“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”

国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2023年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十一五”实施计划，安排一批项目在全国公开发布，通过竞争择优方式选择优势单位承担项目。项目申请范围根据附件1列出的项目指南说明，进行项目申请，编制《项目申报书》。项目申报与组织方式由专项实施管理办公室组织，通过教育部、工业与信息化部、中国科学院、国资委和各省（市）科委（厅、局）向所辖企业、直属高校、科研院所发布指南，组织所辖单位编制项目申报材料，由各主管部门汇总后统一报送专项实施管理办公室。专项实施管理办公室对各部门（地方）申报项目进行汇总后，由专项总体组组织专家进行申请材料初审，筛选符合专项要求的优势单位提交专项办公室，由专项办公室组织评审委员会进行正式评审，择优委托主承担单位，在专项总体组指导下组织产学研用联盟承担项目。项目申报单位基本要求在中国境内注册的中资控股企业，注册资本为申请国拨经费的10%以上。具备独立法人资格的科研院所和高校。同一单位本次主承担项目原则上不超过2项。同一个人负责项目不能超过1项，参与项目不能超过2项。配套资金要求所有产品开发与产业化项目需由地方政府或行业主管部门提供不少于中央财政经费的配套资金。报送要求每个项目报送《项目申报书》纸质材料一式20份（具体要求见附件3）及电子版（光盘）1份，以及其它材料（见附件2）。斥联系糟方式键联系免人：尤张国割铭经、高稻华东管、王料泓新联系王纠：发01绣0－酒51波53意00欧51脆，强51刺53番00辣52贺，睛64去36落93狼98欢电子乓邮件云：芳zg滨m@巾se照ve宵ns唯ta妥r.寨co职m.释cn磁通讯僚地址域：坛北京易市海狡淀区菜知春那路2某7号而（大储运村拢）量强子芯串座集蹲成电域路设令计园症40不3室晌邮认译编休：民10象00加83泪截止侄时间火20票08蛙年采10海月么6寻日蚕17右：0盯0前族送达洪专项跌实施恭管理拐办公姿室。件附件吸1股20叉09贫年到项目敞指南忠说明冒集成反电路头装备递项目娇任务保：喇65封nm暗P饲VD舰设备晶研发虽与应蔑用猎项目返编号暮：钞20阅09灿ZX岔02瞒00宰1荷项目呈类别数：屿产品汇开发怖与产貌业化突项目而目标土：枣研究绞开发咳面向轻65窜nm巩极大贡规模释集成敏电路危生产塘线偿的P堤VD店设备镰，取心得核溉心盲自主浙知识峰产权拒，满舞足6惠5纳钥米主诉流工歌艺的歇相关菊参数骡要求萝，壮性能瞎指标凯达到阳同类宴产品舍国际启先进刚水平象，料并通依过追65祖纳米环的大惰生产盼线的浇考核粗与用末户认阀证，沫具备顺产业保化能保力及妇市场才竞争骡力，董在倒65振nm喜集成套电路拦大生位产企骨业取梦得5军台以局上应夸用尺。东项目多承担吨单位网要求独：亚主承指担单浊位要册求是畜独立食法人穿的集舌成电炸路装倍备企虹业或执企业业性质必的研削究所扶，组桐织产壳学研大用联羡盟联占合承惊担项胃目。考研发醒团队下应有冬稳定羞的队姐伍并役有国肥际前医沿技武术研取发能爆力，揪需要忧具备候知识总创新到能力色，具秘备碍产业供化能恭力和梨经验拍。津执行发期限意：查20粒09抹－2括01卸2哲年越项目婚任务论：别65催nm尿互连目镀铜水设备妖研发态与应欧用息项目比编号栗：跨20咐09原ZX闪02条00章2澡项目衰类别胆：公产品蛋开发桑与产班业化情项目回目标越：也研究装开发千面向浇65甲nm损极大逆规模羞集成蝇电楚路则生产亭线幅的筑镀铜较设备茅，取合得核离心的肠自主笛知识努产权乳，满舅足灰65筋纳米井主流练工艺福的相浸关参顶数要仆求，望性能鹅指标选达到壳同类拔产品挑国际炼先进兵水平索，冤通过薪65怎纳米榆的大雷生产赖线考踪核及魂用户胀认证局，丧具备油产业钟化能黎力及何市场连竞争吐力，荒在允65述nm价集成阵电路借大生怪产企彩业取丰得5命台以绩上应诸用。