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文档简介
第一章.认识半导体和测试设备(1)本章节包括以下内容,晶圆(Wafers)、晶片(Dice)和封装(Packages)自动测试设备(ATE)的总体认识模拟、数字和存储器测试等系统的介绍负载板(Loadboards)、探测机(Probers)、机械手(Handlers)和温度控制单元(Temperatureunits)吉一、辫晶圆堵、晶恼片和掘封装吗示妈伸1隐94电7年盯,第恭一只攻晶体专管的呀诞生付标志斑着半栗导体婚工业桥的开展始,明从那脏时起兼,半鸽导体疲生产画和制闻造技拾术变喘得越电来越搏重要匪。以喂前许内多单览个的恢晶体罪管现亮在可信以互朱联加闭工成晨一种液复杂毒的集喜成的甲电路富形式沫,这呢就是贝半导终体工姑业目架前正论在制样造的淡称之蔬为"雀超大袍规模泰"(果VL赴SI厘,V痛er继y软La诊rg概e浙Sc巷al蛛e夫In池te毕gr榆at骡io迫n)监的集妹成电妖路,福通常跟包含简上百佛万甚璃至上浇千万榨门晶处体管滔。幕亩株萌半贺导体颠电路芦最初恨是以绵晶圆娃形式尖制造横出来扭的。骄晶圆减是一讲个圆齿形的箭硅片霸,在链这个恢半导方体的箱基础晚之上抗,建拆立了逢许多惜独立治的单膛个的茶电路洗;一斯片晶阁圆上岭这种杂单个洪的电励路被灯称为致di辛e(锄我前贤面翻豆译成粱"晶看片"言,不者一定米准确仍,大露家还敌是称繁之为桃di丸e好扭了)革,它孕的复魄数形断式是捕di狮ce垄.每对个d裂ie父都是挠一个俘完整锤的电榨路,极和其齿他的都di穗ce鱼没有费电路冻上的泼联系番。吗伟仪部当倘制造裕过程伏完成扩,每梳个d砌ie杨都必摔须经拘过测删试。为测试畅一片萌晶圆暖称为嫩"C叮ir遍cu斧it帽p贱ro觉bi骂ng勺"(献即我死们常粥说的嗓CP脚测试驶)、判"W塔af晌er粘p倒or拾bi劣ng车"或敲者"师Di落e振so该rt勾"。虽在这抓个过它程中配,每右个d率ie兴都被友测试暮以确弹保它道能基低本满刊足器藏件的宇特征户或设惰计规县格书赔(S茎pe佩ci窑fi免ca厘ti应on撑),域通常岔包括鉴电压诊、电骄流、抹时序喉和功语能的爆验证风。如寻果某授个d执ie剃不符搭合规害格书疫,那鄙么它欢会被煌测试狐过程腔判为层失效赌(f项ai画l)毁,通护常会桌用墨昨点将谷其标层示出卵来(导当然岔现在瞒也可基以通奏过M脏ap日in延g图南来区鹅分)钩。套葡疫辰在棍所有润的d缺ie略都被移探测氏(P站ro扶be日d)歉之后骨,晶岂圆被日切割寄成独帽立的副di服ce播,这捧就是鲜常说拦的晶匆圆锯极解,料所有京被标煤示为禁失效会的d堂ie亡都报岁废(学扔掉适)。庭图2黎显示香的是误一个采从晶魄圆上赶锯解好下来增没有仗被标颈黑点篮的d史ie置,它起即将览被封国装成潜我们添通常寻看到么的芯逮片形混式。具注:溜本标泳题系失列连驴载内挨容及牛图片培均出问自《筑Th送e秒Fu雕nd扯am貌en刺ta哪ls进O黄f缎Di攀gi糖ta腰l肚Se躬mi镰co迷nd苦uc基to燃r蛇Te忌st浩in暴g》化第一泻章.伟认识歪半导文体和斤测试信设备介(2驼)祖
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单四、深数字易和模鸟拟电芹路换
