半导体器件电子学教学大纲

《半导体器件电子学》教学大纲课程编号：MI3221009课程名称：半导体器件电子学英文名称：ElectronicsofSemiconductorDevices学时：46学分：3课程类型：限选课程性质：专业课适用专业：微电子学先修课程：固体物理，半导体物理开课学期：6开课院系：微电子学院一、课程的教学目标与任务目标：本课程是微电子学专业的基础课。通过本课程的学习，掌握金属-半导体接触、半导体表面及MIS结构、异质结，半导体的光、热、磁和压阻等物理物理与电学特性，为后续课程的学习打好基础。任务：以半导体的晶体结构和能带理论、载流子的输运理论为基础，系统掌握金属半导体接触、异质结、半导体表面及MIS结构等的基本概念、基本物理与电学特性，熟悉半导体光、热、磁、压阻等各种物理现象，了解金属-半导体接触、MIS结构、异质结的应用及其当前的技术发展。二、本课程与其它课程的联系和分工本课程的先修课程是固体物理、半导体物理。三、课程内容及基本要求(一)金属和半导体的接触(8学时)具体内容：金属半导体接触及其能级图，金属半导体接触整流理论，少数载流子的注入和欧姆接触。翅1.慢基本施要求蓄（1朱）掌做握金圣属半红导体扁接触贷所形肌成的光能级燕图。火（2惭）掌拼握党金属艇半导眠体接设触整提流理锡论。摆（3才）熟编悉少什数载杂流子叫的注兴入和威欧姆轿接触凡。丽2.孝重点论、难驴点振重点桃：朵掌握普金属乳半导僚体接再触所羡形成叼的能亲级图识。校难点裹：章金属榜半导沈体接网触整加流特尘性。贼3.金说明丝：金叨属半给导体傻接触孔在半翠导体倘器件跪和集居成电决路的谈制作番中具现有很堤重要章的作归用，煎在超洒高频窄和大谁功率富器件想中，奴欧姆尚接触很是设拉计和另制造瞎中的勉关键瓣问题膜之一战。渠（二纯）半敏导体匹表面居与链MI淹S权结构夕（1局0学鸡时惧）皮具体厚内容效：表刻面态狭、表木面电钱场效扑应，顿MI块S结截构的双电容柱-电渐压特支性，辉硅-债二氧役化硅尖系统板的性留质，埋表面渗电导跌及迁绿移率笔，表糊面电衣场对扶p-利n结晋特性虽的影溪响。厘1.做基本厌要求征（1够）熟结悉表樱面态裕的概堪念及回引起殿表面齿态的狼原因虹。凯（2宁）掌谱握理捐想劣MI家S结畅构在捞各种愉外加灿电压耗下的萝表面辰势和销空间恼电荷晃分布敞。扛（3挠）掌擦握M硬IS捧结构倒的电信容-柏电压灶特性伏。弦（4筛）掌职握硅碑-二诸氧化稻硅系抛统的菠性质殊。虹（5家）了戒解表范面电进导及薪迁移吉率以新及表蜂面电隔场对屋p-裁n结单特性烈的影燕响。遣2.肚重点迎、难敞点而重点亮：了婶解半胡导体掌表面菊状态钻，表俱面电破场效慰应及起MI喇S的艇电容惨-电弊压特各性。广难点祥：棚半导盖体表海面势缝与狠表面敢状态插。水3.距说明送：研萝究半捆导体窑表面庆现象姐对于沃改善但器件乱性能莲、提戏高器圆件稳援定性均，以盾及指效导人剩们探毙索新周型器会件等断有着切十分肤重要厦的意村义。锐（三只）异夸质结经（块8学岩时绵）思具体滑内容歼：异保质结品及其废能带择图，驳异质岂结的魔电流暮输运义机构动，异畜质结收在器陆件中挎的应蛾用，绑半导桃体超椅晶格耕。食1.梦基本址要求化（1僻）熟夸练掌牧握异约质结样的定李义、途特征西和类少型。累（2造）掌预握荡异质记结的辩能带地结构隔和电舍流输梯运机颤构衫。兄（3醒）了谦解脊异质霉结在馋器件止中的荒应用筹。尺（4僻）了预解超纯晶格谦的基勾本概腰念栽。日2.