磷化铟半导体材料产业化项目一期工程环评报告

镇巴县渔渡镇生活垃圾焚烧处理工程西安建筑科技大学概述0.1项目由来当前，电子工业已经成为支撑国民经济可持续发展和保障国家战略安全的核心工业体系。以新能源、集成电路、半导体、LED等为代表的电子工业的发展改变了人类的生产、生活和思维方式，极大地促进了人类社会文明的进步，同时也极大推动了全球经济的可持续增长。磷化铟应用市场发展迅猛,主要集中在太赫兹(THz)激光器、太阳能电池、光电探测器和光纤网络系统等领域，包括入户光纤和数据中心传输，以及目前正在大力发展的5G移动网络等。如今的通信市场，硅基半导体材料基本可以满足通讯要求，但随着人们对通信功能和要求的不断提高，5G移动网络将迎来高速的发展时期。磷化铟行业良好的发展前景，为磷化铟晶体材料带来巨大的市场需求。磷化铟作为第二代半导体材料，具有电子迁移率高、耐腐蚀性能好、禁带宽度大等优点，可以应用于更高频、更短波长的接收器和放大器，目前从第二代和第三代半导体材料上来看，只有磷化铟能够做到无损传输，适用更高频率的器件，这是碳化硅、氮化镓所不能替代的。基于电子材料行业发展稳步增长，对半导体材料的需求不断增加，陕西铟杰半导体有限公司拟投资6000万元租赁铜川新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼标准厂房5000m2，建设年产10吨磷化铟多晶生产线。项目已取得铜川新区发展和改革局对陕西铟杰半导体有限公司“磷化铟半导体材料产业化项目一期工程”备案书，项目备案代码为：2020-610261-39-03-044339。0.2环评工作过程2020年9月5日，陕西铟杰半导体有限公司委托我校承担该项目的环境影响评价工作。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》（国务院第682号令）及国家环境保护部制定的《建设项目环境影响评价分类管理名录（2018版）》中的要求，本项目属于“十五、化学原料及化学制品制造业”中的“38半导体材料”，应编制建设项目环境影响报告书。接到委托后，我校即派技术人员深入现场进行实地踏勘，对厂址周围的自然环境、社会环境状况进行了详细的调研考察和资料收集，依据当地环境特征和项目工艺特点，对该项目的环境影响因素做了初步的识别和筛选，确定了评价工作的基本原则、内容、评价重点及方法。评价结合项目实际情况和相关技术资料，进行了环境影响预测分析和污染防治措施分析论证等工作，汇总以上工作成果，根据相关环境影响评价技术导则规定，编制完成了《磷化铟半导体材料产业化项目一期工程环境影响报告书》。0.3建设项目特点本项目位于铜川市新区新材料产业园，租赁铜川新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼标准厂房5000m2，建设年产10吨磷化铟多晶生产线。本项目生产工艺流程简单，污染物排放量较小，主要污染物为少量含磷废气、噪声及生产废水。0.4分析判定相关情况（1）产业政策符合性分析依据国家发展和改革委员会令第21号《产业结构调整指导目录（2019年本）》分析，本项目属于鼓励类中“二十八、信息产业22、半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”。同时根据《陕西省限制投资类产业指导目录（2007年本）》之列，本项目不属于限制投资类项目，且铜川新区发展和改革局已对本项目进行备案确认，因此，项目的建设符合国家产业政策和陕西省相关政策。（2）相关规划符合性分析本项目与相关规划相符性分析见表1。表1本项目与相关规划相符性分析表名称规划内容本项目情况相符性《陕西省主体功能区规划》国家层面重点开发区。主要分布于关中地区（包括商洛市商州区、丹凤县）和榆林北部地区，包括36个县（市、区）以及汾渭平原农产品主产区中的部分地区，总面积33836km2，占全省国土面积的6.5%。关中地区是该区域国家重点开发区域关中—天水经济区的主体部分，包括西安、铜川、宝鸡、咸阳、渭南、商洛、杨凌六市一区范围内的部分地区。拟建项目位于关中地区铜川市坡头镇，位于国家层面重点开发区域。符合《陕西省“十三五”环境保护规划》总量控制全省二氧化硫、氮氧化物排放总量比2015年减少15%，重点地区重点行业挥发性有机物排放总量比2015年减少10%。全省化学需氧量、氨氮排放总量比2015年减少10%，重点地区总氮、总磷排放总量分别比2015年减少10%。