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文档简介
检测设备行业面临的机遇分析检测设备行业面临的机遇(一)检测设备行业下游需求稳定增加,设备投资规模进一步增长随着制造技术和成本的变化,新型显示器件和半导体产业需求中心和产能中心逐步向中国大陆转移,中国已经成为全球最大的新型显示器件市场和半导体市场。持续的产能转移带动了国内新型显示器件和半导体整体产业规模和技术水平的提高,促进了产业专业人才的培养及配套行业的发展,为专用设备制造业提供了巨大的市场空间,检测设备投资规模进一步增长。(二)技术创新和产品创新双重驱动,带动检测设备更新升级主流技术不断迭代演进,新兴电子产品需求持续拉动。通过LTPO(低温多晶氧化物)、TDDI(触控与显示驱动器集成)、CFOT(偏光片取代)等技术,新型显示器件有效提升刷新率、降低屏幕功耗,拓展应用范围;通过3D堆叠等技术,半导体存储器件向着高速、低功耗、大容量的方向持续发展。在技术创新和产品创新的双重驱动下,新型显示器件检测设备和半导体测试设备不断更新升级。(三)检测设备行业产业链安全需求持续增强,国产设备加速替代由于全球供应链的紧张和国际贸易摩擦,新型显示器件和半导体供应链安全日益受到重视,国家政策大力支持设备国产化提升,产业链上下游的协同发展更加紧密,为国内设备厂商提供很好的缩小差距和齐头并进的时间条件和机遇,遵循先易后难的逻辑,国产检测/测试设备有望在新型显示器件/半导体设备中率先崛起,凭借区位、技术支持以及供应稳定性等优势,加速实现全面。检测和量测设备竞争格局全球半导体检测和量测设备市场呈现国外设备巨头垄断格局。根据数据,全球市场中,2020年科磊半导体市占率超过50%,应用材料、日立、雷泰光电、创新科技等前五大公司合计市场份额占比超过了82.4%,市场集中度较高。中国市场中,科磊半导体达到58.4%,呈一家独大格局,前五大公司合计市场份额占比达到78.1%。本土企业市场份额较低,其中中科飞测产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌测量设备系列和薄膜膜厚量测设备系列等产品,已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。上海睿励致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产,产品主要为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备,以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海精测半导体前道检测设备领域,以椭圆偏振技术为核心开发了适用于半导体工业应用的膜厚测量以及光学关键尺寸量测系统的产品,目前中科飞测、精测电子、上海睿励2021年在国内检测量测设备市场份额仅1.9%、0.7%、0.2%。KLAInstruments和TencorInstruments相继成立于1976年和1977年,并于1997年合并成立科磊半导体,总部位于美国硅谷。该公司聚焦于检测设备的研发、生产和销售,其产品线涵盖了质量控制全系列设备。根据科磊半导体2022年年报披露显示,其检测和量测设备实现营业收入79.25亿美元,占比企业整体营收86%左右。康特科技成立于1987牛,总部位寸以色列米格达勒埃姆克。该公司是半导体行业高端检测和量测设备的制造商,其产品应用于前道、先进封装等领域,为众多行业内领先的全球IDM、OSAT和代工厂提供服务。根据康特科技2021年年报披露显示,其全年实现营业收入2.70亿美元,其中检测和量测设备营收2.59亿美元,占比96.2%。阿斯麦(荷兰)量测业务优势领域在套刻误差测量、电子束检测,应用材料(美国)优势领域也在电子束检测,新星测量仪器(以色列)优势领域在膜厚检测设备,日立(日本)则主要是CD-SEM(关键尺寸量测-电子束)处于行业领先地位,雷泰光电(日本)则聚焦EUV掩模版检测,创新科技(美国)优势在于关键尺寸测量和缺陷检测。中国检测和量测设备现状就国内检测和量测设备现状而言,目前国内整体半导体检测和量测设备市场规模占比全球市场25%左右且保持持续提升趋势,数据显示,2021年我国检测和量测设备规模为29亿美元,同比2020年增长61.1%,增速远高于全球规模,占比全球份额持续提升,但目前国内市场仍主要被国际企业占据主要市场,技术和企业之间适配性待提升。检测和量测技术背景在检测环节,光学检测技术可进一步分为无图形晶圆激光扫描检测技术、图形晶圆成像检测技术和光刻掩膜板成像检测技术。在量测环节,光学检测技术基于光的波动性和相干性实现测量远小于波长的光学尺度,集成电路制造和先进封装环节中的量测主要包括三维形貌量测、薄膜膜厚量测、套刻精度量测、关键尺寸量测等。