大宗气二次配施工方案

施工方案与技术措施福建晋华集成电路有限公司二次配水气化包2PAGE87福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目20K二次配系统项目水气化类包二B-GAS施工方案编制人：______________________审核人：______________________审批人：______________________中国电子系统工程第四建设有限公司2018年07月24日目录27787一、工程范围 55516二、工程概况 532579三、本工程设计概况 7234161.本工程主要设计图 7141752.二次配管主要设计内容 725158四、设计方案 713610（一）深化设计和空间管理 721348（二）深化设计实例 1016117五、空间管理方案 1218614六、洁净室施工管理 14103691、健全管理制度 14109182、施工管理总体要求 15137223、防止扰乱正常工作、生产措施 16160714、洁净文明施工措施 17190885、洁净室成品保护措施 18247七、二次配管道方案 218563（一）二次配管道施工流程图 2116923（二）、工艺管道施工管理程序 2212864（三）BA/AP管道施工总体规划 238742（四）、EP管道施工总体规划 29（五）、11617BA/AP/EP管道施工品质管理（测试） 40施工方案与技术措施一、工程范围 二次配的主要工作范围具体包括：工艺生产设备动能要求的压缩空气、大宗气体、特气、化学品二次配内容以及机台辅助工程，包括从各主系统接至机台使用点工程的设计、安装、测试、开机及完工后的运行。本施工方案针对B-GAS系统进行相关组织设计，并为业主提供满足如下要求：(1) 提供满足生产工艺及其他使用点的需求。(2) 保证供应系统的安全性、连续性及可靠性。(3) 提供高安全性、高质量、高计划性、高效率、节能的工程施工与管理。除包括按照招标文件要求完成本项目需要提供的施工管理、材料、设备、深化设计、人工、调试测试、竣工验收、售后服务以外，还应该配合本项目其他平行承包商、专业承包商、第三方等的施工工作。1.2编制依据GB50235-2010《工业金属管道工程施工规范》GB50184-2011《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB50236-2011《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB50683-2011《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB/T20801-2006《压力管道规范-工业管道》二、工程概况2.1项目名称福建省晋华集成电路有限公司水气化二次配工程包22.2项目地点本项目位于福建省泉州市晋江市国际企业大道2.3建设单位福建省晋华集成电路有限公司2.4计划工期2018年7月20日～2019年2月25日2.5施工组织构架2.6二次配施工流程三、本工程设计概况本工程主要设计图空间管理图平面布置图支吊架综合图系统图/PID图节点图/轴测图二次配管主要设计内容主系统接至机台使用点管路综合设计；阀门、表计选型设计；管件、接头选型设计；阀盘布置综合设计；支吊架选型、布置计算设计四、设计方案（一）深化设计和空间管理综述本项目二次配工程需要依据设备UT结合一次配主系统完成整体系统设计，用于现场施工。我们公司将及时组织设计人员，成立本项目的设计组，施工全过程管理。首要的任务，收集完整的技术资料：UtilityMatrix、FacilityRequirement、机台Block(电子文件)、IELayout、一次侧竣工图、Move-InSchedule；根据现场的实际情况，结合一次配竣工图纸，进行系统设计并汇报至套图包亚翔公司。其次根据批准的系统图、平面图，及时绘制综合管线图。及时提交给套图包及业主，并进行二次配整体碰撞检查设计。根据采购设备确定下来的最终参数，及时调整相关的图纸（如平面图、系统图、大样图等）。