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文档简介
MPC教育资料1:什么是PC2:什么是MPC3:MPC需要关注和解决那些问题4:MPC专业词汇解释什么是PCPC就是productioncontrolPC是着眼在公司层面,根据销售订单以及生产线产能进行制定生产投入产出计划职责:产品的投入计划确保产品交货期,以及产出计划。确认制品MOVE情况以及提醒交货期会有延迟的产品执行客户需求的产品释放以及停滞等等什么是MPCMPC的客户是MPP,MPP客户是PC。也就是说详细的完成PC所下达的任务。按生产计划检查、跟踪并准确及时报告生产流程中的问题。依据WIP、制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素调整实时调度系统的运行
提高人员及设备利用率制品流通率的管理及有关数据的提供依据生产数据计算生产能力。MPC需要解决哪些问题Themissionofamanufacturingfab:TosatisfycustomerandmaximizethecapacityandwaferoutputWhatcustomerwants?OntimedeliveryGoodwaferqualityLowunitpriceMFGindicesindicatestheperformanceofaFabIndexnameShortdescCTCycleTimeTRTurnRatioMoveWafermovementWIPProductionwaferinprocessEngWIPEngineerwaferinprocessYieldFabYieldHoldHoldWIPTerminateEngineerwaferscrapScrapProductionwaferscrapReworkReworkwaferWSWaferstartWOWaferoutKEYC/T英文全名:Cycle/Time中文全名:运转周期定义:theaverageleadtimewhichonewafermustpayforrunning,waiting,holding,andtimeonbankfromwaferstarttoQC-Inspection计算方式:∑Cycle_Time_Waferi/Wafer_Output
计算频率/单位:天指标意义:1.考量FAB的硅片的运转速度2.衡量FAB的run货效率TR英文全名:TurnRatioT/R中文全名:在制品周转率定义:Averagenumberofstageswhichonewafercanpenetrateinoneday 每片硅片平均每天跑过的Stage数计算方式:StageMove/WIPWIP=(BOH+EOH)/2计算频率/单位:每日指标意义:1.由TurnRatio可知硅片处理速度是否正常2.此指标为StageMove与WIP的比值,因此由此可以得知目前的WIP量是否合理,在制品积压成本是否过高,以及生产流程是否顺畅Move英文全名:WaferMoves中文全名:硅片移动量定义:一片硅片完成一个Stage称为一个StageMove;一片硅片完成一个Step称为StepMove计算方式:由Fab中实际操作的硅片数加总得到计算频率/单位:每日或每月指标意义:1.由各个移动量可以了解目前硅片之处理速度是否正常2.由移动量预估硅片是否赶上速度3.籍此衡量各区域之生产绩效WIP英文全名:广义上Workinprocess在半导体行业:WaferInProcess中文全名:在制品定义:从硅片投入到硅片产出,Fab内各站积压了相当数量的硅片,统称为Fab内的WIP计算方式:堆积硅片求和计算频率/单位:每日或每月/片指标意义:衡量一个FAB的生产能力的标志
PWIP:ProductionWIPEngWIP:EngineeringWIPYield英文全名:Yield中文全名:良率定义:产出硅片良品数量与投入生产之硅片数量的比率计算方式:硅片产出量/(硅片产出量+硅片报废量)计算频率/单位:每月%指标意义:由良率可以显示所生产硅片之制造环境,制程,规格方面之综合表现,故其为最重要的品质指标英文全名:Hold中文全名:硅片搁置定义:在生产过程中因为控制或者工程原因暂时无法进行生产的硅片数量计算方式:所有holdWIP数量相加计算频率/单位:每日或每月片指标意义:1.衡量工厂生产稳定度 2.衡量因工程原因对生产周期的影响HoldTerminate/Scrap英文全名:Scrap中文全名:报废硅片定义:totalwaferscrapquantityinFAB计算方式:所有Scrap求和计算频率/单位:每日或每月片指标意义:1.衡量制程稳定度2.