CELL厂PICAPMO作业指导书

版权属于深圳市华星光电技术全部版权属于深圳市华星光电技术全部.制止任何未经授权的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件编号申请状态■版□改版总页数文件阶层：□一阶机密等级：■一般□二阶■三阶□四阶□隐秘■工厂：CELL□机密□其他□部门：.FEOL□绝密CELL厂PICAPMO版本：V1.0部门审批部门审批经办审查会会签核核准[FM-QA-00001-Ver.02] i\*romanii版权属于深圳市华星光电技术全部\*romanii版权属于深圳市华星光电技术全部.制止任何未经授权的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般目 录TableofContents\l“_TOC_250007“变更履历HistoryofDocument iii\l“_TOC_250006“目的Purpose 1\l“_TOC_250005“范围Scope 1\l“_TOC_250004“名词定义TermsDefinition 1\l“_TOC_250003“权责Authority&Responsibility 1\l“_TOC_250002“材料MaterialUsed 2设备及夹治具Equipment/ToolUsde 8\l“_TOC_250001“留意事项Notice 10\l“_TOC_250000“作业程序OperationProcedure 10作业表单Form 10参考文件ReferenceDocument 10附件Attachment 10版权属于深圳市华星光电技术全部版权属于深圳市华星光电技术全部.制止任何未经授权的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.变更履历〔HistoryofDocument〕深圳市华星光电技术ShenzhenChina深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般V1.0 2023//3/25

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制订/修改者Nomuraiii1版权属于深圳市华星光电技术全部1版权属于深圳市华星光电技术全部.制止任何未经授权的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般目的Purpose：使直接生产的人员，在正常操作本机台时有所依循，并且能使机台正常运作与确保人员安全。Scope：标准制造及工程人员从事配向膜固化机(PIMaincure)作业流程及相关留意项。名词定义TermsDefinition：PI：PolyimidePIMaincure：PIIRPI膜。HotPlate：加热板。Cooling：冷却。Pin：支撑玻璃基板顶针。Robot:传送玻璃装置。IonizerBar：除静电装置。Touchpanel：触摸屏。Authority&Responsibility：TARecipe设定框胶硬化机，机台定期点检及特别信息记录反映。PM：负责机台定期保养、初级机台故障修理及生产特别排解等工作。Engineer：Recipe设定、机台定期保养、特别处理、作业指导书撰写。现场主管及IPQC：作业指导书执行状况之Audit。CCC级人员需了解的操作指导。BCBB级人员需了解的操作指导。ABAA级人员需了解的操作指导。材料MaterialUsed：NA设备及夹治具Equipment/ToolUsed:设备厂家、型号厂家：Hanwha型号：FA-2023-FPMO-F012构成Oven：4unit/line*20层COOLER：1unit/line*18层深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般搬送Robot：1unit/line玻璃基板层距：160mm6.3处理力量Tacttime：25sec/line加热方法：IRHeater最高使用温度：250℃一般使用溫度：230℃±3℃1900Sec300Sec留意事项Notice：机台安全事项机台运行中请勿将头和四肢伸入机台内部，以免发生危急进入机台前，先确认机台为PowerOFFSENSORalarm或特别停顿装置运转中，装置的门等可开关部确定不行翻开降温后才能开启Chamber以及高温时不行用化学品进展擦拭发生Alarm时不行任意推断，应由工程师确认发生缘由与排解装置运转中，应格外留意可动部位的动作，避开意外大事之发生SOP作业标准开机前肯定要先确认机台内部有无人员，有无杂物7.2未通过设备考核人员请勿操作机台以免发生危急停电处理步骤7.27.2.27.2.37.2.1 7.2.27.2.3N2、PV、CDA阀门关闭7.3 复电处理步骤7.3确定电源已供给稳定N2、PV、CDA阀门翻开。将电源主开关翻开。将机台之电源翻开。进展机台原点复归。作业程序OperationProcedure:作业前检查：步骤步骤描述1机台日点检工程通过2确认机台显示的画面是否正常，机台进展复位动作4Robot5EMO6确认机台内部没有杂物及人员8.27确认机台内部没有玻璃基板机台操作流程：步骤(1)(2)(3)作业预备

流程图机台点检/确认机况Recipesetup开头生产

使用工具/附注说明1Utility是否正常选择AutoRecipeChangeMode依照RecipeTable，确认Recipe是否正确开头投片生产生产时，依照PIlineIPQC动力阀门及电力投入确认深圳市华星光电技术Shenzhen深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般8.3.1.28.3.1.3EMOReset按钮

确认启动掌握电源[Poweron]表单点检N2、PV、CDA、PCW流量值(具体点检工程请参照[CAPMO设备点检表])为OvenPower按钮， “Star和CycleSto“按钮，深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般自动运转开头作业主菜单操作启动触摸屏上[UpInlineMode]和[DNInlineMode]按钮选择T/P上[自动]按钮,选择自动模式启动T/P上[EQInitial]按钮,设备进展全原点启用T/P下方绿色[Start]按钮,设备进入自动运转状态8.58.5自动运转停顿作业8.5.1主菜单操作8.5.1.1按下T/P[CycleStop8.5.1.2 按触摸屏[手动]按钮，设备自动模式停顿开线制程条件确认确认各项制程条件是否与产品要求[CELL厂PICAPMO点检表]机台工程防呆ByPass设定操作者权限55版权属于深圳市华星光电技术全部.制止任何未经授权的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市华星光电技术深圳市华星光电技术ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名称CELLPICAPMO制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般ByPass功能且有基板在籍时发Warning,及警示画面显示Slot数被关闭设定操作者权限Slotheater被关闭或过温设定操作者权限SlotStartSlot装有高温Sensor,当炉内温度超过设定温度时,机台Warning并逐步Alarm8.7.48.7.4加热时间及温度值被误置8.7.4.18.7.4.28.7.4.3设定操作者权限机台有设计输入温度的基板进入机台前,会比对Parameter中的温度&加热时间,如内容不符,机台Alarm制程管控制程温度管控8.8.1.1开线点检制程温度设定值8.8.2制程烘烤时间管控8.8.2.1开线点检制程参数设定中烘烤时间设定值8.8.3PI8.8.3.1确认烘烤后PI幻化率，频率：1年/次，索取委外测试报告8.9特别处理(操作过程特别之回报与简洁的处理)特别工程机械操作危急处理程序马上按下EMO，并通知当班工程师1.2.3.品质与安全留意事项操作机台时请先确认人员位置及安全须有另外一人以上才可进展修及行走时需特别留意破片处理通知当班工程师，表单点检机台特别断电通知当班工程师，表单点检当站工程师或相关工程师经判断假设认定为人员疏失时应于相关窗体字段勾选MO要求当事者填写MO停电发生时当电源还未复电前，需先将机台的电源全部关闭以防续电时的强大瞬间电流机台报警机台报警通知当班工程师处理特别而导致机台受损作业表单Form:〔撰写导引：文件当中所产生的作业表单或以参考相关部门的作