葱重点拳、难蔽点秆重点摆：异边质结涝的能鸟带图辆，电茎流输腿运机讯构。完难点猛：异吧质结绩的能妇带结负构，呀异质抱结的粮电流女输运续机构霜3.摆说明扫：异袭质结骄器件联具有娱高速道/高牙性能恢优势凤，已是新挥型的恒、有洲发展阅前途汉的半缓导体踏器件燥。慕（四案）半诊导体绿的光俊学性幻质和疫光电伟与发睬光现锈象（笨10式学时猫）钥具体杜内容仇：半盯导体鉴的光骄学常混数，底半导高体的俘光吸积收，览半导烟体的末光电瞧导，护半导拢体的愧光生袍伏特加效应绝，半心导体芦发光币，半网导体爪激光卸。缩1.昨基本卫要求雹（1白）掌简握格半导郊体的冷光吸刊收、睬光电牢导、扒光生省伏特迹效应息、半脏导体雨发光对等照物理谋概念别。假（2症）掌祖握捕半导嚼体的于吸收撇、光危电导貌、光爷生伏余特效宾应和伴发光遥等效套应。汉（3栽）了匹解半用导体粥激光叉的基得本原督理和轰物理统过程样。谢2.础重点俩、难睡点辫重点斗：掌键握半同导体府的光态电特柄性。更难点液：半保导体哄的度光生铲伏特查效应性、半撒导体铃发光斥。词3.华说明瓜：半李导体量的官淡学特骗性是刮半导己体光否电子渴器件营的基枣础。祸（五盲）半危导体涝的热客电性扒质（晋4学驶时）糕具体烤内容挤：热露电效祸应的何一般灰描述识，半太导体苦的温抢差电个动势煤率，舌半导脊体的典珀耳节帖效贺应，热半导百体的给汤姆纱孙效锹应及望半导竖体的监热导祥率。餐1.瓶基本跪要求无（1桑）抢熟悉积赛贝沉克效以应、们珀耳俭帖效岭应和印汤姆娱孙效蚂应的顷一般拌描述舒。言（2究）省掌握裤产生泊赛贝倒克效闪应、吐珀耳拍帖效拦应和引汤姆堆孙效状应的宽机理赔。凡（3淹）掌康握半哭导体钢的热教导率披。瓶2.喘重点虽、难乓点蒸重点旷：产决生赛俘贝克烘效应哥、设珀耳匙帖效螺应和竞汤姆赞孙效旧应的什机理阀，半山导体颜的热来导率偿。喊难点追：敞产生库赛贝谱克效笑应、地珀耳唉帖效减应和筛汤姆弄孙效酱应的帐机理返。瞒3.滥说明牲：半徒导体沈的热烟电性秋质在替温差垂发电印、温令差致亦冷方叮面获贿得了治发展锣。孤（六狱）半惯导体退磁和批压阻识效应款（6绞学时求）笛具体距内容宴：半把导体奴的霍议耳效姜应、盈磁阻放效应钥、磁漠光效款应、岂量子才化霍视耳效化应、争热磁纹效应辟、光峡磁电缓效应救、压夺阻效承应和废声电炊效应求。桐1.巡基本太要求结（1筝）掌境握半鸽导体交的做霍耳赔效应蛛、磁晶阻效脂应、翠热磁救效应萝、光凳磁电浪效应用和压家阻效英应。姓（2绿）了旬解磁快光效场应、滥量子题化霍虏耳效予应和武声电洁效应秘。拆2.库重点番、难燃点情重点俗：掌腐握兔霍耳偏效应敢、磁哭阻效蓝应、踢热磁扔效应栏、光队磁电维效应撑和压饼阻效凝应。逮难点迈：半鸡导体龟的邻霍耳娘效应治、磁伟阻效腾应。刘3.阴说明悼：半羽导体典磁和厘压阻竹效应俘在半方导体膛的应运用方如面是店很重美要的膨，常答见的好有传齐感器养与探闸测器集。洲四、弓教学陵安排畅及方庸式爆总学孙时董4硬6悟学时惹，讲窃课孔4呈1口学时锅，多弄种形略式教六学唤5注猾学时膛教裹学环背节房教学御时数如课程烂内容灾讲尚摸课叶实鸟借验既习遵题芬课晚讨抚论伙课铃上印径叨机援参观障或冬看录赢像文小加筑计扭金属顾和半傅导体渴的接厕触掩7历1邀8茂半导遮体表鱼面与荣MI渔S紫结构名9词1电10咏异质未结镜7织1纷8姐半导月体的孔光学拥性质使和光仆电与秀发光傻现象组9肿1着10闲半导植体的聪热电局性质贴4大4稼半导衫体磁污和压亲阻效汽应逢5糟1仰6森五、忧考核痕方式扰笔试兵（闭润卷）愧。伏各教才学环牲节占枣总