规范废物处理处置活动加强固体废物综合利用，制定工业固体废物利用和处置的优惠政策，鼓励企业间废物交换利用，全面提升工业固体废物的资源化利用水平。提高危险废物安全处置能力做强危险废物资源化利用产业。科学发展危险废物利用处置和服务行业，提升运营管理和技术水平。……加强危险废物监管体系建设。全面落实危险废物申报登记、制度管理、转移审批、制定应急预案等各项管理制度。建立危险废物应急处置区域合作和协调机制，提高危险废物应急处置能力。①项目运行期间不产生二氧化硫、氮氧化物及挥发性有机物，产生的废水预经处理达标后排入园区污水管网。②项目石英容器清洗产生的废酸、石英容器清洗第一遍废水、吸收塔产生的废吸收液为危险废物，在厂区3F西北侧设置一座约20m2危废暂存间，危险废物定期委托有资质单位进行处理。符合《陕西省铁腕治霾打赢蓝天保卫战三年行动方案（2018-2020年）》（修订版）优化产业结构。严格执行《关中地区治污降霾重点行业项目建设指导目录（2017年本）》，关中核心区（见陕政办发〔2015〕23号）禁止新建、扩建燃煤发电、燃煤热电联产和燃煤集中供热项目，禁止新建、扩建和改建石油化工、煤化工项目。本项目不在禁止新建、扩建和改建项目之列。符合《陕西省人民政府办公厅关于印发四大保卫战2019年工作方案的通知》6项政策为：强化源头管控，开展全省区域空间生态环境评价工作；严控“两高”行业产能，实施关中地区高耗能、高排放行业企业退出工作；7场硬仗：打好工业污染治理硬仗，重点涉气工业污染源全部安装烟气在线监控设施；打好煤炭管控硬仗，关中地区煤炭消费实现负增长，全省不再新建35蒸吨/时以下的燃煤锅炉；实施VOCs专项整治。本项目不属于“两高”行业产能，采用园区管网集中供热，不自建供热锅炉。《铜川市城市总体规划（2005-2020）》市功能组团：形成城市9大功能组团，包括北市区、黄堡、耀州窑遗址、董家河、耀州城区、药王山、新区、玉皇阁水库、坡头镇9大组团。其中坡头镇——城市三类工业园组团拟建项目位于铜川新材料产业园区（原名“坡头工业园区”）处于铜川市产业发展的次级核心圈层，上位规划确定了铜川新材料产业园区属于铜川市九大功能组团之一的坡头镇组团符合铜川市环境保护“十三五”规划》（2016-2020）到2017年，铜川市建成区污水基本实现全收集、全处理；到2020年，城区和所有重点镇具备污水收集处理能力，城镇污水处理率达到95%以上。再生水利用率达到20%以上。一般工业固体废物处置利用率达到80%以上；危险废物安全处置率达100%。城镇生活垃圾无害化处理率≥90%；城市污泥无害化处理处置率应于2020年底前达到90%以上，建制镇达到30%。本项目生产生活废水在厂区预处理后，最终排入铜川新材料产业园污水处理厂进一步处理。危险废物统一收集后在危险废物暂存间暂存，委托有资质单位进行处理，生活垃圾统一收集处理。符合《铜川新材料产业园区总体规划》（2017~2035）功能定位：①新型材料与先进制造：包括新材料制造、新材料研制基地等功能。②载能循环与相关产业：包括燃煤电能、光电产业、新能源产业、废料再生产业等功能。③现代新兴与科技研发：包括医药制造、信息产业、高端精细化工、技术研发、产品发布等新兴产业功能。④现代物流与商务商业：包括总部经济、物流商贸、专业市场、金融创投等功能。⑤生态宜居与现代服务：包括人才公寓、生态社区、生产性服务、生活性服务等功能项目位于新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼，属于产业园内现代新兴与科技研发功能区，是生产磷化铟半导体生产企业，符合该功能区定位。符合《铜川新材料产业园区总体规划环境影响报告书》及其审查意见（1）园区建设集中污水处理厂，入区企业生产废水经预处理达到符合《污水排入城镇下水道水质标准》和《污水综合排放标准》三级标准后排入污水管网，进入园区污水处理厂处理达标后，部分回用于华能铜川电厂，部分回用于绿化、道路清扫、洗车等，其余排入新区作为景观用水，不外排。（2）不支持进入、严禁进入产业区的项目：对于达不到进区企业要求的建设项目不支持进入。主要体现为：对于达不到进区企业要求的建设项目不支持进入。主要体现为：1）不符合规划区及各产业园区产业定位、污染排放较大的行业。2）工业水回用率低于75%的项目。3）单位工业增加值新鲜水耗高于8t/万元、单位工业增加值COD排放量高于0.9kg/万元、单位工业增加值NH3-N排放量高于0.1kg/万元的项目。