深化设计空间管理小组的组成现场设计小组组织机构图深化设计小组由6名具有丰富空间管理和深化设计经验的工程师及负责项目实施的现场工程师组成，在项目总工的领导下和空间管理工程师的主导下进行工作，做到设计和实施同步进行，相关人员有效参与，更有利于现场的施工管理。此小组成员曾在多个项目中主持或参与了图纸空间管理和细化设计工作，彼此之间非常熟悉，沟通融洽，并且具有丰富的设计绘图经验。在类似项目实施过程中，有成功的深化设计和空间管理的经验和教训，熟悉TFT-LCD工厂二次配工程的设计思路和空间布局。设计小组成员将常驻施工现场，同项目部施工管理人员共同工作，以便于同业主进行及时地沟通，以便于现场踏勘，保证深化设计和空间管理的准确性，同时还可以向现场施工人员及时地进行交底。

深化设计和空间管理的流程CheckcalculationCheckcalculation校核计算Cooperationbetweentrades专业配合Constructioncooperation施工配合Progresssupport进度支持Rationalcost费用合理深化设计小组业主业主、设计师legend图例Collectinformation

资料收集Construction建造过程Approved同意Notapproved

不同意VerifiedbyDesigner设计单位审核Checkupdrawings＆documents

图纸、资料核查、整理Sitesituation现场实际情况Designreference原始设计依据Designcalculation原始设计计算Successfulexperience以往成功经验Submitpreliminarydetailedshopdrawing深化设计初稿提交Decideondetaildesignplan

确定更改、深化方案Submitdetailedshopdrawing＆execution正式提交图纸与执行竣工图纸、资料collectsiteconstructiondocuments

现场建造资料收集Handover移交Asbuiltdrawings＆documents

竣工图纸、资料Approved

同意（二）深化设计实例现场手绘轴测图设计出图：气体系统轴测图PAGE五、空间管理方案本工程洁净面积大、设备机台多，深化设计工作量大，系统配置精准，要求高。参数多，时间短，交叉多，深化设计和空间管理任务重；在深化设计过程中做到与设备厂商、其他平行包商充分的沟通协调，保证设备参数收集准确，并合理利用建筑的空间管理，重点保证将来运行平稳性、持续性及可维修和可拓展是深化设计的难点，从而实现空间管理完成后保证整体布局美观。空间管理作用将各专业管线作为一个整体考虑，合理安排各管线设备的位置，使管线布置错落有致，井然有序，保证各专业施工的顺利进行。由空间管理工程师，将各专业图纸综合、套图，找出密集的交叉点，合理安排各类管线，减少各管线所占空间，满足各楼层的高度要求。结合现场实际情况，优化管线走向，分布、标定各专业标高、位置，明确施工顺序，执行有序安装。绘制平面布置详图对终端设备产品，吊顶布置，根据其实际大小及使用要求，合理布置，满足美观实用的要求。编制施工详图，解决各个专业之间走向、高度相互冲突的问题，减少返工和材料浪费，确保工期确保各个系统互不干扰。空间管理套图规则及进度管制各专业建筑底图以业主确认的同一图纸为基准绘制。套图图面的建筑底图采用参照插入，参考基准点坐标皆为0，0，绘图比例以实际1：1绘制，尺寸单位：mm。各专业提供autoCAD2000版本的图纸给负责套图的主责工程师。各专业提供图纸图层设定、颜色、命名依据统一规定，图面中文字及尺寸标注单独建立图层，以便套图时引用或隐藏。（例：其它项目套图规则）每周定期检讨套图内容，讨论套图进度及套图相关的冲突点。参考施工进度及各专业预估进度安装进程，推估预定完成套图时间安排。项目空间管理步骤各专业确认图纸为业主提供的最新版正确图纸。各专业根据套图原则中的要求整理本专业的图纸，由主责工程师负责统一套图。根据套图的一般规则“小管让大管、有压管让无压管”等内容合理布置各专业图纸在一张平面图上，综合图中应有详细的定位尺寸和标高。