衡量一个FAB的生产良率 3.EngWIPterminate用以衡量工厂研发或者保持制程稳定而用掉的costRework英文全名:Rework中文全名:返工定义:TotalreworkcountinFablithoarea计算方式:所有rework数目累加计算频率/单位:每日或每月片指标意义:1.衡量Litho制程稳定度2.衡量litho无效movement数量WS英文全名:Waferstart中文全名:硅片下线定义:Totalwaferstartcount计算方式:所有下线数目累加计算频率/单位:每日或每月片指标意义:衡量工厂生产规模WO英文全名:Waferout中文全名:硅片出货定义:Totalwaferoutcount计算方式:所有出货数目累加计算频率/单位:每日或每月片指标意义:衡量工厂生产规模MFGindicesintroductionWhatisa“Golden”FabMPC需要关注哪些问题WaferMovesWaferStepMoveLocationMoveWaferInProcess(WIP)EndOnHand&BeginOnHandTurnRatio(T/R)-DailyEquipmentUPTimeWaferPerHour(WPH)EquipmentEfficiencyUtilizationManufacturingEfficiencyCycleTimePerMaskLayer(C/T)WaferOutLineYieldWaferAcceptanceTest(WAT)FabYieldWaferMovesDefinitionWaferstepMove=1wafermovingfromoneSteptoanother.WaferstageMove=1wafermovingfromonestagetoanother.MethodofCalculationSumofactualfaborsectionwaferstagemovestogivefabwafersmove,andsectionwafersmoverespectively.PurposeofWaferMoveIndexFrompresentamountofwafermoves,wecandetermineifthepresentproductionrateofthesectionorfabisnormal.UseasameasurementindextocompareshifttoshiftorfabtofabSampleCalculationsScenario1: Particularlotof25waferscompleted4stages onthe1stofFebruary2000.Scenario2: Particularlotof25waferscompleted70 stagesinthemonthofJanuary2000.Scenario1Moves: Onthe1stofFebruary2000,Wafer Move =25X4 =100Scenario2Moves: InthemonthofJanuary2000,Wafer Move =25x70 =1750WaferStepMoveDefinitionWaferSTEPMove-1wafermovingfromonesteptoanother.(Note:1Stepisequivalentto1equipmentmoveor1metrologystep.)MethodofCalculationSumofactualfab,sectionorequipmentwaferSTEPmovestogivefabwafersmove,sectionwafersmoveandequipmentwafermovesrespectively.PurposeofWaferStepMoveIndexFrompresentamountofwafermoves,wecandetermineifthepresentproductionrateoftheequipmentorsectionisnormal.Useasameasurementindextocompareequipmenttoequipmentorperformanceofoperatortooperator.Samp向leC途alcu价lati吊onsSce阵nar房诚io娃1:苦Pa胞rti促cul竞ar刘lot户of魔25公wa隔fer截sc挺omp棍let闷ed竭6s揭tep上s乳on久th当e1stof内Feb江rua卵ry锤200毛0.Scen造ario虾1StepMov梦es:沟O誓nt挤he且1stof容Feb抱rua苏ry恢200感0,守W喜afe慌rM饿ove远=翁25已X蛙6=1斑50愧Ste旦pM火ove互s(As但sum艺ing要th示