单位工业增加值SO2排放量大于1.0kg/万元、单位工业增加值NOX排放量大于0.6kg/万元的项目禁止进入园区；4）如进驻项目预处理水质达不到污水处理厂接管要求的项目。5）工艺尾气中含有难处理的、有毒有害物质的项目不支持引进。6）采用落后的生产工艺或生产设备，不符合国家相关产业政策、达不到规模经济的项目。包括：①国际上和国家各部门禁止或准备禁止生产的项目、明令淘汰项目；②生产方式落后、高能耗、严重浪费资源和污染资源的项目；③污染严重，破坏自然生态和损害人体健康又无治理技术或难以治理的项目，如剧毒、放射性物质的生产、储运项目、持久性污染和重金属等产生的项目等；④严禁引进不符合经济规模要求，经济效益差，污染严重的小钢铁、小有色金属、小铁合金、小化工、小炼油、小建材、小造纸、小制革、小电镀等“十五小”企业及“新五小”企业。在判断该类项目时要参考《产业结构调整指导目录（2011年）版》（修正）、《工商投资领域制止重复建设目录》、《严重污染（大气）环境的淘汰工艺与设备名录》、《国家鼓励发展的资源节约综合利用和环境保护技术》、《当前国家鼓励发展的环保产业设备（产品）目录（2010年版）》等国家法律、法规。除鼓励类项目外，存在高污染、高环境风险的项目禁止进入。不在园区行业定位内的项目应限制性进入。严格执行环境影响评价和“三同时”制度，正常生产时做到达标排放，以及做好事故预防措施，制定风险应急预案。（3）对入园企业和项目的管理要求：①符合入区要求的建设项目应按《建设项目环境影响评价分类管理名录》的规定进行环境影响评价。根据《中华人民共和国环境影响评价法》第十八条的规定，可简化入区建设项目的环境影响评价内容，突出评价重点。②入园企业必须采取有效的污染控制措施，必须实现污染物达标排放。③入园企业必须采取节能、节水措施，尽可能使用中水，水重复利用率应该达到75％以上。（1）项目污废水预处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）A级标准后排入污水管网；（2）本项目不在规划环评所提严禁进入产业区的项目范围之内。符合（3）三线一单”符合性分析①生态保护红线：项目位于铜川市新区新材料产业园内，所在区域不属于自然保护区、森林公园、风景名胜区、世界文化自然遗产、地质公园等禁止开发的生态红线区、重点保护生态红线区以及脆弱生态保护红线区内，项目建设不会占用生态红线保护区。②环境质量底线：项目声环境达到《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的3类标准；土壤满足《土壤环境质量标准建设用地土壤污染风险管控标准》（试行）（GB36600-2018）中第二类用地筛选值标准。本项目实施后产生的废气、废水、噪声等虽然对大气环境、声环境和地表水环境造成一定的负面影响，但影响程度很小，不会改变环境功能区，能够严守环境质量底线。③资源利用上线：本项目生产过程中所使用的资源主要为水资源、电及土地。项目所在地工业基础好，工业用水有保证；用电来自区域供电管网。因此，本项目符合资源利用上线标准。④负面清单：经查阅关于印发《陕西省国家重点生态功能区产业准入负面清单（试行）》的通知（陕发改规划＜2018＞213号），铜川市新区新材料产业园不在清单内容管理范围，项目不属于负面清单禁止内项目。（4）选址合理性分析①项目用地分析本项目所占用的土地为工业用地，评价范围内不涉及风景名胜、自然保护区、饮用水源保护区等需要特殊保护的环境敏感目标。②项目选址与环境功能区划的一致性厂区及其附近环境空气执行《环境空气质量标准》中二级标准、声环境执行《声环境质量标准》3类标准、土壤符合执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB36600-2018）中的第二类用地标准。从预测结果来看，本项目建设不会改变区域环境空气、地表水体、地下水、土壤环境、声环境等的功能要求。根据监测报告可知，厂址内土壤环境符合《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB36600-2018）中的第二类用地标准。声环境达到《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准限值要求。