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风
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医控不同就于数筋字信眉号的跨“庄0薪”贷“宏1地”筝界限廊分明糕(离没散)队,模傅拟电茅路时往连续威的缓——梅在任姑何两闲个信捉号电售平之惧间有议着无遣穷的昼数值粥。模箭拟电扬路可到以使述用电瞒压或护电流据来表惯示数猜值,段我们申常见仪的也完是最叮常用匪的模售拟电嗽路实选例就涌是运奋算放零大器观,简坝称运未放。朝
务
嗓
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妖
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真
粱而在狱“荡数字河”这时钟裙上,盗只有夏最小日增量莲以上偶的值暂才能筑被显冈示,斩而比确最小似增量橡小的耳值则狡无法缸显示锡。如垦果有绪更高锯的精编度需讨求,技则需宰要增册加数熄据位老,每码个新励增的道数据词位表茶示最愚小的断时间背增量炒。辨
榨
冬
悼鉴有的冒电路度里既葛有数归字部骑分也脑有模揪拟部男分,训如骡AD冠转换悬器(雁AD蔽C果)将灯模拟土信号帝转换罗成数受字信坚号,灾DA醋转换附器(美DA替C愧)则沿相反莲,我锅们称粱之为参“乓混合写信号绝电路裂”戚(矩Mi皇xe谣d尾Si筋gn员al柱D川ev偿ic山es日)。驱另一闻种描厨述这惩种混总合电嫁路的膨方法午则基劲于数胃字部振分和住模拟昨部分丙占到玉电路明的多炊少:院数字承部分晶占大聪部分案而模距拟部裂分所雨占比腾例较完少归孝于数苦字电作路,棒反之丛则归犬于模环拟电虽路。部
哲第一踢章.逃认识晨半导那体和时测试异设备滤(5翠)榨
贯五、饶测试钥系统磨的种骂类闷一般驰认为死测试可系统冰都是梁通用歼的,辫其实住大部乘分测这试系嘱统的批设计词都是娃面向然专门田类型皂的集辱成电森路,岁这些塌专门陵的电则路包毒括:寒存储狡器、神数字悠电路南、模呈拟电天路和唉混合皂信号皱电路刮;每傍种类贯型下迷还可挤以细才分成弄更多脊种类苗,我爽们这嘱里只筹考虑茶这四拔种类烘型。折
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竹AP斧G庄在器砍件的妇每次厦测试资时生船成测够试模行型,撤而不鱼带内吐存的偶测试蔽系统腹将预习先生裹成的蚂模型飘保存麻到向毒量存合储区畅,然植后每数次测半试时蹦从中扫取出泊数据遮。存载储器轻测试之通常图需要宰很长绸的测忍试时猪间去农运行胶所要兽求的拳测试丹模型柜,为筋了减蹦少测虎试成住本,搞测试坟仪通心常同椅时并悔行测诱试多亲颗器父件。炮
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叨模除拟器蝴件测屡试需节要精匪确地走生成拌与测秘量电偷信号没,经浑常会坊要求劲生成贝和测痰量微潜伏级乞的电决压和誉纳安艇级的寄电流认。相痒比于魄数字恩电路室,模武拟电骑路对凡很小拣的信萝号波臂动都床很敏瘦感,木DC惊测试哄参数捉的要墨求也凡和数谎字电盐路不虫一样扣,需今要更豆专业个的测皱试仪喊器设闭备,盛通常障会按颜照客贝户的丰选择壶在设累计中拣使用部特殊迷的测却试仪申器甚州至机酬架。注模拟档器件相需要抹测试冤的一菌些参回数或蛇特性生包括龄:增摊益、搁输入桨偏移挺量的吨电压呀和电扔流、举线性裤度、异通用羊模式饥、供损电、鹿动态吧响应械、频赵率响徒应、弃建立分时间锣、过秤冲、厕谐波落失真耗、信穷噪比哗、响旧应时负间、唐窜扰征、邻辞近通巾道干觉扰、搜精度免和噪狂声。贡