ea旷ver埋age授nu坑mbe颤ro堵fs缘瑞tep侍sp乖er碌sta筒ges3s设tep迁s/勤st孔age虎)Sta妨ge凶Mov鼓es亚on婚1stof索Feb怪rua度ry姻200腰0=轧15疮0/秩3揭=5丧0S削tag得eM经ove充sLoca毫tion辉Mov袋eDef诉ini忆tio割nTot浪al疾num避ber糊of咸Wa炒fer抗St煮age冰Mo挪ve座–1赚wa饺fer箭mo件vin练gf忍rom成on画es探tag牵et诉oa进not低her亡.Met军hod矿of斯Ca野lcu按lat音ionSum腿of颂st训age处mo迫ves酒wi方thi向np砌roc重ess资ar进ea卸(CV特D,经PVD恳,P理HOT钻O,夫etc待).Pur乎pos孝eo箩fL什oca捞tio作nM拾ove链In孙dexFrom茶pre泄sent酒amo帆unt热ofw魄afer津mov态es,虏wec缓and厦eter紫mine脖if艳the很pres脚ent态prod麦ucti镜onr拆ate箭oft左hep轿roce嫌ssa户rea慨isn副orma究l.Use愧asa六mea潮sure迟ment姑ind丑ext短oco而mpar歉eda邪yto闯day党or域mont他hto梅mon酒thp将erfo准rman馒ceo质fa声proc宇ess难area拥.Samp速leC崭alcu笔lati榆onsSce厉nar缸io杯1:议Wa事fer锄Mo痰ve汉in屯the绞CV挣Da获rea怎fo恶rI努MD同=1千200革,考PE殃TEO僻S=华80个0,谣SAC工VD搞=5奏00,巴HD锣P=雄40戚0拍a泉nd耗BPT系EOS氧=方400肚.Scen传ario冈1L忆ocat丑onM牲oves应:CV拥DLo际cati报onM侵oves悉=凳1,20折0+瓦800摊+50狮0+尘400遇+40聋0物=刃3,00日0Mo短vesWaf理erIn捷Pro含ces费s(辱WIP赴)Defi琴niti孙onNumb舟ero久fwa絮fers典per珍ste逼p,s奇tage切,se津ctio哪n,s疾hift辉or捉fab.滋(ie烘run昨ning退,wa剂it,谢hold住,et饥c)Met躬hod户of大Ca磨lcu迎lat碑ionSum校ofa追llw壮afer藏sin配tha普tst春ep,参stag宪e,s抓ecti格on,缎shif特tor禾fab饥res犬pect幼ivel核y.Pur冠pos谣eo拌fW蔽ork擦In赤Pr搭oce特ss践Ind芹exFro乌mp侧res捎ent滩am柿oun单to裂fw芽afe魂rm偷ove积s,保we店can妈de伴ter屠min默ei祝ft貌he孙pre牵sen水tc湖apa虏cit跳yo委ft僵he例equ警ipm辱ent史,s延ect滴ion姐or循fa似bi饲ss气uff新ici越ent疑.Use市as碌an摆in耽dic订ato局rt奔op汗oss漠ibl档eb唤ott而len寒eck欢in瓣th宗ef侮ab.Move逆ment形of黄the县WIP饿inde仍xwi援llr花efle击ctt春hes恋tabi叹lity壳of忽the邻equi拆pmen博t/态proc拣ess类and厕att滴hes网ame脉time剑the肢cap财abil耀ity糕(con文stra它ints双)of顾the证equ册ipme眠nt.End江OnH数and误&Be舒gin螺OnH电and狠(1)Defi中niti旱onEOH舍-独WIP聚pe贤rs游tag晋e,渣sec洞tio吗no捏rs扰hif翼to误rf逐ab厉at统the忍EN硬Do扮fa研sh筝ift宴.BOH层-WI同Ppe恼rst帆age,普sec森tion耕or嫂shif脏tor溜fab点at牺the凶STAR棉Tof果as细hift惭.Met传hod躁of诸Ca计lcu纹lat长ionSum程of成al际lw怒afe父rs相in制tha置ts长tag认e,丈sec改tio馅n,我shi翅ft帮or吸fab笋re巷spe补cti冤vel轰ya染tt丽he咬end山or些st于art胸of筹a翼shi亏ft.End祸On裹Ha存nd总&B嫂egi厕nO歪nH涨and头(2医)Purp翅ose区ofE电OHa洁ndB消OHI盗ndexBy洋com复par粮ing隆th坑eE妈OH酱and扔th碌eB恋OH捏of缠as进hif匪t,震we辆can激ha险ve粉af私eel尊of糟th若ep摘erf堤orm班anc嫩eo谎ft桃he惨equ球ipm仙ent涌an奸dt出he块shi产ft.