各专业工程师根据主责工程师套好的综合平面图，修正本专业图纸上管线的平面位置及高度等相关要求。依据综合平面图确定管线比较密集或平面图不能完全表示出的位置，绘制综合剖面图，剖面图中必须有详细的定位尺寸，包括标高、平面定位尺寸和管线、设备间的间距等。综合考虑各管线，在需要公共支吊架的部位，绘制公共支架布置形式。在管线特别密集的部位，绘制局部剖面图，设备应按实际尺寸绘制，管道需以双线表示，保温层的厚度也要以实际尺寸绘制。各专业确认绘制好的综合平面图、剖面图及局部剖面图无误后，交业主审核。审核通过，下发各专业施工；不通过，根据给出意见进行修改，直至合格。现场空间管理实例六、洁净室施工管理1、健全管理制度严格遵守业主洁净室相关管理制度，及作业许可证制度。岗位责任制。应分工种、专业、单位实行岗位管理，要落实到岗落实到人。施工检查制。工程师在施工过程中全程监督检查，项目部由项目经理组成检查组按一定时间，每周进行综合检查一次，并按我公司文明施工规定进行评分。持证上岗制度。上岗前须先行培训，合格后持证上岗。执行我公司的会议制度。项目部每日碰头会，由安全员介绍当日安全违规情况，文明生产情况，存在的问题，如何解决等。执行公司奖惩制度。坚持有奖有惩，奖惩兑现，推动安全文明施工的开展。健全管理资料。按公司规定健全各种管理资料，如技术交底、安全交底、安全巡回检查、安全教育、安全班前会、特种作业持证上岗、工伤事故处理和安全标志等资料，要保证资料完整齐全。2、施工管理总体要求严格遵守业主的各项规定及作业许可制度等。进入施工现场前必须先进行进厂教育，并且经过安全培训合格后方可上岗。进入施工现场必须佩戴出入证和上岗证，进入建筑时必须穿戴干净鞋套。所有现场人员必须着装整齐，不留长发，不留胡须。进入洁净室的人员须了解洁净室内作业规定，按照要求穿戴洁净服，确保洁净室施工质量及维持良好的工作环境，以利达到洁净室洁净标准。在现场进行动火或危险作业，必须获得批准并采取足够的防范措施将放置醒目的警示标牌；进入施工场地应该正确佩戴个人防护用品。进入FFU吊顶必须佩带安全带及安全帽，进入下夹层必须佩带安全帽严禁随处大小便，不随地吐痰。严禁随处乱倒垃圾，工程废弃物，垃圾和废弃物必须防于指定区域并按时清理。厂区内禁止吸烟，及携带烟和火种。不得随意挪动原有物品或者设施，不随意架设或者拆除施工围挡。不得随意挪动原有物品或者设施，不随意架设或者拆除施工围挡。加工场地清洁，工完料清。工作前不饮用含有酒精成分的饮料，洁净室内禁止饮用各种水及饮料。在施工过程中，尽可能的使用低噪音的设备机械，减少对周围环境的影响。对施工中产生的垃圾及时清理出厂区，保证厂区清洁。3、防止扰乱正常工作、生产措施本项目设备HOOKUP工作洁净室已经正式使用，办公人员及其操作工人居多。施工过程中严禁避免产生噪声，在无可避免的情况下要提前向相关部门提交申请，在得到书面批准后方可在允许的时间段内施工。但是仍然需要注意施工作业不要影响附近他人的正常工作和生产，拿放材料尽量轻拿轻放不产生必要的噪音。对于易产生扬尘的施工内容应提前做好防护措施避免由于扬尘而影响现场人员、设备的正常运行及洁净室环境。现场可以采用真空吸尘器有效措施降尘，保证施工现场不产尘。施工现场要公布施工投诉电话，虚心接受他人批评意见。不得与劝说人员顶撞。本项目设备材料的进场、吊装需合理安排。在此期间应提前向相关部门提交申请，在得到相关部门的批准后方可实施。因此，需要及时规划和疏通进货车辆，合理安排时间，不要因为卸货不及造成现场周围交通不畅或发生事故。施工时需要进入洁净室的设备、材料清单应提前向有关部门进行申请。在的到允许后方可在制定物流口、制定时间、值班人的监督下进入洁净室。进入洁净室前设备、材料需用白色布擦拭干净或使用透明塑料包裹。施工现场周围设置安全警示牌，提醒他人注意施工可能对其造成影响。如果涉及到长时间占用通道情况，应提前向相关部门申请。在得到允许后方可实施。并且在施工前邮件或张贴通知，避免影响他人的正常工作计划。有针对性的对预制加工区实行处理，用塑料布封成封闭加工区，将噪音等控制到最低。有重大情况应立即向上级主管部门报告。有重大情况应立即向上级主管部门报告。