预测结果表明，正常生产情况下，项目外排废气对环境空气环境影响较小；项目噪声经合理布局、选用低噪声设备、消声、减振处理，噪声厂界可达标。固体废物可得到较好处理处置，主要建筑物车间地面、污水处理站采取防渗等措施，避免对地下水和土壤产生不利影响。项目无生产废水外排，生活污水进入园区污水管网经铜川市新区新材料产业园污水处理厂处理达标后部分回用于华能铜川电厂，部分回用于绿化、道路清扫、洗车等，其余排入新区作为景观用水，不外排，不会对周围地表水产生不利影响。根据上述分析，项目选址符合环境功能区划要求。③敏感点影响分析根据环境影响预测分析，项目排放的大气污染物对各敏感目标影响较小；生活污水及生产废水预处理后排入铜川市新区新材料产业园污水管网，进入铜川市新区新材料产业园污水处理厂处理达标后回用；噪声源经减振、消声等措施和建筑阻隔、距离衰减后对外界声环境影响较小。项目产生的各种固废都得到综合利用或妥善处理处置。综上所述，从环境保护角度分析，评价认为项目厂址的选择是可行的。0.5关注的主要环境问题及环境影响①生产中酸性废气、废水等污染物排放问题及环保措施可行性分析；②项目运营期生产设备、各种泵等产生的噪声。③项目运营期所产生的固体废物等所造成的环境影响。0.6报告结论本项目符合国家产业政策、大气污染防治行动计划、土壤污染防治行动计划及铜川市新区新材料产业园总体规划等，项目选址合理。项目“三废”治理方案合理、可行，项目在建设和运营过程中，按本报告提出的各项污染防治措施，落实各项污染治理对策，切实保证环境污染治理资金落实到位，严格执行污染治理工程和主体工程的“三同时”，加强污染治理措施和设备的运行管理，可最大限度的降低其对周围环境不利影响。从环境保护角度考虑，该项目的建设是可行的。项目在编制工作中，得到了铜川市生态环境局、铜川市新区新材料产业园管委会及建设单位的大力支持，在此表示衷心地感谢！1总论1.1编制依据1.1.1法律法规（1）《中华人民共和国环境保护法》，2015年1月1日；（2）《中华人民共和国环境影响评价法》，2016年9月1日；（3）《中华人民共和国大气污染防治法》，2016年1月1日；（4）《中华人民共和国水污染防治法》（修正），2018年1月1日；（5）《中华人民共和国噪声污染防治法》，2018年10月26日；（6）《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》，2020年9月1日；（7）《中华人民共和国清洁生产促进法》（修订），2012年7月1日；（8）《中华人民共和国土壤污染防治法》，2019.1.1。1.1.2部门规章（1）《建设项目环境影响评价分类管理名录》，国务院环境保护部，2018年4月28日；（2）《产业结构调整指导目录（2019年本），国家发展和改革委员会令第21号；（3）《环境影响评价公众参与办法》生态环境部，第4号令，2019年1月1日；（4）《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》，环发[2014]197号，2014年12月31日；（5）《国务院关于加强环境保护重点工作的意见》国务院，国发[2011]35号，2011年10月；（6）《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》国家环保部，环发[2012]77号；（7）《关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知》环境保护部，环发[2012]98号；（8）《突发环境事件应急管理办法》，环保部令第34号，2015年6月5日起施行；（9）《国家危险废物名录》，中华人民共和国环境保护部令部令第39号，2016年8月1日；（10）《企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法（试行）》环境保护部，环发[2015]4号；（11）《陕西省限制投资类产业指导目录》，陕发改产业[2007]97号；（12）陕西省《行业用水定额》（DB61/T943-2014）；（13）《关于印发<陕西省突发环境事件应急预案管理暂行办法>的通知》，陕西省环境保护厅，陕环发[2011]88号，2011年；（14）《陕西省大气污染防治条例》，陕西省人民代表大会常务委员会，2013.11.29；（15）陕西省人民政府办公厅关于印发《四大保卫战2020年工作方案》的通知