粗细格栅操作维护规范

精品文档精心整理精品文档可编辑的精品文档粗细格栅操作维护规范修订日期修订单号修订内容摘要页次版次修订审核批准2011/03/30/系统文件新制定4A/0///批准：审核：编制：粗细格栅操作维护规范一、操作规程1、操作人员应熟悉粗/细格栅的构造及工作原理。2、确保电机电源线连接正确，供给电压正常。3、厂区粗格栅开停方法为：拨“手动”档位，按下“开/停”按钮为开，按起“开/停”按钮为关，操作中观察指示灯的显示；拨“远控”档位，由中控室控制开停。中提泵站粗格栅及厂区细格栅开停方法为：拨“手动”档位，逆时针转动“分闸”按钮后按下“合闸”按钮为开，顺时针转动“分闸”按钮为关，操作中观察指示灯的显示；拨“自动”档位，由中控室控制开停。4、开动格栅前应检查值班记录，观察进水渠道内有无大的障碍物,若有应先予以清除。5、开动前应确保驱动链条和齿耙链条无障碍物,且松紧度合适，润滑良好。6、电机减速箱内润滑油油位正确，油质符合要求,通气孔应畅通。7、点动电机,驱动整个传动机构。运转应顺畅，无异常噪音。若运转不畅,应立即检查，排除故障.正常运转后，此项可省略,但新安装或检修后首次运行时须严格遵守此项规定。7、格栅运转中,应进行现场监视并及时清除格栅无法耙除的较大障碍物及螺旋输送机难以处理的杂物.雷雨天、汛期应加强巡视，增加检查次数。8、在任何检修及保养工作开始之前应切断主开关电源，还应确保别人无法启动。二、维护规程1、初运行时，每次运转，均要监测电机及减速箱温度，若温度较稳定，可以延长至每周检测一次。2、每周：传动链条、驱动链条和链盘涂加一次钙基润滑脂。3、每月：⑴、清扫设备及周边环境卫生。⑵、疏通电机减速箱通气孔，确保通畅。⑶、检查油位，不足时添加。⑷、导轨添加一次钙基润滑脂。4、减速机初次运转300小时后作第一次更换润滑油，更换时，应去尽残油。以后每次更换，每天连续工作10小时以上者，每隔3个月更换一次；每天连续工作10小时以下者，每隔6个月更换一次。润滑油选用150*极压工业齿轮油。精品文档精心整理精品文档可编辑的精品文档单靶镀膜工艺操作规范适用范围本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。技术要求2.1铝靶的直径≥60mm2.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa；2.3镀膜操作室的室温小于35℃2.4镀室内清洁，无灰尘、异物。操作步骤3.1工作准备3.1.1打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.4～0.6Mpa。3.1.2打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。3.1.3检查氩气、氮气两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏,分别打开氩气、氮气的总阀。3.2开机3.2.1开启本机电源。3.2.2将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，手动状态下，打开“机械泵”，延时1分钟后，压差阀自动打开，按下“前级阀”按钮，当电离计显示数值低于8Pa时，开“机械泵扩散泵”，扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160℃3.2.3缓慢调节氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。3.2.5打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。3.2.6打至“放气”按钮，放完气后打到“停”，然后打开镀室门。3.3装管3.3.1打开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先戴好一次性手套，外层再戴上干净的细纱手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。3.3.2玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。3.4粗抽真空将“前级”拨到“停”拨到“粗抽”系统进入“粗抽”，复合计开始显示读数。3.5精抽真空当复合计显示值小于8Pa时，将按钮由“粗抽”拨到“停”然后到“前级”再到“高阀”。3.6溅射镀膜3.6.1当高真空达到工艺设定（复合计显示值）后，将按钮达到“光栏”按下“氩气”开关将质量流量计达到“自动”“阀控”。开始进氩气。3.6.2打开转架旋转电源开关、慢慢调至80±10V。3.6.3当电离计显示到工艺压强时，打开靶电源，调节电流旋钮至规定电流值。直到电压达到400V，按下“运行”开始镀膜。3.6.4当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工随时观察设备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写《镀膜操作记录》。3.7装配支架3.7.1装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固。3.7.2支架装填到外管的圆头部，装填时应避免划伤外管的内壁。装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染。3.8终止溅射镀膜计算机程序运行到1秒后，执行如下操作：当镀室内真空度达到9.0×10-2Pa以上后，将“高阀”关闭，达到“前级”状态，将按钮达到“放气”放完气后达到“停”3.9出管3.9.1取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。3.9.2内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。3.10连续工作时重复3.3～3.9的操作步骤。3.11产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。3.12关机当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序：3.12.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，打开“粗抽”按钮，将镀室真空度抽到8Pa以下。3.12.2然后将“粗抽”拨到“停”拨到“前级”，将按钮“机械泵扩散泵”拨到“机械泵”，冷却（60℃之后）关掉“前级”关掉“机械泵3.12.3关两气总