4、洁净文明施工措施本项目属于洁净工程，二次配项目均在洁净范围内，如果在洁净范围内施工，如何确保不影响业主生产及保证洁净区洁净度为重中之重。进入洁净室施工必须提前申请；严格遵守业主的各项制度；施工现场处于设备安装调试阶段，为确保洁净室施工质量及维持良好的工作环境，以利达到洁净室洁净标准，凡是进入洁净室施工的人员均须遵守实行业主的洁净管理制度及要求。穿戴业主规定的洁净防尘服。高架地板和环氧地面的防护：所有材料和工具禁止直接放在地板或者地面上，必须进行二次防护；如需要大型脚手架进入，必须在脚手架下方铺垫塑料薄膜包裹好的木板或者PP板，并需要向业主/管理公司提交防护方案并获得批准后，方可实施。对于改动大的具有严重影响洁净环境的维保专项工程，应编制专项施工方案并请业主审核通过过后才进行施工；材料及工具进入洁净室前必须经过清洁，满足洁净室要求；各种钻孔作业应配备真空吸尘器；孔洞位置下方必须配置安全网；搬运通道使用PVC膜及PVC板双层保护，如有必要架设PVC通道；大型的产尘施工区域采用C型钢+PVC膜进行封闭，并配置排风风机及排风管道将灰尘排放到洁净室外；小型的施工配备洁净吸尘器。在运行工艺设备旁边施工或在工艺设备上方施工应编制专业施工方案经过业主审核同意才进行施工，并有专门人员监督实施。工艺设备的防护：设备到场后，施工人员在未得到许可前不得触摸，碰撞，近距离停顿、观看。避免影响他人或损坏设备。现场已正常运行且已送水、送电、送气，施工人员不得私自拆除、碰撞阀门、配电箱、母线、插接箱等。避免造成损伤、误动作等情况的发生。5、洁净室成品保护措施成品保护的管理措施和承诺成品保护是项目施工管理的一个非常重要的环节，二次配施工时洁净室已经完成，实施完善的成品保护，提供快速优质的服务，既有利于促进工程质量、降低工程成本，也有利于提升企业的履约形象和社会信誉。成品保护原则合理安排工序，确定保护方案。在准备工作阶段，由项目技术负责人领导，配合各专业施工员对施工进行统一协调，合理安排工序，加强工种间的配合，正确划分施工段，避免因工序不当或工种配合不当造成成品损坏，研究确定成品保护的组织管理方式以及具体的保护方案，对重要构件保护下发作业指导书。建立成品保护责任制，责任到人。派专人负责各专业所属成品保护工作的监督管理。各专业施工员会同各分区的成品保护责任人进行定期的巡回检查，将成品的监护作为项目重要工作进行。加强职工的质量和成品保护教育及成品保护人员岗前教育，树立工人的配合及保护意识，建立各种成品保护临时交接制，做到层层工序有人负责。除在施工现场设标语外，在成品或设备上贴挂成品保护醒目的警示标志，唤起来往人员的注意。对成品保护不力的队伍和个人以及因粗心、漠视或故意破坏工地成品的，视不同情况和损失，予以不同程度的处罚。成品保护管理制度建立成品保护工作的组织机构，以项目经理牵头组织并对成品保护工作负全面责任，项目经理部各专业工程师负责实施，各专业施工人员主要领导负责自身施工范围内的作业面上的成品保护。建立成品保护的责任，由项目经理组织划分成品保护责任区，并落实到岗，落实到人。确定成品保护的重点内容和成品保护的实施计划，由项目经理和项目工程师根据不同的施工内容，确定成品保护的内容和成品保护的实施计划。分阶段制定成品保护措施方案和实施细则，各专业工程师根据本专业的特点，制定各成品的保护方案和实施细则，并经项目经理审核批准实施。健全成品保护的各项管理制度，由项目经理牵头，组织制定成品保护的检查制度、交叉施工管理制度、交接制度、考核制度、奖罚责任制度。除了以上制度、措施外，还应科学合理地安排工序交接，成品保护小组及专职保护成品巡视员加强监督成品保护措施的落实。对违反保护措施、故意破坏的给予及时纠正和严肃处理。成品保护管理制度作业区域的申报作业前各专业应向项目部呈报《进入洁净室作业申报表》。完成作业移交各专业在某区域完成任务后，须向项目部书面提出作业面移交申请，批准后办理作业面移交手续。成品损坏登记成品造成损坏，成品保护责任单位应立即到项目部进行登记。各专业需提供责任人，确认后，由各专业自行协商解决或由项目部取证裁决，责任方须无条件接受。未提供责任人的，责任自负。成品保护教育由各专业有关负责人员对其员工进行教育，增强员工成品保护意识，自觉保护成品。