纯水系统介绍王亮

纯水系统学习心得------2013.4.15厂务水处理王亮

系统的认识目前的缺失节能想法工艺机台作用刻蚀酸洗机台酸槽清洗有机清洗机台清洗去蜡撕金机台撕金后清洗ITO/BOE酸洗机台酸洗后请洗有机部件清洗机台部件清洗酸洗部件清洗机台酸洗后清洗photo显影机显影后清洗backend研磨研磨用水系统的系统的认识芯片中纯水用水点水质/水量指标类别水量pH电阻率TOCSiO2压力温度超纯水85m3/h≥18MΩ·cm≤50ppb≤50ppb3.8±0.5Kg/cm222±1℃软化水PCW/锅炉用水≥18m3/h7.5～8.5<17us/cm--2.5-3.0kg/cm222±2℃系统的系统的认识原水箱NO.1热板换多介质过滤器活性碳过滤中间水箱NO.1ROOR浓水箱NO.2RO一级RO水箱保安过滤器二级RO水箱EDI紫外杀菌脱气膜精密过滤器终端过滤器TOC脱除器N2封水箱抛光混床使用点软水软水使用点絮凝剂杀菌剂还原剂阻垢剂NO.2冷板换反洗反洗回水浓水回水系统的系统的认识用来保证系统的进水温度，从而提高反渗透系统产水量及保证系统水质的稳定。一号板式换热器设置在一级反渗透前，温度较低时使用，以便控制反渗透进水温度在比较合适的范围内（25℃±2℃），天气温度升高时，换热器可以停止使用。二号板式换热器设置在抛光混床前，温度较高时使用，以便控制抛光混床进水温度在比较合适的范围内（22℃±2℃），天气温度降低时，换热器可以停止使用。系统的系统的认识7

尺寸：3000*1800mm材料：碳钢衬胶填料：无烟煤、石英砂水由压力驱动，经过过滤层。多介质过滤器的主要作用是截留大颗粒、悬浮物以及经过絮凝过后的胶体物质多介质过滤器的一般截留精度是10~100um，主要祛除一些粗分散系的水中杂质。目前多介质过滤器每累计运行满24小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后

多介质过滤器系统的系统的认识8填料：

多介质过滤器系统的系统的认识石英砂0.5～32mm石英砂，1000mm15.6吨无烟煤0.8～1.2mm无烟煤，200mm2吨活性炭过滤器：活性炭0.6～1.2mm活性炭，1000mm4吨石英砂0.5～32mm石英砂，200mm3.5吨1.在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中

无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解2.吸附从前级泄漏过来的小分子有机物等污染性物质，3.对水中异味、胶体及色素、重金属离子等有较明显的吸附去除作用。4.可以进一步降低RO进水的SDI值，保证SDI<5。目前活性炭过滤器每累计运行满36小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后上周SDI检测结果：35T1.450T1.3

活性炭过滤器系统的系统的认识过滤器系统的系统的认识保安过滤器、精密过滤器、终端过滤器、清洗过滤器（以一期为例）名称：保安过滤器型号：HTY-45-1000材质：不锈钢滤芯数量：45支滤芯精度：5u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：精密过滤器型号：HTY-18-1000材质：不锈钢滤芯数量：18支滤芯精度：0.45u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：终端过滤器型号：HTY-25-1000材质：不锈钢316滤芯数量：25支滤芯精度：0.1u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：清洗过滤器型号：HTY-36-1000材质：不锈钢316滤芯数量：36支滤芯精度：5u-40″数量：1台品牌：恒通源系统设备介绍

反渗透一期一级数量：14组/70支膜排列方式：9/5式二级数量：7组/35支膜排列方式：5/2式二期一级数量：15组/75支膜排列方式：10/5式二级数量：9组/45支膜排列方式：6/3式RO品牌：海德能PROC10

400ft2

反渗透：RO（ReverseOsmosis）反渗透技术是利用压力表差为动力的膜分离过滤技术,.RO去除水中的盐，TOC，微粒和微生物RO反渗透膜孔径小至纳米级（1纳米=10*-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严格区分开来。系统设备膜组排列方式产水量回收率脱盐率一期一级149/560m3/h75%≥98%二级75/238m3/h84.4%≥90%二期一级1510/560m3/h75%≥98%二级96/355.6m3/h86.5%≥90%系统设备介绍

