、燃模掌具茫等学对珍硅呜的忍污环染愚及蛮起码到参一赞定客的牵润到滑度脱钉模钞作兽用柄。8登.广5寄.奖1铸反锭估浇振注离法多呜年植来挺通起过扩对草各岂种延涂旬膜跳材吹料符性倦能旨及五所垃制京得阀硅苍锭因品渔质是的警对怜比泼研柔究他后雷，疯目封前痕主液要利采警用S抚i3N4,类S前i邪C否-傅S研i3N4,串S陡i筛0斗/厘S征i况N区,石B声N等御。除仆此紫之福外天，墨大雀面做积喊化悔，瓶即香增棵加希坩蚊埚绸或丧模尘具踢的扔体却积杠表锡面读比相，煌从奶而膜减唐小妙熔爆体催与加坩需埚帮或绪模婶具酸的佩接油触戏面愁积宿，携亦绵有尿利碑于项杂阀质孔的康降师低闯。8定.而5芬.良1铸没锭否浇使注撑法为扑提欲高炼多帐晶哗硅业锭军品让质再从尝而泪提次高伙电乳池未效武率柜，肺近瞎年祸来鞠对顶该挤法堆硅侍料蓄熔疼炼辱过违程如也迟进范行为了末研辽究疲，颜采陷用抬了嘴一醒些誓新延的搭熔艘炼提技肾术特，依如抛利锣用革真漫空峡除爪杂渠作弃用谣及错感倡应封熔鸭炼塑过膊程危中北电亚磁主力删对孤熔轰体宵的巴搅澡拌棋及布促伪使继熔做体晕与狮坩车埚攻的糠软拔或骗无饰接振触开作知用咐，扩采悲用距真津空侧条子件劳下毙的电混磁波感赖应押熔匆炼或冷荡坩越埚树感渠应拍熔期炼来狸对劫原饲料诸硅显进察行增加蛛热乌熔液化西等脚。8现.枝5穴.抽1铸泳锭船浇闭注窃法浇宅注营法爱工初艺仿成榜熟疏、挎设忽备滋简堂单坛、乞易随于丢操挡作齐控象制宏，宰目屯能歇实送现劣半躺连欣续闹化钉生茎产蜂，雪其好熔滤化膨、辈结有晶锤、烛冷记却加都耐分仰别乡丰位签于蚁不枝同叙的展地跳方弯，何有誉利透于谎生万产环效爷率骨的苗提棍高庭和顿能训耗狱的成降律低;然翅而溉，云其经熔捡炼倘与波结赌晶涛成堪形倡在沸不认同蒸的录坩抛埚喇中掌进疤行蹈，骗容苍易拘造永成凉熔而体句一度次搭污副染姐，爆同蛮时揭受都熔均炼牵坩般埚索及础翻简转落机球械氏的够限虽制桨，淋炉默产黑量船较甘小凭，送目灵前岭所哀生摘产辈多括晶美硅解通升常橡为卧等徒轴框状汽，怀由纤于宿晶负界违、僚亚闪晶左界诵的系不舍利伪影俭响肾，宫电稿池蹄转咏换臭效陈率显较找低虚。8慌.杂5兼.称2定惠向祸凝慌固泊法定李向容凝帅固豪法借通嫂常歼指需的湾是仪在敏同充一隐个们坩写埚态中斯熔杏炼惰，护而应后我通织过君控栋制肯熔性体仰热蜂流唇方腹向练，瓶以傍使近坩刻埚夺中插熔篮体圈达司到咱一蕉定袖的执温芳度勤梯熟度庙，嫂从哑而氏进彼行梁定详向雕凝杏固葡得虾到妥柱挂状帅晶仅的男过奸程沉。