施工过程中的成品保护措施高架地板防施工损坏。1) 在高架地板上施工时，要及时清理掉坚硬的配件材料（螺栓、垫片等），有产生残渣的施工时要派专人防护清洁，脚手架在使用区域须有PVC板防护，移动时用力要均匀。2) 凡需要在高架地板上开孔的施工作业均须相关工程师确认，地板开孔需在地板开孔间进行，开孔过程中需对高架地板拆除区域进行防护及警示，开孔完成后须清洁后恢复原位。3) 高架地板上严禁进行类似锤击等施工。工艺管道防碰撞1) 下夹层运输设备材料时须小心谨慎，避免碰撞到管道支架及管道2) 施工时要规范操作，小心谨慎，尽量避免碰撞、砸压、划伤工艺管线。各种阀门禁止无关人员操作严禁无关人员操作工艺管道的设备、阀门、管件，并在禁止操作部位挂工程保修承诺中国电子系统工程第四建设有限公司七、二次配管道方案（一）二次配管道施工流程图管道安装管道安装管道试压管道吹扫、清洗支架管道预制管道测试施工准备施工计划现场施工调试TURNON厂商设备及开孔位置标定设备就位根据设备到场时间制定施工计划技术准备人员机具准备地板开孔支架安装材料准备（二）、工艺管道施工管理程序资资材到场设计图纸审查、深化资材订购检验技术管理出库检查拆除包装预制预制间清洁预制后封装暂存、保管搬运现场安装现场安装沿线外观检查压力测试吹扫或冲洗调试测试资材入库一、施工方案与技术措施（三）BA/AP管道施工总体规划人员配置采用在TFT二次配项目有工作经验的人员（70%)突发工程实施两班交替(白班,夜班)现场工程检查以及人员管理严格化施工机具、设备投入计划Autowelders自动焊机4套Manualwelders手动焊机器12套BENDSAWM/C断料圆锯2套G.FCUTTINGM/C断料带锯2套DEWPOINT露点仪1套材料管理流程材料检验材料入库材料存放材料整理材料出/入库管理配管施工流程图出出库检查拆除包装一次洗净切断二次洗净预制间焊接检查清洁预制结束后包装暂存、保管搬运至现场现场布管管道连接阀门等部件安装预制间作业现场作业充气、封闭配管施工流程图注释入库检查-外观，式样,数量等检查主要针对从外部搬入的材料要做以下几项检查，有异常的材料及时分离，确保无异常的材料必须洗净后使用。外观检查-大小；MAKER/MODEL/材料有无破损；数量；包装状态；CAP有无密封。式样检查-MAKER/MODEL/数量检查，和样品以及清单对照。文件确认-SHEET,测试检验报告等确认。保管以及开封工作间指定的场所内按种类区分设置货架，确保材料容易区分，严禁使用前开封，并且确立保管管理体系，避免需要使用时发生材料不足的事情发生，材料不应保存在室外。入库检查结束后实施以下几项：材料（管材，FITTING,阀门）保存在室内.库房所要选灰尘少，湿度低的位置。材料，部件等使用前不许拆封。洗净后必须塑料袋包装。配管材料不许接触其他金属。在使用时开封。CLASS1,000以上的区域，在不打开CAP的情况下可以将包装袋解下。一次洗净（材料被污染时实施，否则不需要）一次洗净顺序：CCℓ4(四氯化碳）洗净→酸洗净→水洗净→高压水洗净→干燥断料/切割配管切断位置画好标识再切断。口径φ12.7以下的管用TUBE-CUTTER,口径φ12.7以上的管用电动CUTTER来切断.(SUS专用的，不和碳钢工具混用）切断后切断面要用钢刷刷净，切断时使用吸尘器维持清洁度。注：电动CUTTER要用旋转式的，严禁使用高速切割机！二次洗净仅对加工或切断的配管。预制间焊接加工或切断的配管焊接时要保持其洁净度。高纯度气体设备的焊接有两种，手动TIG焊接和自动焊接，但以自动焊接为原则。焊接人员必须持证作业。维持所有WORKSHOP的清净度。检查焊接好的部位用肉眼检查。焊接部位冷却后用SUSBRUSH刷净后用肉眼检查。注意焊接部位气泡现象.UNDERCUT或者OVERLAP(超出90°角范围)视为不合格,TUNGSTEN熔粘也视为不合格.内表面的颜色以金黄色和银色中间颜色为最佳,焊珠（BEAD)以平焊珠为最佳.包装前用氮气吹扫。焊接好的材料要用氮气吹扫,目的在于去除焊接时吸入的PARTICLE。用0.01㎛FILTER过滤5Kg/㎠以上的压力吹扫并PVCHAMMERING。