UV灯材质：不锈钢品牌：VITR0波长：254nm/185nm其工作原理是：在真空的石英管中加入定量的高纯汞（水银），通过对两端电极提供电压差（压降），产生离子放电，从而产生紫外线辐射。脱气膜脱气膜的工作原理是利用疏水性中空纤维膜的疏水性和透气性，即在一定的条件下气体可以透过膜而液体不能透过膜的特性而达到脱气目的的。欲脱气的水流过疏水性中空纤维膜一侧，在膜的另一侧通入快速流动的N2，膜的表面产水很小的压强，水中的溶解气体在压力的作用下，由高浓度侧(水侧)向低浓度侧(抽真空侧)扩散，由于中空纤维膜的比表面积非常大，水与膜能够充分接触，因而能达到很好的脱气效果。

处理能力膜的孔径材质产水溶O239~55.60.45umPP<10ppb品牌：HEADWATER

系统的系统的认识品牌IONPURE

IP-LXM45一期7组/二期10组设计流量5m³/h2.工作原理EDI产水量电阻率回收率一期35m3/h16.6MΩ.cm90%二期50m3/h17.0MΩ.cm90%EDI利用混和离子交换树脂吸附水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子膜而被去除;系统的系统的认识抛光混床数量：6台（一期）9台（二期）树脂：陶氏化学（DOW）

MR575

处理能力：7.2m3/h/台抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端，来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上，以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型，装填后及可使用无需再生。一般用于半导体行业。系统的系统的认识16目前洞的缺奋失缺失狭项：纯水廉终端呀供水旋水质州当出题现水妇质波今动（溪如更杀换终夕端过烦滤器杯）时己无法捉达到通用水司要求绝，供疗水管喉无回震流管整改粘措施左：在供些水管互上接趟一旁盛路至准一级RO水箱梁，这启样无坦论哪冤一期饶纯水崇系统喇出现内水质岛问题筹不会蜂影响泻设备险用水推要求摘，同昏时对缓对不基合格汉纯水障重新烟利用剖。一级RO水箱用水侵点终端费水泵17目前挂的缺户失缺失康项：保安荐过滤姓器单著组运幅行无锁备用爬，当元出现在更换半滤芯舒或维苗修时牲只有挎停机却更换洗，存羡在安伐全隐富患。整改啄措施昨：增加宰一台汉备用厨过滤难器。保安光过滤活器18目前哲的缺位失缺失役项：目前行水站垒水箱追通过调浮球弃液位专计显墨示（狼高、抬中、妥低）慎三种匙液位屿，无报高高拼，低涂低液热位保蚂护开纺关，剑当出劣现高徒液位碗浮球肿液位胆计故衣障，办无法邀控制克水箱滚溢流争，同语时低逆液位怜浮球邪出现尿故障监，无增低低闷液位逼开关努存在叠安全醋隐患掀。整改炼措施在水姿箱内与增加声高高着、低传低液除位浮时球液累位计耍。高斥中硬低19目前获的缺降失缺失磁项：纯水胡站无唇逃生赤路线肾（也朝是抄愧表路远线）奇，存筐在安气全隐瓣患整改暖措施戏：规划川逃生晶路线暖，消遍除隐第患20节能想法改善违背景拨：目前冶纯水区系统木由两传部分躲组成侵即：凡一期规的35疮m3/h和二妥期的50m3/h纯水懂系统撑，现凳在主鲜要为洲两套撕系统狠同时梳运行础，向尸生产仅部门岁提供孕电阻止率为飞了18MΩ尖*c繁m以上香的超管纯水主。设狮计之鹊初为津了保协障系袭统的殖稳定树运行死和对冒于后椒期的伏生产锻的扩跃大故酷设置陆了两铜套单摄独的遥纯水私系统刷其合月起来香的供帝水能闸力为85m3/h水量陪，但血由于振结合洪现期杯的生睡产情误况和朵为了野公司逆的成毯本考杏虑，竹可以毙进行涛系统领的运剖行优请化，震即单鉴独运宝行一山套系秀统另偿一套寸系统主处于佩备用躁状态缝。措施首：由于茅一期惑的供蹦水量微为35很m3/h而二终期的骂供水哈量为50热m3/h考虑拌到目洲前生孝产部擦的正墙常供气水量汽值30差m3/h左右糕，为锹保证读系统争供水迁的稳说定性若和安萄全性厅故选改择关鸣闭一竹期系验统让接其处王于备拉用状多态，迟让二借期单喝独供率水运狂行对霉于备保用的谎一期造设备传定期