GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置

ICS2518010

CCSK.61.

中华人民共和国国家标准

GB/T10067417—2023

.

电热和电磁处理装置基本技术条件

第417部分碳化硅单晶生长装置

:

Basicspecificationsforelectroheatingandelectromagneticprocessing

installations—Part417Siliconcarbidecrstalrowthinstallations

:yg

2023-05-23发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T10067417—2023

.

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅴ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

产品分类

4…………………2

型号参数

4.1……………2

单晶炉形式加热方法及代号

4.2、………………………2

主要参数

4.3……………3

技术要求

5…………………3

总体要求

5.1……………3

设计和制造的补充要求

5.2……………4

性能要求

5.3……………6

成套要求

5.4……………7

试验方法

6…………………7

一般要求

6.1……………7

压升率的测量

6.2………………………7

炉温稳定度的测量

6.3…………………7

运动参数相对偏差的测量

6.4…………8

速度百分偏差的测量

6.5………………8

爬行量的测量

6.6………………………8

同轴度的测量

6.7………………………8

工业生长晶体试验

6.8…………………8

检验规则

7…………………9

一般要求

7.1……………9

出厂检验项目

7.2………………………9

型式检验项目

7.3………………………9

标志包装运输和贮存

8、、…………………9

一般要求

8.1……………9

其他要求

8.2……………10

订购与供货

9………………10

一般要求

9.1……………10

特殊要求

9.2……………10

Ⅰ

GB/T10067417—2023

.

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是电热和电磁处理装置基本技术条件的第部分已经发

GB/T10067《》417。GB/T10067

布了以下部分

:

第部分通用部分

———1:;

第部分电弧加热装置

———2:;

第部分大型交流电弧炉

———21:;

第部分感应电热装置

———3:;

第部分中频无心感应炉

———31:;

第部分电压型变频多台中频无心感应炉成套装置

———32:;

第部分工频无心感应熔铜炉

———33:;

第部分晶体管式高频感应加热装置

———34:;

第部分中频真空感应熔炼炉

———35:;

第部分感应透热装置

———36:;

第部分间接电阻炉

———4:;

第部分网带式电阻加热机组

———41:;

第部分推送式电阻加热机组

———42:;

第部分强迫对流井式电阻炉

———43:;

第部分箱式电阻炉

———44:;

第部分真空淬火炉

———45:;

第部分罩式电阻炉

———46:;

第部分真空热处理和钎焊炉

———47:;

第部分台车式电阻炉

———48:;

第部分自然对流井式电阻炉

———49:;

第部分单晶炉

———410:;

第部分电热浴炉

———411:;

第部分箱式淬火炉

———412:;

第部分实验用电阻炉

———413:;

第部分工业宝石炉

———414:;

第部分铝材退火炉

———415:;

第部分多晶硅铸锭炉

———416:;

第部分碳化硅单晶生长装置

———417:;

第部分高频介质加热设备

———5:;

第部分电渣重熔炉

———8:。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国电器工业协会提出

。

本文件由全国工业电热设备标准化技术委员会归口

(SAC/TC121)。

本文件起草单位江苏星特亮科技有限公司西安电炉研究所有限公司安徽瑞驰新能源有限公司

:、、、

Ⅲ

GB/T10067417—2023

.

河南天利热工装备股份有限公司厦门晓讯新能源科技有限公司成都粤海金半导体材料有限公司

、、、

常州市乐萌压力容器有限公司河北同光半导体股份有限公司张家港市中亚特种变压器制造有限公

、、

司西安慧金科技有限公司株洲瑞德尔智能装备有限公司中山市合硕高品电器有限公司广东飞成新

、、、、

材料有限公司西安福莱特热处理有限公司

、。

本文件主要起草人李留臣余维江李琨曹姣谢萍张永武李明科赵然潘燕萍杨昆周正星

:、、、、、、、、、、、

李小杰陈佩娴金星宇尹丹段春芳杨祯

、、、、、。

Ⅳ

GB/T10067417—2023

.