包装PURGE结束后用PVCCAP或塑料布密封.保管区分不同的气体管线编号，贴上标签保管以避免顺序颠倒。搬运制作好的管线要包装后搬入现场。注意不要破坏包装和与其他金属接触。必须两人以上人员搬运，搬运时注意不要接触其他物体安装组装好的管线在现场安装。首先要做好支架，洁净室内使用的材料全部使用SUS或者热镀锌材料，支架间距应设置在方便焊接的基础上。以DRAWING基准制作的材料在现场设置安装时应注意密封状态，临近一般管道或DUCT焊接时避免火花溅其表面，避免因不注意破坏包装，加强材料管理使其不损毁，被污染的材料及时再洗净后使用。确认，支架安装，地板，墙壁工程的进展情况而进行搬入和安装计划。依照顺序进行作业，确保不会对接下来的工程有影响。由于一直被包装，焊接开始前做预吹扫，5倍正常时间(大约10分钟)的吹扫后进行焊接作业.整个管线安装结束后使吹扫24小时/天(流量为25L/MiN）并且管子末端部位设置“气包”以防止PARTICLE流入。测漏配管结束后，要为了确保没有LEAK现象而做测漏。全部管道安装结束后测试气体的流量提升至5kg/㎠且所有连接部位（法兰，焊接，锁扣）使用易发泡的中性液体进行检查。发现LEAK立即修补。"SNOOP"检查后以高纯氮气进行工作压力的1.2倍来加压24小时。利用洗净好的压力表用肉眼判断或者使用RECORDER实施最终TEST。PURGE以及HAMMERING施工时留下的细微的灰尘以PURGE和HAMMERING来去除。目的在于去除现场安装时吸入的灰尘全部管线安装结束后吹扫气体的流量提升至MIN.5kg/㎠以上来加压以3回/10分钟进行吹扫并且每10分钟用末端阀门增/减吹扫量。这时用PVC锤子锤打整个管线尤其要把重点放在焊接部位和BEND部位。以上吹扫或者锤打在现场设置完成后无法去除配管内部的PARTLCLE,所以作业时一定要注意安装前全部做好以上作业。PARTICLECOUNTING依照设备基准。应用于半导体或LCD制造厂的气体要求高纯和高洁净度,尤其对PARTICLE的要求越来越高.气体洁净度检测是对气体本身含有的PARTICLE总数和配管,阀门等产生的PARTICLE的总数的检测,这时使用PARTICLECOUNTER高纯气体管线使用的COUNTER不能超过设计基准.纯度TEST-O2,MOISTURE(H2O)等浓度测试。PARTICLECOUNTING结束后各管线的末端部位设置分析器（ANALYZER)来检测O2,MOISTURE（四）、EP管道施工总体规划器具准备、管道支架制作安装

1.1阀件支撑架（1）阀件支撑架的材质需为热浸锌或不锈钢制品，利用墙缘、梁柱及设施等之上固定阀件。（2）阀件支撑的摆设位置根据现场实际状况，测量并安装固定。（3）阀件支撑架综合考虑阀门操作、气体种类、维护及配设之美观程度等。（4）阀件之间的架设间距考虑平行架设之预留量。（５）阀件支撑考虑便于日后维护之拆装。（7）阀件支撑架是以调压阀为中心，再连结其它阀件；固定时，调整与管道呈垂直状，不得歪斜。1.2管道支撑（1）支架的材质为热浸锌或不锈钢制品，，且可利用在天花板、墙缘、梁柱及设施等之上固定管线。（2）支架的摆设位置依据现场实际状况测量后制作安装。（3）配管时需考虑管道操作处、气体种类、维护及配设之美观程度等。（4）管线之间的架设间距至少为20mm以上。（５）依管径需求选择使用电工管夹固定管道。（６）注意管道支撑前，须确认未与其它管道交错、并欲留施工空间。管道支撑固定后，须确认所有管道不得晃动、歪斜。1.3综合管线管径（D≤50mm）垂直布置。1.4支架选型通过力学计算,选取C型钢的规格。二、配管施工2.1管材切割预制（1）切割前确认配管表面无有害痕迹、破损。（2）配管切割时使用不锈钢专用切割器(StainlessSteelTubeCutter)或专用手动割刀缓慢进行切割。（3）管道横放水平固定，防止切屑进入管内。（4）配管切割后以AIRGUN用洁净的气体清除，切割面位于下流方向。（5）切割后如管上附有切屑或其它杂质，用无尘布料(LINT-FREECLOTH)沾IPA（异丙醇）擦试干净。（6）切割后用专用的切面加工器处理切面，使端面平整。