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文档简介

2023/4/51洁净室工程内装系统培训课程2023/4/52洁净室工程内装系统培训课程介绍本节课程主要讲解内容为以下几部份:

1.洁净室的基本介绍

2.洁净室内装系统介绍

3.洁净室测试基本介绍

4.成功案例图片欣赏5.本节课程的疑问讨论2023/4/531.洁净室的基本介绍2023/4/54洁净室的基本定义洁净室是一个为了对空间内空气中的微尘粒子做控制,所建造的特殊封闭性建筑空间。一般而言,无尘室也会对温湿度、气流运动模式、压差、照明度与震动噪音等环境因素做控制。洁净室依等级的不同,对一定空间内的微尘粒子最大容许量亦有一定规范,详见下页。2023/4/55CLASS测试微粒(µm)/ft3

(立方英尺)0.10.20.30.55.01357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1000NANANA1000710000NANANA1000070100000NANANA100000700我们常规讲的CLASS等级表

依据是美国联邦标准FS209E

2023/4/56洁净室分类洁净室依等级的不同而在气流方式设计上会有所区别.一般可分为:1.垂直层流方式(Class1~100)

2.水平层流方式(Class1~1,000)

3.乱流方式(Class1,000~100,000)2023/4/57气流方式性能比照表2023/4/582023/4/592023/4/5102023/4/5112.洁净室内装系统介绍2023/4/512内装的定义室内装饰装修简称内装:即利用各种装饰装修材料对构造物内部经过各种工艺手段包装成达到人们意愿的美观效果和使用功能的工艺!具体可分为酒店装修、办公楼装修、居家装修、工业用装修、设备装修(飞机、火车、轮船等)!洁净室内装即是对有洁净需求的建筑物内部用专用的材料对其进行结构包装来达到设计所需求的美观和洁净功能需求的整套工艺!2023/4/5131.洁净室内装系统用材料介绍2.洁净室主要施工流程3.洁净室内装各专业施工工法介绍4.洁净室内装施工要点5.洁净室内装施工注意事项目录2023/4/514洁净室内装材料介绍洁净室内装常规材料如下:

1.PE保温棉通常用于室内楼板底部或外墙室内墙面,主要功能为更好的为洁净室内温湿度不外泄,防火等级一般不低于b1级,厚度25mm.也有部分业主还需求表面需加镀锌铁皮!

2.环氧涂料通常可分为水性和油性,主要用于厂房内部楼板、梁柱、墙面。主要功能为使建筑基础面美观、永久保鲜和不产粉尘。通常建筑墙体外没有库板包裹的地方用油性环氧涂料,但做法需按装饰涂料施作要求比较高,因完成面就是直接外漏的装饰表面。有库板包裹的建筑墙体、室内楼板和梁柱面通常用水性涂料,因为可以节省成本也能到达同样功能!2023/4/5153.重型天花系统(T-GRID)

用于厂房内吊顶的材料组成结构装置,主要功能是装饰美观、能配合安装FFU灯具晒水头烟感摄像头等等、能单独或局部升高或降低洁净室内所需使用高度空间、天花上可上人维修天花以上各种设备等。2023/4/5164.洁净室金属墙板(库板)

通常用于洁净室内部的墙体隔间,不同的场所在材质设计上均不同:1.一般按材质可分为:内衬岩棉、内衬纸蜂巢、内衬铝蜂巢,表面包裹材质均为0.5烤漆钢板。2.按防火时效一般分为:防火1小时、防火2小时、防火4小时。3.按厚度一般分为:50mm、75mm、100mm.4.按宽度一般分为:900mm、1200mm.5.按性能一般又可分为:抗静电型、非抗静电型、耐酸碱型、耐酸碱抗静电型。洁净室金属墙板的主要功能是区划洁净室需要的不同形状和大小的独立空间、方便安装洁净室气密门窗、可做防火区划隔间、有抗静电耐酸碱不产尘及隔音性能、安装完成美观整洁起重要装饰作用2023/4/517库板的结构:2023/4/5185.高架地板通常应用于洁净等级较高房间(1-1000级)的地面装饰工程,材质一般为铝合金,板材形式有盲板、冲孔板(17%冲孔率)、格栅板,承载要求可根据业主需求定做一般分为500、800、1000、1200、1500、2000KG集中荷载型。主要功能为地面装饰、导静电、架空的空间设置制程管路及供地面回风用、承载设备、可做设备防震等。2023/4/5196.环氧地坪:一般应用于厂房车间、仓库的地面装饰。按工法可分为:滚涂型和自流平型,按性能可分为:防静电型、耐酸碱型和耐酸碱防静电型,颜色和厚度一般按业主需求即可!主要功能是地面装饰美观、不产尘、耐磨、防静电耐酸碱等。2023/4/5207.防静电PVC地板:

通常应用于地面有防静电要求的生产车间的地面装饰。规格一般是600*600*2.0mm或600*600*3.0mm,根据业主生产需求还需区分表面电阻值的大小一般以500v测试1*104—1*109欧姆。主要功能是地面装饰美观、防静电等!2023/4/5212.洁净室主要施工流程

洁净室施工工序宜以内装工序为主导,机电、消防专业等紧密配合为辅助,方可保证品质和进度!2023/4/522

2023/4/5232.内装系统各专业施工工法2023/4/524墙面水性EPOXY喷涂:双飞粉加108建筑胶水搅拌成腻子灰直接用刮刀批于建筑墙面24小时后待表面干透以300目砂纸打磨不平整处环氧树脂专用底漆喷涂环氧树脂水性底漆喷涂环氧树脂水性面漆喷涂完成2023/4/525

梁柱面水性EPOXY喷涂:基层表面处理环氧树脂专用底漆喷涂环氧树脂水性底漆喷涂环氧树脂水性面漆喷涂完成防静电地面EPOXY地坪:1*104-109基层打磨表面清理环氧树脂地面封闭底漆环氧树脂加石英沙中涂3遍防静电铜铂铺贴防静电环氧面层滚涂防静电测试完成2023/4/526一般地面EPOXY地坪基层打磨表面清理环氧树脂地面封闭底漆环氧树脂加石英沙中涂3遍环氧面层滚涂完成高架地板安装:环氧地面完成经韦仪放样脚架底座涂专用强力胶脚架摆放横梁连接高架地板摆放红外线水平仪调整水平墙边高架地板收边高架地板水平度细调表面清洁表面防静电测试完成2023/4/527防静电PVC地板安装:基层处理3mmt水泥自流平待72小时后测试地面含水率不超过25%表面打磨清洁及放样刮涂导电专用胶铺导静电铜箔每3米铺设一条按基准点开始铺设防静电地板地板接缝处开3mm槽PVC专用焊条以热烘枪焊接以专用铲刀削平焊条清洁打蜡防静电测试完成7.洁净室库板安装:放样天地轨道以火药射钉固定1200mm库板安装以铝质连接材连接铺设2400H保护板待工程送正压时开始撕库板表面PE保护模库板连接缝隙以中型硅胶填缝处理防静电测试完成2023/4/528铝合金天花安装:

放样M10内迫式膨胀螺栓安装M10全丝吊筋安装铝合金龙骨组装龙骨组装块以水平调整件和T型螺栓与吊筋连接红外线水平仪调整水平待送正压后撕调龙骨保护套龙骨周边贴气密条烤漆天花盲板安装红外线水平仪细部调整水平安装完成2023/4/529屋顶楼板保温板安装:屋顶楼板基层表面清洁基层满涂强力胶水30mmPE保温板一面满涂强力胶待满涂胶水面不沾手保温板涂胶水面与基层涂胶面用力使之粘结牢固板与板侧边及板侧边与梁周边及板缝用万能胶黏贴完成2023/4/5303.内装系统施工要点2023/4/5311.认真规划基准点要校正四周土建墙面把误差降到最低确定最终十字基准线、单个建筑物内只允许一个基准点,目的是确定天花、库板、地板对缝对线及安装位置、以及规划管路桥架的安装位置。2023/4/5322.仔细了解洁净等级布置掌握洁净区域中和非洁净区域中可以优化的项目----不影响功能达到节约成本目的2023/4/5333.按洁净等级规划隔间类型目的优化不必要的全高墙和不必要的抗静电面---可节省成本2023/4/5344.注意施工细节天花吊筋膨胀螺栓安装方式、打眼的深浅、规格型号一定要规范!关系到结构安全!基准线放样要严格按图尺寸定位,隔间和天花吊筋位置放样随意取四边要成正方形,直角处必须成90度。允许误差精确在0.2mm,放样仪器必须为合格经纬仪。库板、天花、地板收边需按整片切缺口方式收边,表面硅胶处理需严密、光滑、整齐、美观。库板、天花、地板安装完成后必须水平垂直,施工过程中应经常抽查,发现不合格要及时整改,否则第一片安装错误不整改以后安装全部错误。库板和地板随时安装随时铺设保护材料,破坏很难修复,即使修复也不美观。库板、地板安装第一片要从基准线或基准线的倍数开始安装以利对缝对线.板材安装会有累计正公差所以每安装5或10米要做一次误差校正,每次校正误差控制在1mm之内!杜绝后端对缝对线对不到不美观!2023/4/535三、洁净室测试介绍2023/4/536洁净室测试的分类空态测试

