FBAR的三种模型-基础电子_第1页
FBAR的三种模型-基础电子_第2页
FBAR的三种模型-基础电子_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

精品文档-下载后可编辑FBAR的三种模型-基础电子常用的FBAR模型有三种：Mason模型、BVD和MBVD模型。

Mason模型基于是FBAR的物理模型，BVD和MBVD模型是FBAR的行为模型

Mason模型

Mason模型是一维的物理模型。可以很好的表征出FBAR的每一层物理结构。

压电材料模型可以理解为在非压电材料的电学模型（下左图）上，增加声/电转换电路（下右图）。

在这个电路基础上，可以再添加顶电极层、底电极层、支撑层等等，完成整个FBAR的等效电路，如下图。（计算网络终端阻抗的方法用的是微波电路里的传输线方程，这让我倍感亲切）

Mason模型的等效电路方程：

小结：给定材料参数，几何尺寸和边界条件等，就可以计算FBAR的等效电路。

BVD（Butterworth-VanDyke）模型

BVD模型是以电学参数为基础的电路模型，C0为的静态电容,Cm为机械相关的动态电容,Lm为机械相关的动态电感,Rm为机械相关的动态电阻，电路图下

这就是个常见的LCR串并联电路，Zin可以由LCR的值快速计算得到

模型的个参数可以由材料的系数计算得到，实际应用中通常更加3D仿真或者实际测试值参数提取得到。

MBVD（ModifiedButterworth-VanDyke）模型

MBVD模型在BVD模型的技术上，增加了介质损耗R0和机械/阴线损耗Rs.电路图如下

小结：BVD和MBVD都是基于电路集总参数模型，电路更简单。

计算FBAR电路模型，通常使用ADS等电路仿真软件，这个已经有很多文章介绍了。后面的文章，我准备从FBAR的

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 机电工程

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论