（7）进行切面加工时，为防止切屑进入管内，使加工面处于下流，从下流冲放洁净的气体，加工后，使切面朝下，从上方敲打几次，去除切屑杂质。（8）切面加工完成后，确认切面处理是否良好。若检查合格，用高纯度工业用氮气清除配管外表。（9）确认配管内外无杂质或异常现象后，于两端加盖封密。中大口径管子(3／4”)（1)采用专用的切割机切割中大口径管子（2)切割后将切割端朝下轻微抖动消除切屑，然后用洁净气体从上往下吹扫（3)切割后目视检查是否有灰尘污染如存在污染再吹洗一次或用无尘纸擦拭（4)切割后用端面处理器进行端面处理坡口型式应为I型；并铣去毛刺，必要时使用锉刀，应十分小心的进行修边处理（5)端面处理及铣毛刺过程中，应确保端面朝下，处理后轻轻抖动消除切屑（6)端面处理后，用洁净气体从上流往下流吹洗处理端面为下流（7)端面处理后目视检查是否有切屑污染（8)管于的端面加盖（9)使用专用吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子对于小口径配管(l／4"一l／2")，切割原则如下：（1)切割前应确认配管表面无有害痕迹、破损（2)配管切割时须使用不锈钢专用切割器缓慢进行切割（3)原则上被切割管应横放水平固定、防止切屑进入管内。（4)配管切割后须用洁净的气体吹扫管子切割端、切割端应置于低处，气流从高处往低处吹洗。（5)切割后如管上附有切屑或其它杂质、须用无尘纸及IPA擦净。（6)切割后应用专用的切面加工器处理切面，坡口型式应为I型，并用特殊的铣毛刺机消除毛刺此时应小心不可凿得太多；(一直保持端面朝下)(7)进行切面和铣毛刺加工时、为了防止切屑进入管内、应始终置加工面于下流、从上流冲放洁净的气体。加工后、使切面朝下、从上方敲打几次、去除切屑杂质。(8)如确认配管内外无杂质或异常现象、于两端加盖待用。(9)如配管不能横放水平切割、下方管不可使用。(10)使用专用吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子。(11）管子切口质量应符合下列规定：◆切口表面应平整，无裂纹、重皮、毛刺、凹凸、缩口、熔渣、氧化物、铁屑等。◆切口断面倾斜偏差△（图4.1.5）不应大于管子外径的1%，且不得超过3mm。切管作业焊接作业2.2弯管1/2”以下管径采用弯管施工，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工。弯管需使用合适之弯管器，不可使用手弯，除美观外也可降低微粒子产生。弯管曲率至少以1/2”管道五倍弯曲率为原则。(1)原则上只有直径小于1/2”的管道才可弯曲，配管弯曲时(除了量尺寸外)不可取开两端盖子(2)配管弯曲应使用专门的弯管器（SWAGELOK）进行操作(3)对不同尺寸的管道弯管半径规定如下:1/4"(标准弯径5D)R＝约为30mm3/8"(标准弯径5D)R＝约为48mm1/2"(标准弯径5D)R＝约为64mm管子弯曲时，管子的正负角度应小于15度2.3管线连接2.3.1卡套接头安装(Let-lok)（1）施工前，检查卡套型(Let-lok)接头之各元件是否齐全；元件包含接头本体×1个、母套头（Nut）×2个、金属箍套圈（Ferrule）×2组。如下图：将配管管材裁减至所需尺寸，或预制好之管材依序套上母套头、金属箍套圈。（3）将管材连接端确实套入接头本体，并顶至内部底端；用手旋紧母套头。（4）旋紧后，以签字笔在母套头上之一面作标记；再以两支扳手分别夹住接头。（5)本体六角承头部及母套头，施力旋转11/4圈，如下图：2.3.2接头安装如图：（1）螺纹型接头一端为卡套型(Let-lok)接头；另一端为螺纹接头。（2）螺纹连接于机台前，须以TYPE-SEAL先行以渐进法缠绕于牙端3圈。（3）连接机台时，先以手旋紧接头，再以扳手施力旋紧。（4）连接管道与卡套型(SIEMTECH-lok)接头端；于母套头内置入Ferrule后插入管件，再以手旋紧母套头，旋紧后，以扳手施力旋紧11/4圈。2.3.3阀盘盘体组装：3.2焊接施工a.焊接认证（1）自动轨道焊接的技工拥有一定的焊接知识基础.