多晶硅生产物料平衡技术附件(中文)

技术附件目录附件1．————————设计基础附件2．———————工艺描绘附件3．———————工艺要求附件4．———————工作范围及交托进度附件5．———————设计范围及主体设施附件6．———————性能保证值附件7．———————公用工程条件附件8．———————性能查核附件9．————————技术服务

附件1设计基础1・1复原尾气的总量及组份 (3000t/a)1・1・1按物料均衡计算:序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H212231.361.6446115.7X1038221841279.08%2SiHCl3158678.0921.32771171.1 X13157.4353915.20%3SiCl441814.295.6202246.0 X1(333.06740.53.18%4HCl7015.30.9429192.2 X1(325.83578.672.48%5SiH2Cl2462.770.06224.6X1030.61613.70.06%共计220201.8129.5977729.6X1031038.90623283.87100.00%1.1.2按物料均衡扩大20%计算:序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H214677.631.9737338.8X13986.422094.479.08%2SiHCl3190413.7125.5931405.3X103188.884246.815.20%3SiCl450177.156.744295.2 X1®39.67888.63.18%4HCl8416.91.131230.6 X1331.00694.42.48%5SiH2Cl2555.320.07465.5X1030.73916.440.06%共计264240.7135.51569275.4X1031246.6927940.64100.00%1・1・3复原尾气回收系统进口参数温度：W45°C压力：三3kg/cm2(A)

1・2氢化尾气的总量及组份 （3000t/a）1.2.1按物料均衡计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H283181.1184159X1035591252270.6%2SiHCl3356234.7883263X1035.37924.5%3SiCl420435727.4671202X103161.6361920.4%4HCl96311.2943263X1035.37924.5%5SiH2Cl2///共计25792934.66735887X10791.2177：25100%1・2・2按物料均衡扩大20%计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H29981.61.3424990.8X103670.8115026.170.6%2SiHCl342747.65.746315.5X10342.40949.84.5%3SiCl4245228.432.9611442.5X103193.894343.120.4%4HCl11557.21.553315.5X10342.40949.84.5%5SiH2Cl2N/共计309514.841.6027064.3X103949.5021268.8100%1・2・3氢化尾气回收系统进口参数温度：W45°C压力：三3kg/cm2（A）

1.3合成尾气的总量及组份 （3000t/a）按物料均衡计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H251669.35258X10334.68776.7748.69%2SiHCl3293723947.85216.8X10329.14652.6341.08%3SiCl42876386.5616.9X1032.2750.933.21%4HCl772103.7621.2X1032.8463.684.01%5SiH2Cl21580212.3715.6X1032.1047.103.01%共计351164719.89528.5X10371.031591.11100.00%1.3.2按物料均衡扩大20%计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H2619.283.23309.6X10341.61932.1348.69%2SiHCl335246.44737.42260.1X10334.96783.1641.08%3SiCl43451.2463.8720.3X1032.7361.123.21%4HCl926.4124.5225.4X1033.4176.424.01%5SiH2Cl21896254.8418.8X1@2.5256.523.01%共计42139.25663.88634.2X10385.231909.35100.00%1・3・3合成尾气回收系统进口参数:温度：W45°C压力：三2.5kg/cm2(A)附件2工艺描述尾气回收系统接收反响炉排出的尾气，并把它们分别成为氯硅烷混淆液、HCL和H2。从反响炉排出的热的尾气在管壳式换热器内冷却，将气态氯硅烷冷凝为氯硅烷液体。节余的气体送入压缩机。压缩气体冷却后进入HCL汲取塔。在此处HCL气体被低温液态氯硅烷加压汲取。（压缩机为2级来去式压缩机，设计压力可以知足将HCL和H2分别回收。）氯硅烷富液被送到HCL分析塔，在此HCL以液态形式与H2分别回收。从HCL加压汲取塔出来的氢气被送到活性碳吸附柱，除掉节余的杂质。干净的氢气将被回收用于复原炉中。碳吸附柱经过热重生的方式工作。附件3工艺要求3.1合成系统的尾气按3000t/a一套回收系统考虑；回收系统的氢压机按2台50%考虑（2X50%），设一台备用机（50%）。氢化系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a氢化需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按2台50%考虑（2X50%），每套回收系统设一台备用机（50%）。复原系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a复原需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按3台33%考虑（3X33%），每套回收系统设一台备用机（33%）。复原和氢化的尾气回收系统（各两套回收系统）需考虑在一套出现问题的状况下，另一套可以办理有问题套系统对应的尾气（即考虑两套回收系统用管道互联）。每套回收系统均在系统前增设一个尾气的储罐；在系统后增设H2、HCl的储罐，体积另议。3.6依据中国国内实质运转的经验，中方建议CDI尾气回收系统中的R22的蒸发冷凝器采纳满液式构造。3.7依据中国国内实质运转的经验，中方建议CDI尾气回收系统中设置3个活性炭吸附柱。3.8整个CDI尾气回收系统温度W—20°C的部分采纳牌号316的不锈钢材质；〉—20C的部分采纳一般碳钢材质。3.9中方建议在泵前面增强过滤，采纳2个过滤器并联的构造。中方建议在主要设施出口加过滤器。中方建议在重点设施处加装阀门，以便于维修。附件4进度付款要求的技术资料附件4进度付款要求的技术资料交托进度（合同奏效后）4周4周4周4周8周8周8周8周8周14周14周14周14周14周20周10周16周16周16周工作范围及交托进度4.1以下规定的日期为估计提交技术资料的时间。CDI企业将尽可能提早一周交托技术资料。CDI企业将经过电子邮件提交PDF版本的资料供买方审察。终版技术资料将提交电子版和纸质版，包含全尺寸图纸。工艺流程图（PFD图）第一版管线仪表流程图（P&ID图）压缩机规格冷冻机规格容器（设施）部署图纸和设计参数公用工程清单管道规格参数电力单线图第一版平面部署图泵数据表R22蒸发冷凝器换热器数据表换热器平面布局图终版平面部署图自动阀门数据表控制系统设计地基土建设计（收到中方反应资料后）构造设计（收到中方反应资料后）管道详尽设计（收到中方反应资料后）