对旦于备熔烦体六热跌流你方葬向牺的雪控惯制凶，膏主汪要假有:以持一欣定骑的膜速慌度头向袜上秤移顽动固坩膊埚五侧问壁渔、咳向导下睁移鼻动钳坩腥埚帽底放板睁、饼在洽坩洒埚秒底枝板猪上晒通矩水锅强乐制筐冷伤却桑或债是剥感纹应掩熔瓜炼席时湿将好坩枝埚方连辫同将熔苏体久一燃起附以之一翅定促的片速弱度听向剂下纯移敌出茄感锡应糊区碰域扩、膜从秆下样向铸上耻陆冈续倒降锹低跑感众应耗线剑圈妄功咬率穿等赞。实裤际索应诱用鉴的描定闯向倦凝略固世基艇本僵方叠法育卞欣要详有:热伴交赢换泉法(紧H览E义M腥)、B盐r差i主d妻g引m释a陶n等定追向堆凝宣固钻柱阴状崖晶园生做长壤示针意怖图热船流犬方灯向侧段向厅无衬温川度篮梯已度篇，露不梳散邻热晶税体客生石长哗方辈向多葵晶迹硅燃锭鹅的豪柱倍状拖晶获结疲构一慎般激来爆说名，蝴纯幼金唯属怒通志过艰定坦向弓凝捐固恰，舒可根获厉得重平箭面驼前放沿柴，泽即类随朵着缓凝毛固党进壮行萍，锯整约个愈平籍面归向就前歉推某进岩，面但僚随炼着嘴溶拼质横浓欠度咳的挂提赶高纸，足由恳平勉面栏前执沿纳转捏到尝柱大状永。对掘于假金亦属正，章由阶于咸各徐表胡面约自腔由娱能掏一虹样航，兄生浙长捎的统柱贸状滩晶凑取留向购直捕，诞无杨分技叉灿。而暂硅扰由犯于损是民小怖平路面材相勿，半不拆同讯晶墙面推自刃由轨能娱不惨相碰同就，完表捷面纹自挠由桶能凶最慨低售的互晶奖面卫会哥优歇先资生谱长上，镜特午别赞是好由族于迈杂似质搏的超存眯在校，高晶趣面边吸袜附楚杂搞质娃改脖变尼了漠表涨面跨自巧由埋能伍，她所测以生多痒晶杨硅狂柱粗状门晶仰生疲长揉方调向仔不网如疮金柏属展的覆直威，巡寿且搅伴榨有登分丢叉猎。8足.胜5巡寿.怒2定等向携凝状固割法热浸交矿换仗法基谈本垂原部理锐是替在源坩兽埚泄底龟板廊上够通咸以桃冷匹却扔水吊或氏气芒进述行施强补制悬冷壶却浮，抄从编而鼠使手熔巷体财自籍上瓦向针下膏定杂向车散皂热;B凯r跌i哥d杂g筹m进a旱n法则赌是佣将愤坩掩埚住以役一匪定示的负速督度流移精出出热气源斑区浙域喊，铅从拢而种建枝立粘起连定泰向货凝促固烫的复条零件本。实至际闷生呈产顿应门用戏中郑，货通骄常涌都恭是彼将井两泪者政综单合猜起谅来虑，勒从阿而罢得乐到别更吧好梳的投定粒向伴效波果特。定忆向柱凝启固蹄法荒基蹦本括原纱理1紧冷学却嘱水封或豪气2树.脖坩仗埚3戒.细液谊态4恒.庭固狼/龟液格界升面5腾.裕固无态6待.值热场源布符里绝曼遗法辟（B租r专i叹d捞g正e蚂m炼a洞n尸M晶e油t嫩h告o修d）这逃是叛一屿种养经堂典斑的京较僵早缓的达定撇向康凝占固闷方侨法正。特武点孟：坩杠埚每和泽热掠源刃在辩凝恶固炎开刑始雄时栽作迎相誉对攀位胆移揪，揭分吹液宁相遣区委和订凝换固姻区泼，拥液刊相碎区晋和河凝折固起区存用挺隔虽热寸板拒隔胜开株。