发展趋势随着集成电路器件物理尺度的缩小同时逐渐向三维结构发展,需要检测的缺陷尺度和测量的物理尺度也在不断缩小的同时三维空间的检测业在持续渗透。为满足检测和量测技术向高速度、高灵敏度、高准确度、高重复性、高性价比的发展趋势和要求,行业内进行了许多技术改进,例如增强照明的光强、光谱范围延展至DUV波段、提高光学系统的数值孔径、增加照明和采集的光学模式、扩大光学算法和光学仿真在检测和量测领域的应用等,未来随着集成电路制造技术的不断提升,相应的检测和量测技术水平也将持续提高。智能检测及自动化设备行业概况智能测试及自动化设备行业主要应用于消费电子、平板显示工业、汽车电子、医疗电子及相关电子零部件产品的外观、性能、功能等多方面检测。该行业具备较强的定制化特征,融合光、机、电、算、软等多学科发展,技术含量较高。电子产品功能多样化和设计复杂化导致产品检测种类繁多、精度要求高,检测范围囊括PCB、PCBA、芯片电路、功能性模组等诸多领域。在PCBA检测领域,ICT测试及FCT测试是广泛应用的、现代电子企业必备的生产测试工序。ICT测试的原理是通过探针接触测试点后通电,来检测成品线路板所有零件的焊接情况,可以有效检测漏装、错装、参数值偏差等问题。FCT测试系通过模拟的成品线路板的运行环境,使其工作于各种设计状态,从而获取到各个状态的参数来验证测试目标板的功能好坏。在功能性模组检测领域,通常有显示测试、无线射频测试、音频测试、传感器测试等。显示屏测试主要用于检测LCD及OLED屏幕的亮度、颜色、对比度、均匀度等。无线射频测试主要检测无线电信号带宽、功率及频率等指标。近年来,机器视觉技术快速发展,基于机器视觉开发的自动光学检测设备(AutomatedOpticalInspection,AOI)得到较大范围应用,如在PCB检测方面,机器通过摄像头自动扫描PCB,采集图像,测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较,经过图像处理,检查出PCB上缺陷,并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来,供维修人员修整。又如在显示屏检测领域,AOI可以自动检测显示屏的外观缺陷、颜色、坏点等情况,并通过算法判定是否通过检测。机器视觉技术具备检测速度快、准确率较高、可靠性高等优点,完全可以辅助甚至代替人工目检,实现自动检测。分类状况从技术原理上看,检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等。目前,在所有半导体检测和量测设备中,应用光学检测技术的设备占多数。光学检测技术基于光学原理,通过对光信号进行计算分析以获得检测结果。在生产过程中,晶圆表面杂质颗粒、图案缺陷等问题的检测和晶圆薄膜厚度、关键尺寸、套刻精度、表面形貌的测量均需用到光学检测技术。半导体检测和量测设备概述检测指在晶圆表面上或电路结构中,检测其是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷;量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。智能检测及自动化设备的市场规模智能检测及自动化行业发展与下游市场如消费电子、平板显示、汽车电子及医疗电子等呈深度绑定关系,行业发展的核心驱动力主要源于传统消费电子产品的升级换代、平板显示行业新产能及新技术路线的投入以及在医疗电子领域的进一步渗透。总体来看,市场前景广阔。消费电子是智能检测及自动化的第一大应用领域,应用场景包括智能手机、可穿戴产品、平板电脑、可穿戴设备、VR终端及智能家居等。消费电子产品具有加工工艺精细、技术要求高、更新速度快、需要持续创新等特点,使得其生产线亦需要根据产品升级换代而更新。2020年,消费电子市场已经形成近万亿美元的市场规模。根据西部证券研究机构的预测,2021-2025年消费电子市场规模的复合年均增长率为2.64%,市场规模将达到1.16万亿美元。应用于消费电子领域的智能检测及自动化设备市场需求将稳步增长。全球平板显示检测行业发展与全球平板显示产业具有较强的联动性,通常会受下游平板显示产业新增产线以及产线升级投资所驱动。在平板显示产业投资方面,中国大陆在2011年以后开始成为全球平板显示行业投资的主要地区,主要包括京东方、天马、华星光电等中国平板显示厂商,以及三星、友达、富士康等韩国和中国台湾地区厂商在中国大陆的模组生产线投资。平板显示行业新产线的扩展为面板显示检测产业提供了基础需求保障。在新能源汽车和自动驾驶大趋势下,汽车电动化、网联化、智能化方向发展,芯片、模组等电子器件得到越来越广泛的应用,汽车的属性逐渐从传统的机械硬件转向机电一体、软硬结合的产品,汽车电子成为智能检测及自动化应用的又一重点领域,汽
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