（2）项目正式焊接施工前，业主和施工方一起进行自动轨道焊接技工认证（以项目采购材料规格现场-洁净小间内），焊接作业流程和焊接试样合格后方颁发项目焊接证书，才能许可在项目中操作焊接设备进行焊接。（3）所有作业者都必须穿戴好劳动防护用具，准备作业设备齐全。（4）施工现场进行焊接施工，需取得客户许可，持有作业许可证，备齐有关的消防设备。（5）焊接作业场所需有良好的通风和照明条件，以防因大量氩气存在，引起局部缺氧或窒息。b．焊接吹扫气体要求（1）焊接时使用之气体为高纯氩气，对焊接及保护用氩气其出口处应达以下指标氩气纯度不低于99.999%氧含量不大于 1.0ppm水分含量不大于1.0ppm总的碳氢化合物不大于1.0ppm（2）吹净气体分流筒使用高洁净度阀件，调压阀及0.01UM过滤器，过滤器置于最末端气体出口位置。c．焊接作业（1）焊接施工前的准备：（a）焊工须通过不锈钢焊接工艺技术测试或EDRI内部的焊接工艺授权测试（b）作为对自动焊接的管理，每天正式实施焊接工作前，焊工须对每台焊机的焊机所焊尺寸配管进行配管样本制作，交现场工程师进行评估和检查(评估检查的标准参见《焊接评定》),样本通过后才能进行焊接操作。如果遇到如下的情况必须再重新制作焊样：焊机主机关机后，再重新使用时应重做样品并检查；更换另外的焊头后，再重新使用时应重做样品并检查；更换新的钨极，再重新使用时应重做样品并检查；焊接另外尺寸的管道，再重新使用时应重做样品并检查；改变焊接参数后，再重新使用时应重做样品并检查；更换吹扫保护气体后；（c）每天焊接工作结束及当日管径变换前应制作结束样本，检验已完成部分的焊接质量，如结束样本不合格，则检验最后一个焊点的质量，依此类推，如果连续检查发现四个焊缝不合格，应当对该尺寸全天的焊缝进行全面检查。（d）用于评估的焊接工作的样本须按照样本制作条件与判定结果单制作及评估焊接样本必须对其进行永久性的标记，标记内容如下：焊接试样编号；焊接日期；焊工编号；管道材质；焊机序列号；焊头序列号。（e）通常焊接总是从管子上流往下流进行，保持通气的稳定性。（f）户外及其他环境较差地点进行焊接时，应尽量减少外界的污染，如在洁净室内作业就应当保证通风，防止缺氧。（g）自动焊机的电源应保持恒定并配有装置。（h）该部分管道在施工结束前，管内需始终充有高纯氩，以防治空气中的水份和氧份的进入。（2）保护气的吹洗方法（a）保护气吹扫是为了使UHP管道系统内表面在焊接高温中免受氧化。（b）通常吹扫管道采用不锈钢管，与被要焊的管道的连接采用PTFE材料(不可采用会释放气体的聚氮乙烯材料)（c）保护气体的纯度应为管端(将焊的管子)氧分低于1ppm，水分低于1ppm，氧分、水分应定时测量。（d）背保护气压力应在被焊管于出口端用气压计测量,并调节为30～50mmHg，焊接区域全气压计有一定距离时，调节前应考虑压力损失。（e）焊接直到焊接区域冷却至＜100℃之前都要保持有背保护气一直吹扫。（3）焊接对口（a）焊接管子对口必须为正方并紧密连接。在对口位置所允许的圆角和倒角为壁厚的十分之一；（b）连接口需在钨极的中心位置。（4）点焊固定（a）自动焊时如管子尺寸大于3/4”有必要点焊；点焊采用四点固定法；（b）点焊时焊接熔深应小于管子壁厚的90%，在点焊时用保护气体进行洁净处理；（c）点焊点数根据尺寸不同而异但应小于4点；（d）点焊应完成后应全面清除氧化膜，检查焊接面是否完全吻合，表面是否平整，间隙是否过大，最大间隙不超过0.13mm。（5）焊接（a）操作时参照各台焊机的使用手册操作；（b）在焊接过程中应始终保持焊头的清洁，并检查夹具套的潜在危险损坏、钨极尖部是否有磨损、焊头转动是否平滑；（c）焊接过程中应尽量减少对母材的热输入量；（d）夹套应准确地校正并固定；（e）在焊接过程中，所有附加的辅助器械都会及时到位；（f）目视检查焊后外表面无任何异常，用钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜；（g）完成焊接后，焊工必须在焊点处签写姓名和日期并贴上标签，提请焊接检验员对其进行检查；（h）焊接检验员确定该焊缝为合格焊缝焊缝后，焊工应当在焊接检验记录表记录所有成品焊缝的焊接参数。此记录表至少应包括：焊缝号早晨开始焊接时的焊接样品