旧项目钳承担汇单位煤要求杂：厚主承每担单逝位要辨求是筝独立签法人诞的集鸦成电碑路装备备企加业或著企业刚性质条的研施究所班，组恨织产制学研办用联朽盟联闲合承寨担项塘目。迫研发夕团队盲应有齐稳定根的队穷伍并著有国泻际前盘沿技司术研呼发能值力，规需要醋具备读知识礼创新赞能力减，具欠备一歉定的详产业咱化能阅力和也经验钓。爆执行耕期限宁：皱20倾09汤－2份01勤2年也项目特任务建：远65厕nm晴快速胀热退扬火粒设备榜研发啊与应塔用贵项目晒编号喘：屯20桂09灾ZX全02猴00释3鸣项目距类别歪：婚产品踢开发苏与产民业化叠项目际目标郑：腾研究辽开发沃面向献65友nm胖／讲30瓜0m乞m赴集成父电路些生产楼线的眼快速胡热退顺火设军备，图取得娘核心寿的自企主知砖识产密权，因满足易65灰纳米秩主流冰工艺胆的相势关参些数要扫求，飘性能宇指标蚊达到败同类能产品兵国际驼先进球水平请，澡通过稻65侄纳米润的大庭生产德线的际考核晕与用贝户认新证，蹲具备切产业我化能翅力及种市场胃竞争篇力，动在厘65忙nm鼓集成灭电路潮大生筝产企雪业取督得阔3乞台以户上应洞用另。段项目让承担宁单位霞要求怪：责主承碧担单且位要晃求是垃独立煎法人墙的集亦成电正路装扔备企下业或相企业筐性质修的研俱究所胆，并伤组织童产学基研联承盟联首合承起担项部目。俯执行衔期限越：誉20超09起－2剖01蒙2年议项目最任务稿：很90痒－这65狮nm番匀津胶显安影贝设备已研发友与应慰用封项目奴编号我：麻20善09雀ZX北02瓣00妈4反项目僚类别邀：料产品扇开发偏与产株业化肆项目些目标炮：苗研究厉开发慈90护－时65涛nm愁极大蹄规模挪集成忧电路肯制造目用匀昆胶显君影设虎备肾，取些得核洲心的新自主僻知识换产权戴，满汗足磨90革－粉65泛纳米牢主流厨工艺发的相拐关参滔数要软求，笋性能妥指标衣达到两同类桂产品谦国际腥先进姜水平环，驶通过夏大生摊产线图考核赢和用漂户认妈证菜，捡具备城产业寇化能辅力及虫市场晓竞争岗力，存在铺65四nm室集成泳电路沉大生罩产企错业取进得挣3奋台以丽上应娃用。叮项目芹承担炕单位座要求泪：筐主承袖担单巨位要既求是岔独立作法人额的集童成电矮路装杠备企鸡业或耀企业绘性质望的研按究所沫，并蛾组织榴产学矿研用涛联盟碧联合塞承担要项目寺。挪执行腥期限定：仍20租09今－2涉01召2年义项目翼任务辣：涂6拘5n两m清于洗及愁化学眨处理伙设备广开发烤与产赵业化侵项目白编号暑：仗20张09号ZX岔02岩00呆5萄项目最类别宏：遇产品基开发漏与产义业化比项目栏目标除：闹研究狸开发名65掘nm垫极大帅规模县集成泰电路批生产衫线清暮洗及很化学隶处理猜系列茫设备省，屯取得话自主弯创新机突破骡，满却足镜65夫纳米什主流蓝工艺耽的相涛关参仍数要盛求，侨性能冠指标纪达到逐同类能产品冒国际右先进饿水平慢，畅通过句大生幸产线粗考核烂与用散户认快证，零具备功产业两化能点力及懒市场史竞争挽力，扇在虫65北nm它集成男电路顶大生肺产企贯业取画得5腾台以霉上应增用。隙项目虎承担怖单位俘要求泪：虹主承钞担单踩位要脆求是雪独立创法人趟的集井成电哨路装哨备企亲业或窗企业糊性质爸的研饺究所娃，并谎组织吩产学久研用卸联盟格联合陕承担忘项目跃。反执行惜期限崖：咬20冤09忽－2鲁01奇2年特项目埋任务另：赚集成丽电路饮生产闭全自戚动概光学任测量告设备泼研发步与应碗用繁项目庆编号撤：量20惊09炊ZX婚02命00胡6灵项目翼类别黄：远产品嫌开发煤与产虑业化床项目伯目标少：侧开发肺90舌－6宁5n葱m集玻成电抄路生付产线缩用全荣自动砍光学威测量滥设备骗，满床足膜服厚、澡线宽押、图冒形形狼貌等狸工艺议测量鸽要求今，取涉得自山主创悔新突竭破，纽满足射90渗－枯65之纳米材主流皮工艺蛾的相篮关参讲数要川求，润性能财指标昌达到筒同类别产品勒国际句先进震水平靠，目通过璃生产个线考季核与康用户饭认证返，具钩备产身业化西能力初及市硬场竞他争力背，在挣集成隐电路野生产先线获怠得5搏台以剩上应典用。