洁净室内无任何设备和人员的条件下做测试,一般工程验收以空态测试结果作为洁净室验收依据!静态测试

洁净室内生产设备已经安装定位但未运行的条件下做测试动态测试

洁净室内生产设备正常运行以及人员在车间正常工作的条件下做测试2023/4/537洁净室常规測試項目1.C/R風速測試2.C/R洩漏測試3.C/R潔淨度測試4.C/R溫度/相對濕度測試5.C/R壓力測試6.C/R噪音測試7.C/R照度測試2023/4/5381.C/R風速測試1.目的:

測量C/RHEPA下方平均風速是否合乎標準要求。2.測量點:每個600*1200mmHEPA測6點取其均值。3.測量步驟:1).預先調整馬達之轉速,使符合ULPA之出風速度。

2).C/R內之FFU全部運轉,天花盲板應全部蓋上,各區域隔間皆需完成。

3).將風速Sensor固定於移動支撐架上方,高度調整至距HEPA下方25MM处。

4).移動Sensor至待測HEPA下方測量點位置,待穩定後取5sec風速平均值。

5).列印記錄值及計算平均值。

4.測量標準:1.

單點均值0.35m/S±20%。

2.每只HEPA平均风速0.35m/S±20%。

3.以业主发包需求为准2023/4/5392.C/R洩漏測試1.目的:检测每只过滤器的过滤性能.2.测试点:每只filter下方约2.5cm位置以5cm/sec之速度移动.3.測量步驟:1.C/R內之送風系統全數運轉,且建立正壓,內部清潔完

成後,循環運轉24小時以上。

2.將PARTICLECOUNTER完成基本參數設定。3.開始量測过滤器下方之PARTICLE數量。

掃描泄漏時,若該點連續出現particle則判定為洩漏.掃描中若出現第一顆particle,應停留該點判斷是否連续出現,若非連續則為HEPA表面或環境之particle,如大於5顆則該片重測.有洩漏之HEPA在漏處貼上標籤及資料欄內記錄洩漏、編號、位置.破損面積<3﹪可修補;大於此值則更換.4.測試標準:每只过滤器不得有泄漏.2023/4/5403.C/R潔淨度測試1.目的:測量C/R內之清淨度度是否達到標準要求。2.測量點:1.量測高度為距地板1.0m;或特定之工作高度。

2.各區域量測點數:每房间面积平方根取测量点测量3.測量步驟:1.C/R內之FFU全數運轉,且建立正壓,內部清

潔完成後,循環運轉24小時以上,且人員物料

進入C/R需管制、清潔。

2.將PARTICLECOUNTER暖機並完成基本

參數設定

3.將仪器测试管固定於三腳架上。

4.統計平均值,判斷是否合乎無塵室之要求4.測試標準:

发包规范要求2023/4/5414.C/R壓差測試1.目的:

測量無塵室對鄰室;無塵室對大氣之間壓差是否

符合準。2.測量點:

每ROOM至少取1點測量點。3.測量步驟:1.必須完成風速與氣密測試合乎設計要求;確認

自動控制之MAU及製程排氣系統開始正常運作才可進行。

2.進行量測時間內,門必須關閉及管制。

3.C/R內為高壓端,外氣或次等級之鄰室為低壓

4.進行量測前,儀器需先做現場歸零校正後再進行测量。

5.實際測量,量取數次,取平均值並記錄之。

6.不合規格者,通知施工組配合改善後重測。4.測試標準:

1.不同无尘室等级之压差不小于+5pa.

2.一般区域与无尘室区域之压差不小于+12.5pa.2023/4/5425.C/R溫度/相對濕度測試

1.目的:測量C/R內之溫度、相對濕度是否達到標求。

2.測

點:測量點為1點/40m2或2點/小房间。3.測量步

驟:

1.無塵室空調系統在自動控制狀態下,連續運轉24小時以上,無塵室空調之試車调整需已完成。

2.測量時,人員應避免直接碰觸Sensor,以

免造成量測誤差。

3.測量時,需等到Sensor達穩定後,才可值。4.測試標準:

依合約規範設計要求.2023/4/5436.C/R噪音測試1.目的:測量C/R內之噪音產生值.

2.測量點:1.按房间面

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