液诊固帅界德面没交肚界恋处阻的拥温味度李梯舅度匠必旋须>森0，睛即d遭T掘/妥d蝴x坦>欠0，尾温跑度蹈梯它度隔接晨近秩于勇常猫数窃。长匪晶什速霉度舰受材工润作化台柴下豪移锯速油度介及陶冷厉却戴水海流炒量索控食制孤，絮长卫晶段速计度默接捐近添于叼常务数扯，较长补晶活速沈度弃可读以悦调裹节信。硅倚锭诵高虹度补主很要拖受象设老备婚及灿坩窝埚赠高佳度木限欠制其。生集长山速去度刊约0凳.盾8萄-勾1歇.厌0尚m按m摧/分堵。缺纪点述：记炉幼子么结仿构类比鸣热续交悼换御法制复福杂春，周坩疲埚渐需终升蚕降倍且旦下颤降价速垃度贝必琴须尤平亡稳窄，胳其遣次厕坩宵埚争底乖部雨需规水枕冷。坩向埚热愉源硅妹液隔波热将板热获开坛关工歉作凯台冷摄却盒水固斜相固岩液逢界察面液智相布昂里复曼旗法压示葬意乐图热搏交用换雅法是介目映前限国雾内喜生镜产蛾厂阔家臣主材要搏使疏用葛的缩慧一绕种惠炉浪型爱。特掌点储：坩责埚黎和申热盖源辈在蒜熔犹化糕及壤凝舱固潮整谅个桨过仿程基中卵均凤无带相受对舅位捐移衣。墓一饰般束在饱坩知埚拐底挣部颂置页一寨热射开掉关浩，晋熔俊化巴时津热眯开单关杨关哗闭当，逮起浴隔价热悄作孙用脖；阵凝耗固堆开盛始滴时达热半开掘关食打郑开种，樱以浓增和强香坩友埚仓底槽部勉散记热揭强镰度摧。绢长钞晶枣速票度第受衰坩莫埚极底距部扬散第热驻强载度伸控裳制添，庭如品用策水孩冷轨，扯则巷受检冷加却涛水象流钻量扶（岂及丘进踏出纤水浙温巾差贡）眠所挂控肤制为。由筹于歇定球向逮凝莲固因只激能游是速单横方嫩向笑热食流孟（付散年热消）槽，差径融向扶（博即下坩辈埚景侧衫向弄）堂不侨能秘散哀热劳，续也座即充径劝向赶温爷度劳梯景度丘趋袍于0，摊而锄坩约埚她和跑热落源狮又释静喇止巾不甩动旦，拿因鞭此汉随户着疤凝写固础的养进持行欺，造热斑源愿也肠即级热由场阔温妄度慨（满大岛于涌熔碎点目温或度废）糊会哀逐赚步滥向乖上案推罢移蹄，觉同音时谅又擦必扁须央保瓜证探无脆径田向阴热垮流应，洪所挨以参温警场借的会控异制赔与潜调场节厅难符度扩要邪大北。液代固元界横面脑逐以步泉向荒上诞推足移罪，蹈液厚固之界跌面首处架温竞度缺梯吩度捆必搭须桌是虑正偏值下，块即怨大阵于0。破但耳随封着喊界猪面台逐采步燃向挪上劈燕推牙移探，找温总度老梯捧度闪逐霞步术降悟低兔直掏至愁趋雹于0。热去交旅换吓法沙的帽长贴晶军速峰度至及趣温摄度泡梯蚕度耻为景变娱数额。甜而爸且卵锭覆子伞高膨度旋受蛮限幅制乖，请要幻玉扩垦大华容涌量堡只名能横是柏增捉加木硅肾锭猜截颗面送积游。最兆大匪优虏点秤是郊炉燃子男结名构论简赶单洽。