坊项目偷承担扭单位验要求启：覆主承院担单英位要伴求是眠独立速法人远的企基业决、科倍研院悉所和野高校首，并旁组织拾产学撒研用局联盟吓联合柴承担肿项目健。导执行佳期限虑：痕20枕09腾－2诱01芬2年殊项目凯任务还：算CD御-S卫EM瞒工艺退检测百技术紫与设较备研救究汽项目距编号辆：民20惠09素ZX粮02仙00利7塑项目袋类别旦：孤产品版开发略与产坡业化肌项目拘目标底：抽突破揭超精辛密快冬速扫肚描、厕高速丽图像余采集族与处世理技扛术，豆完成览检测跃线宽视达到舅90和－6静5n请m的粮CD躬-S险EM拦样机涝研制列，熟取得场自主墓创新垮突破物，肌通过洋生产欣线考犁核与残用户晶认证称，具鞭备产藏业化吩能力亚及市薪场竞兴争力惨。射项目旬承担脏单位立要求定：师主承呆担单隆位要质求是脸独立倦法人北的企核业、杜科研轮院所高和高陕校旷，并获组织召产学层研联饶盟联妥合承墨担项圣目。埋执行芽期限杏：怒20和09毛－2检01棒2年随项目与任务遭：闪射频部与暗数流模昌混合泊信号谨集成倾电路泥测试掌系统适开发门项目祸编号充：肉20络09备ZX姥02贵00访8暗项目宪类别诚：度产品腹开发甩与产抬业化馅项目啄目标孔：糕面向蔑大规秋模集删成电富路产蜓品，姻开发扯射频梦、皂数模技混合磁信号指集成返电路撇测试请系统态设备喷，满聋足大裁规模露测试奴生产滴线的遥需求门，闻取得电自主落创新商突破兔，龙性能展指标仿达到筝国际给同类鬼产品云先进倚水平我，通逆过大柱测试室线考钞核与傻用户非认证眨，讯具备坛产业闲化能丛力及害市场老竞争炒力督。府项目粗承担排单位序要求报：阁主承检担单鹅位要栏求是县独立委法人补的集夏成电呼路装犹备企柿业阔、科培研院室所和侦高校聪，并树组织柱产学样研用机联盟追联合昌承担含项目仓。忍执行北期限梁：遵20打09寨－2西01元2年责项目惨任务要：蓝先进列封装泊设备培项目垃编号百：干20金09薄ZX雷02屑00拐9状项目渣类别捆：励产品免开发厚与产掘业化仆项目怠目标零：凤面向恭高密菊度封戏装生伪产线飞需求轮，研遇究开花发高喝精度磨倒装哭芯片恰键合需机、澡先进收封装淋光刻绞机、堵涂胶壮显影逆机、师溅射叶台、铸凸点谅刻蚀出机、吵硅片可清洗旧机等昏高端据封装剪设备题，技沉术参协数和哑工艺俊性能勉满足梯封装哨规模别化生垫产线戚要求住，产着品通局过大纱生产昌线工魂艺验侨证和重产品略考核椅，性狠能指休标达问到同方类产异品国崇际先蓄进水候平，晌具备吴产业稳化能刊力和悠市场誉竞争嫂力。克项目衔承担这单位仰要求毁：绵主承虎担单悼位要扶求是适独立妖法人搭的企百业或颗企业卡性质榨的研贺究所闭，组辣织狸产学阳研用必联盟落联合词承担宁项目丰。疼执行倒期限悔：代20皇09奶－2皆01撞2年犹项目罪任务剥：倘成套反封装薯设备枣与材税料戏生产滥示范疾线工突程床项目驰编号刑：窗20叹09胀ZX奏02车01乐0伪项目听类别遣：尺产品卫开发嫩与产存业化什项目纤目标著：借面向博先进纽封装广生产捐线开对设搁备与妥材料谨的越需求耕，组由大田型封上装生鹿产企析业建织立成猴套糊设备灿与材登料生坟产参示范赖线，跪集成局高倍悔显微季镜、煤磨片架前贴条膜机氧、减告薄机污、接离触式托测厚栋仪、遥自动治揭膜烧机、虏CO泪2气摆泡发届生器颠、W游af仰er洲M末ou吧nt夜、划辨片机递、自柱动晶跨园清每洗机腹、导喜电胶滩搅拌霞机、恳装片场机、通无氧婶化烘安箱、洲等离坐子清围洗机宪、键蛛合机哥、金童丝拉铺力仪倚、自渠动塑盒封压界机拖/浆模具葱、X沟-R取ay段检测捐、责洁净砌固烤曲炉施、细自动闭磨胶嗽机介、悠激光扮打印余机匆、压自动范切筋淹机钻、笑自动巷成型碑机绕、猾高速崭自动括电镀喇线糕、鸡镀层项测厚筑仪答、倦切割纤前贴漆膜机护、锅切割仔机辣、当投影锯仪检、沿UV鸣照射怖机恨、吵装管怜机欲、互条带榨测试而编带荐机闹、选测试坐分选袋机所、油测试废主机快、法包装芝机夏等设忘备查组成估生产残示范域线番。翅组织些封装锤材料剑供应奇商死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