留5.背3拣混合贝信号朵器件斧类赞
膜
差混阅合信今号器泛件包乳括数缸字电厕路和促模拟估电路井,因裕此需肉要测浅试系岭统包弄含这蜜两部陷分的清测试太仪器并或结覆构。仍混合眠信号糊测试侵系统中发展鸦为两硬个系狂列:蠢大部跃分数漫字电等路测齐试结零构、则少量桥模拟租测试冈结构务的系复列,抢被设晓计成期用于椒测试等以数施字电雪路为柿主的绞混合主信号画器件须,它裂能有训效地饰进行喇DC胶参数滥测试视和功栗能测愉试,敏但是鹊仅支遇持少航量的膝模拟鼻测试末;大袍部分律模拟斯电路由测试洞结构醒、少包量数春字测庙试结党构的炒系列荣,相认反,拿能够糟精确摊地测很试模艳拟参葛数而写在功遮能测焦试上丘稍逊股风骚幼。顽
逢
纵5.钢4杏数字展电路完器件闪类壮
筝
窗
榨
再仅染含有浙数字捏逻辑永的电要路器弄件可幻使用庭数字题电路颗测试抄系统涛来完膨成测拴试,搁这些粒测试接系统乐之间宵在价搅格、很性能慧、尺部寸、滴可选穷项上厉有着纷明显芽的不勇同。液
甲
跨低鸡端的百测试抚机被伪用来赢测试腹低价嫁格或俗者低我性能迹的低碍端产结品,给通常沸是些信管脚仁少、窗复杂甘度低奥的器搞件;侧一般注运行覆于低制于问20敌MH头z伙的时毛钟频坑率,廉且只印能存溉储少我量的芬测试亮向量呢;用撒于小削规模现(竹SS习I袭)或炊中规轮模(仪MS房I切)集犹成电辅路的属测试不。简
残
届
阀高端团的测守试机险则是猴速度愈非常问快(笼时钟搏频率圾高)烫、测随试通哀道非赌常多闭的测牲试系矛统;微时钟队频率索通常享会达铅到携40德0M礼Hz稠,并浙能提逮供响10忽24迫个测扮试通精道;石拥有欺高精保度的市时钟鹊源和伟百万习bi臭t拒位的利向量恢存储摩器。佩它们芦被用状于验营证新傅的超子大规者模(头VL卷SI便)集灵成电阅路,完但是沸昂贵澡的成缝本阻铺碍了貌他们讯用于容生产息测试有。顽
四
黄
拉而半沟导体碎测试费工业粪普遍恭使用程的是垒中高鲜端的吊测试慈设备寿,它挎们拥浮有较缸好的朵性价庄比,园在对乓测试选成本慧非常旨敏感吉的半薯导体另测试蛇行业斯,这姻无疑巴是非续常重捐要的塔。这恒类测针试设绘备多刘运行贺在薄50现-1特00断MH希z墨,提冈供焦25料6推个测工试通谷道,奋通常航带有漆一些茎可选舱的配骡置。申
清
支
句为了牙控制额测试惠成本少,谨漂慎地副选择谜能满跪足器话件测党试需咱求的逮测试隐设备共是非络常重两要的早,选杏择功丹能相瓶对于耍我们姐器件欺的测筹试要驴求过错于强辱大的沫测试告系统嫂会使渣得我头们的洽测试蛾成本异居高淋不下俘,而尊相反陕的选雾择会苹造成策测试殿覆盖基率不念够;暑找到可设备荒功能听和成顶本之棕间的聚平衡隔是测绘试成器本控花制本银质的沙要求赖。岭
虹第一境章.俭认识咱半导讲体和禁测试谦设备
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