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TCAD仿真工具的使用2017/8/11、TCAD仿真工具介绍*目前世界上有四套TCAD仿真工具:kTsuprem4/MediciSilvaco(Athena/Atlas)ISE(Dios/Mdraw/Dessis)Sentaurus(Process/Structure/DeviceMedici和Atas都包含器件构建工具和器件仿真工具,在后两个软件中器件构建和器件仿真被拆分成两个独立的工具。201782、仿真方式◆工艺仿真→器件仿真na→>At10s→ldraw→Dessin(或Draw→Dessin)Process+Structure→Device(或Structure→Devic◆器件构建→器件仿真Medici201781、Suprem4简介可仿真杂质在垂真于晶圆表面的二维器件横截面中的注人和再分布。ingNeshnotstructure*可处理的工艺步骤有A离子注入*惰性环境杂质再分布外延生长硅和多晶硅氧化物和花um*不同材料的低温淀积和刻蚀等可用的杂质类型包括*硼、磷、砷等。201784/138户定义的定义材料的功函得的出信包活中不同材料层的边中质的分市20178Tsuprem4的启动*登陆ve19215831张∈2*PC机运行vncviewer输入命令source/opt/demo/synopsys.env*运行Tsuprem4iledtyewleminaTasHeb*pm4〈文件名)201782、Tsuprem4命令语句分类义器件结构的命令艺步骤命令(Isupren-4的核心4)输出命201781、COMMENT命令*用于注释。若注释有多行,下一行前要加“+"符号。*为方便起见,可用“$”符号代替。9]1:COMMENTthisisashortcommentosthisisashortcomment201782、SOURCE命令plot.2dscaleymax=5ymin=-5colorsiliconcolor=6colorpolysilicolor=7coloroxidecolor=8coloraluminumcolor=9OURCEDOPLO2017

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