热包源坩势埚液芬固妨界幼面散这热沿装怎置H萍E抚M法庸示游意阻图固仙相液茧相保灯温滤框热田源坩狗埚液类固雅界筒面石蚊墨啊块隔镜热览板（棕防馆止辰不碑锈漏钢昂炉隆底赵过另热跳）炉后型1示则意员图定据向溪凝祝固玻法与欺铸老锭何浇孟注编法穿相预比痛，瓣定惜向作凝胞固燥法储具款有禽以袜下箭一誓些贼优买点:在龙同群一冈个局坩棕埚阿中窝进俊行棉熔宣炼威与适凝蚂固甜成缝形业，非避污免篮了医熔浑体射的后一晌次椅污羊染;通勿过棚定记向盏凝民固辈得吴到均的异是齐柱狐状驼晶兼，积减丝式轻佛了威晶桂界脉的匆不浆利高影夏响嘉。由恼于娇定怕向阵凝收固旨过笋程丢中坑的邻杂液质阀分好凝施效员应盗，净对削硅签中选平拿衡绸分港凝么系鸣数葵远若小我于纪或职大是于1的鄙杂炭质卫有数一涝定尾的夺提递纯编作棍用住。8贼.嫌5然.庙3电含磁汤感艳应孔加半热拾连葡续板铸键造(五E狐M剧C叮P著)多纷晶坝硅跪电垫磁理感叛应柳加忆热蓝连望续垫铸觉造课技练术败于1酬9稀8锣5年温由C愿i绵s馆z喇e那k首世先促提库出机，镰而态后粪在悦日庸本岩得爹到蹲深索入驳的幅研贺究提，并并剖将祸其椒成脏功节应俱用狱到粥工菠业暮生桨产虫中;法老国很的F灰r冰a和n化c法i攻s侧D叛u记r彼a旧n月d等挡人浸在P俯h欣o榆t存o恳-复w袋a这t态t公色司虏的袍合得作条下吧，旬也兆于1页9臭8蕉9年拌将速此黄方朝法万应搜用按到牙太名阳探能孩电圣池设用当多观晶务硅垂的乘生厉产历制壳备浇中投。E林M差C衬P法虫的面最耍大脏特托点:综势合倡了称冷微坩放埚耻感惨应雨熔厉炼爆与凳连桨续线铸笑造外原臣理该，槽集服两哈者塞优称点稀与彩一畜体霞；8载.钥5手.链3电踢磁来感蜡应昆加忌热翅连遣续啄铸尿造(浩E酒M纷C惧P巨)电吉磁茧感壶应削加摆热坦连亭续漠铸亚造土过队程犹中雀，翼颗慌粒嫂硅嫂料蹈经狡加氏料解器巾以柜一遥定膏的彻速货度剧连沟续唤进掏入庸坩廊埚首熔农体局中荡，昏通查过攻熔怒体傻预榆热庭及娃线饺圈惧感毙应集加授热妥熔灶化遮，输随杏下边部母硅接锭浓一破起蜜向谢下秧抽阀拉拔凝势固浑，冰从蛙而恰实净现歪过洒程诊的种连上续光操傲作枕。由致于保硅杂在授低吴温娱下至电决阻诞不梅满浪足希感典应忙加剩热笋的省条折件睬，遣所慕以击起耍初阅坩其埚刻底夹部旷加撇以兼石家墨茄底绝托昼进愈行埋预端热妈启冰熔劝。电壳磁千感旺应编加忠热恨连沸续裕铸茎造(雕E圈M堤C迈P采)原熔理袭图1呢.线丈圈2抓.坩稠埚3幻玉.石释墨篮感集应肯器4堤.颗方粒躬硅5洋.氩嫌气6孩.水7缠.真孕空敌泵8长.绝疾热严套9以.石那墨拔底扶托8拼.浓5伟.含3电皱磁详感怕应掘加牌热俱连狂续房诚铸哗造(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