引言

电热和电磁处理装置是国民经济各工业部门的重要热工艺装备该装置主要按不同电加热方式和

。

电磁处理分类也可按不同应用不同工作频率和不同工作气氛等分类为了保证该装置的开发生产

,、。、、

使用和销售有序进行促进其技术进步和产品质量的提高更好满足热工艺的要求有必要制定该装置

,,,

的基本技术条件这也为制定其安全和试验方法标准提供了必要条件在这方面我国已建立了

,。,

电热和电磁处理装置基本技术条件系列标准由通用部分及其补充和按上述分类的各专

GB/T10067《》,

用部分组成旨在规定电热和电磁处理装置的产品分类以及在设计制造安全节能和

。GB/T10067、、、

环保性能和成套等方面需要满足的要求并且描述用于判定该要求是否得到满足的证实方法拟由以下

、,

个部分构成

39。

第部分通用部分目的在于规定各类电热和电磁处理装置的通用技术要求

———1:。。

第部分真空电热和电磁处理装置的通用要求目的在于规定真空电热和电磁处理装置

———1101:。

的通用技术要求

。

第部分电弧加热装置目的在于规定电弧加热装置的特殊技术要求

———2:。。

第部分大型交流电弧炉目的在于规定大型交流电弧炉的特殊技术要求

———21:。。

第部分真空重熔电弧炉目的在于规定真空重熔电弧炉的特殊技术要求

———22:。。

第部分感应电热装置目的在于规定感应电热装置的特殊技术要求

———3:。。

第部分中频无心感应炉目的在于规定中频无心感应炉的特殊技术要求

———31:。。

第部分电压型变频多台中频无心感应炉成套装置目的在于规定电压型变频多台中频无

———32:。

心感应炉成套装置的特殊技术要求

。

第部分工频无心感应熔铜炉目的在于规定工频无心感应熔铜炉的特殊技术要求

———33:。。

第部分晶体管式高频感应加热装置目的在于规定晶体管式高频感应加热装置的特殊技

———34:。

术要求

。

第部分中频真空感应熔炼炉目的在于规定中频真空感应熔炼炉的特殊技术要求

———35:。。

第部分感应透热装置目的在于规定感应透热装置的特殊技术要求

———36:。。

第部分超导直流感应透热装置目的在于规定超导直流感应透热装置的特殊技术要求

———37:。。

第部分间接电阻炉目的在于规定间接电阻炉的特殊技术要求

———4:。。

第部分网带式电阻加热机组目的在于规定网带式电阻加热机组的特殊技术要求

———41:。。

第部分推送式电阻加热机组目的在于规定推送式电阻加热机组的特殊技术要求

———42:。。

第部分强迫对流井式电阻炉目的在于规定强迫对流井式电阻炉的特殊技术要求

———43:。。

第部分箱式电阻炉目的在于规定箱式电阻炉的特殊技术要求

———44:。。

第部分真空淬火炉目的在于规定真空淬火炉的特殊技术要求

———45:。。

第部分罩式电阻炉目的在于规定罩式电阻炉的特殊技术要求

———46:。。

第部分真空热处理和钎焊炉目的在于规定真空热处理和钎焊炉的特殊技术要求

———47:。。

第部分台车式电阻炉目的在于规定台车式电阻炉的特殊技术要求

———48:。。

第部分自然对流井式电阻炉目的在于规定自然对流井式电阻炉的特殊技术要求

———49:。。

第部分单晶炉目的在于规定单晶炉的特殊技术要求

———410:。。

第部分电热浴炉目的在于规定电热浴炉的特殊技术要求

———411:。。

第部分箱式淬火炉目的在于规定箱式淬火炉的特殊技术要求

———412:。。

第部分实验用电阻炉目的在于规定实验用电阻炉的特殊技术要求

———413:。。

Ⅴ

GB/T10067417—2023

.

第部分工业宝石炉目的在于规定工业宝石炉的特殊技术要求

———414:。。

第部分铝材退火炉目的在于规定铝材退火炉的特殊技术要求

———415:。。

第部分多晶硅铸锭炉目的在于规定多晶硅铸锭炉的特殊技术要求

———416:。。

第部分碳化硅单晶生长装置目的在于规定碳化硅单晶生长装置的特殊技术要求

———417:。。

第部分高频介质加热设备目的在于规定电热和电化学用等离子体设备的特殊技术要求

———5:。。

第部分工业微波加热装置目的在于规定工业微波加热装置的特殊技术要求

———6:。。

第部分具有电子枪的电热装置目的在于规定具有电子枪的电热装置的特殊技术要求

———7:。。

第部分电渣重熔炉目的在于规定电渣重熔炉的特殊技术要求

———8:。。

第部分高频介质加热设备目的在于规定高频介质加热设备的特殊技术要求

———9:。。

第部分半热系统目的在于规定半热系统的特殊技术要求

———10:。。

第部分电磁处理装置目的在于规定电磁处理装置的特殊技术要求

———11:。。

第部分红外电热装置目的在于规定红外电热装置的特殊技术要求

———12:。。

本文件和各专用部分根据通用部分制定针对各类装置的特点分别对通用部分的有关规定进行完

,

善和补充

。

Ⅵ

GB/T10067417—2023

.

电热和电磁处理装置基本技术条件

第417部分碳化硅单晶生长装置

:

1范围

本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类技术要求试验方法检验规则标志包装运输和

、、、、、、

贮存以及订购与供货

。

本文件适用于在真空或保护气氛下采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置采用高频感

,。

应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用

。

本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用

,。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

所有部分