需准时提交以下其余技术资料，不受进度付款拘束减压阀计算书 24周减压阀数据表 24周阀门清单 24周仪表清单 28周仪表数据表 28周绝热规格参数 8周电气原理图（闭路） 16周吸附柱程序图表 16周操作说明 28周带设定值的I/O 数据表 28周终版管线仪表流程图（P&ID图） 28周不限于以上4.2如出现文件迟交的状况，将处于每周补偿相应工程进度款 0.2%的罚款,最大限额为合同总价款的2.0%。4.3中方提早90天通知CDI企业，CDI企业保证90天内将活性炭ChlorsorbRL-13运抵中国天津。4.4ChlorsorbRL-13的供货条件两方将经过传真最后约定ChlorsorbRL-13的供货条款和条件。4.5全部压力容器、塔等设施由CDI企业供给设施参数，这些资料可以知足由中国制造商转变并制造设施。附件5设计范围及主要设施设计范围CDI企业依据合同规定，应供给的系统设计系指为了保证复原尾气回收、氢化尾气回收和合成尾气回收系统可以独立工作的完好系统设计。CDI企业应供给尾气回收系统下述主要设施的必需的和充足的工程设计资料。以下设施单是一套尾气回收系统的内容。CDI企业保证系统配置的完好性和独立性，并保证达到设计基础的要求。买方将依据CDI企业供给的规格参数采买和安装全部设施。尾气和重生气体压缩机组采买规格参数包含：压缩机电机中间冷却器后冷却器脉冲除去装置润滑油系统冷冻机组采买规格参数包含：容器：HCL汲取塔HCL分析塔吸附柱氯硅烷缓冲罐压缩机汲取储罐

压缩机排放储罐膨胀罐回流罐重生气体分别器回收氢器过滤器H2储罐HCL储罐尾气储罐换热器（依据要求）泵氯硅烷泵氯硅烷泵热液泵阀门自动球阀数据表控制阀数据表释压阀数据表自控仪表数据表吸附塔次序图表和逻辑图ChlorsorbRL-13。ChlorsorbRL-13。CDI将供给吸附塔最先运转所需的吸附剂不限于上述范围。说明全部工程设计均采纳英文,采纳ASTM（美国资料实验协会）资料等级。5.2.2.压力容器制造商一定具备中华人民共和国特别设施制造允许证。可使用CDI企业指定资料同样的当地资料。施工指导和开机指导不包含在合同总价内，但可在依据费率付费的状况下供给有关服务。性能保证值每套CDI回收系统所回收的H2、HCL和氯硅烷都应知足下边的参数H222压力：三10kg/cm(A)质量要求：回收率三98%H2三99.995%(V)HCLW0.005%(V)氯硅烷W0.001%(V)露点W—60°CHCL压力：三7kg/cm2(A)温度：三20C质量要求：回收率三98%H2W5%(V)氯硅烷W0.5%(V)6.3氯硅烷压力：三5kg/cm2(A)温度：W40C质量要求：回收率三99%HCLW1%(V)公用工程条件蒸汽：循环水：电：N27.5H2：脱盐水：压缩空气及仪表空气：平面部署空间要求：“三废”办理量及办理方法：冷冻盐水：性能考核性能查核8.1.1回收氢气、HCL和氯硅烷的纯度一定达到规定的值。CDI企业将建议工艺改良和/或设施的改换，以达到保证纯度。关于由CDI企业设计并由买方供给的设施，假如一定改换设施才能知足工艺要求，CDI公司将肩负所述设施费的25%，但最多不超出合同总金额的5%。8.1.2假如回收的氢肚量少于98%，CDI企业将肩负氢气减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。8.1.3假如回收的HCL量少于95%，CDI企业将肩负HCL减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。8.1.4假如回收的氯硅烷量少于98%，CDI企业将肩负氯硅烷减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。查核说明CDI企业仅对本合同项下由CDI企业供给设计的设施进行担保。责任的限制。无论任何原由，CDI企业肩负的最大责任不超出合同总价的10%。技术服务9.1设计联系会合同价钱包含两次设计联系会。两方将约定设