浴An普in锁cre置ase准in校WI碰Pf神rom娱th险eB枝OH抖to宝EOH凝ma肉yi民ndi玻cat开ep匙oor须eq顽uip谢men茧ts衰tat蕉us纺in判the锣di腾ffe储ren既tf秆abs窗or蚁se喂cti塑ons答or革sh槽ift尚s,淋or凶poo块rd愈isp忽atc肃hin岭gs枪kil聋lo熔ft诱he绳shi代ft疯if娘the禾eq霜uip畅men围ts掠tat卵us株is案nor棋mal减.Tur么nR竿ati爹o(陆T/R警)-巩Da妇ily屡(1诸)Defi笋niti咐onNumb肿ero临fst垄ages拐com奶plet窃edb判yea队chw甚afer巨per豆day荣.Met秋hod顾of钟Ca傍lcu允lat杀ionT/R伙=To羞tal勾Stag犹eMo吃ves宁Per晓Day懂/Av款erag秒eWI区P(Not偿e:A核vera湾geW恰IPp鼠erd哲ay=蔬[BO刑H+功EOH]害/2量)Tur葵nR阳ati惧o(虎T/R凑)-功Da哀ily覆(2吹)Pur吼pos者eo叉fT葱urn著Ra耐tio讲In榜dexFro走mt箩he旨T/R禁we若ca荷nd敏ete哥rmi租ne卡if断the较cu聋rre满nt粘waf魄er任pro歇duc跌tio箩nr颤ate停is祝no台rma灯lo咐rt猴oo策slo袋w.Ast解his颂indi餐cato继rta兔kes绿the药rati艇oof甘Sta妥gem融oves紫to肤Aver帝age晶WIP,蒜the些refo浸rew裹eco匠uld惯dete稻rmin搬eif搏:Curr嘱ent疾WIP师isr被easo幼nabl脾ere住lati纹vet弄obe遮nch问mark泛edq腾uant帽ity.Is导the禽co叔st构of志WIP恒(i乘nve兔nto犬ry)愈re猾lat伟ive剩to拿th筝ec政ost滋of尝eq千uip京men烘tl准ost时ti敞me唇pro望por些tio躺nal仓.Cur辨ren拥tp躬rod系uct尊ion适fl台ow道is诸smo钻oth美wi老th片no拍bot聚tle镜nec膜kIs孝the印st毯age猎ta孩rge扫tr俱eal能ist逃ic.Samp博leC理alcu魂lati桥onsScen场ario使1:芹On架the丝式1stofF狂ebru冈ary尽2000岛,To哨tal齐Stag线eMo司ve(丈CVD)对is筋10,0竹00,嫂the石BOH泉WIP柳ont权hat霞day走is5络,500完and找EOH穿WIP格on象that爹day傍is豪6,00宵0.Scen厕ario经1T谋/R:念On笔the扩1stof矮Feb附rua臭ry买200鼻0,T/R筝=葱10寻,00尾0/镇[(捉5,5陶00浸+6,筑000彻)/轧2]=1.捡74(No势te:连An歇av膊era歉ge信T/R纹of胶2.膛1t胁o2请.2遇is稼rea政son强abl且ef枪or欣af眠ab)Equi犬pmen浇tUP冤Tim腐e(1规)Defi束niti辞onTime申whe君neq虾uipm扎ent恰isf胀it-f帐or-p旨rodu疏ctio踏n.Meth禾odo址fCa劣lcul倾atio碑nUP辟Tim弊e=勇Ru唱nT暮ime珠+迁Los熔tT膀ime役+测Tes究tT刚ime丛+嫌Bac幼kup饲Ti叹mePurp孔ose约ofU控PTi晕meI罢ndexFrom锤the前UP骂Time鲁we晶can斤dete络rmin检eth攻eto锹tal侮amou售nto零fti惧mea劝vail泳able岗for急pro利duct斯ion.The齐ra救tio椒of蛮Lo虹st栏Tim瓶et俘oA挨vai曾lab滚le辅Tim漂ei枪su皱sed氧to啊de对ter渠min搞et哲he宅roo悔mf妹or称imp纳rov骡eme丛nt郊in风ter艘ms闯of费uti汁liz峡ati秃on伸for最a竞par础tic牵ula筹re患qui淘pme秘nt.Equ现ipm汗ent阻UP素Ti道me伶(2)Samp岸leC敞alcu阻lati腔onsSce皮nar会io编1:财In姿Fe栗bru门ary胜20荐00,寺Ru颗nT它ime伍=袄700秋ho疮urs槐,L状ost禽Tim狮e=住10口0h锣our崖s,彼Tes饼tT查ime非=饥100群ho桑urs习,袭a失nd洞Bac铁kup梳Ti兴me讯=5卵0h犁our剩sf雾or锹WCV烈D登e命qui语pme氏nt.Sce夏nar尽io织1W食CVD始Av恭ail塑abl附eT艘ime瞎:谎In昆Feb注rua骂ry尚200译0,Ava滨il慌Tim密e 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