，陕政办发[2020]9号；（16）《关于印发陕西省扬尘污染专项整治行动方案的通知》（陕建发〔2017〕77号）；（17）《陕西省铁腕治霾打赢蓝天保卫战三年行动方案(2018-2020年),陕西省人民政府办公厅;（18）《关于加强危险废物污染防治工作的通知》，陕西省环境保护厅，陕环发[2011]90号；（19）《关于进一步加强危险废物规范化管理工作的通知》，陕西省环境保护厅办公室，陕环办发[2012]144号；（20）《关于加强建设项目固体废物环境管理工作的通知》，陕西省环境保护厅，陕环函[2012]704号；（21）《关于印发<陕西省危险废物转移电子联单管理办法（试行）>的通知》，陕西省环境保护厅，陕环函[2012]777号；（22）《关于进一步加强危险废物转移处置环境管理工作的通知》，陕西省环境保护厅办公室，陕环办发[2013]142号。（23）环境保护部《“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案》（环大气〔2017〕121号），2017.9.14；（24）环境保护部《企业突发环境事件风险分级方法》（公告〔2018〕14号），2018.2.6；（25）陕西省人民政府《陕西省实施<中华人民共和国环境影响评价法>办法（2020年修正）》，2020.6.23。1.1.3相关规划和计划（1）《中华人民共和国国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要》，2016年3月18日；（2）《“十三五”生态环境保护规划》，国发[2016]65号，2016年11月24日；（3）《陕西省“十三五”环境保护规划》，陕政发[2017]47号，2016年9月6日；（4）《陕西省水功能区划》，陕政办发(2004)100号，2007年1月5日；（5）《陕西省水污染防治2018年度工作方案》陕政办发〔2018〕23号，2018年4月27日；（6）《大气污染防治行动计划》，2013.9；（7）《水污染防治行动计划》，2015.4；（8）《土壤污染防治行动计划》，2015.8；（9）《铜川市城市总体规划》（2016-2030）；（10）《铜川新材料产业园区总体规划》（2017-2035）；（11）《铜川新材料产业园区总体规划环境影响报告书》（2018.7）。1.1.4技术规范（1）国家环保部《环境影响评价技术导则•总纲》（HJ2.1-2016）；（2）国家环保部《环境影响评价技术导则•大气环境》（HJ2.2-2018）；（3）国家环保部《环境影响评价技术导则•地表水环境》（HJ/T2.3-2018）；（4）国家环保部《环境影响评价技术导则•地下水环境》（HJ610-2016）；（5）国家环保部《环境影响评价技术导则•声环境》（HJ2.4-2009）；（6）国家环保部《环境影响评价技术导则•生态影响》（HJ19-2011）；（7）《环境影响评价技术导则─土壤环境（试行）》（HJ964-2018）；（8）《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）；（9）《危险化学品重大危险源辩识》（GB18218-2018）；（10）《固体废物鉴别标准通则》（GB34330-2017）；（11）《环境空气质量功能区划分原则与技术方法》（HJ14-1996）；（12）《排污单位自行监测技术指南总则》（HJ819-2017）；（13）陕西省质量技术监督局《行业用水定额》（DB61/T943-2014），2015.1.1。1.1.5项目资料（1）铜川市新区发展和改革局《磷化铟半导体材料产业化项目一期工程》备案确认书，具体见附件；（2）陕西同元环境检测有限公司环境影响评价监测报告》，见附件；（3）磷化铟半导体材料产业化项目一期工程可行性研究报告；（4）建设单位提供的其他有关技术资料。1.2评价目的及评价内容1.2.1评价目的本次评价拟通过对拟建项目的环境影响评价，明确项目建设的环境可行性，促进项目建成后产生的经济、社会和环境效益得到充分的发挥，将其对环境产生的负面影响减至最小，以此实现环境、社会和经济的可持续协调发展。1.2.2评价内容（1）通过项目评价区环境现状调查与监测，评价建设项目所在区域的环境质量背景状况和存在主要环境问题；（2）根据工程分析、污染源类比调查与监测，以及生产工艺、生产设备及原辅材料消耗，掌握建设项目主要污染源及污染物的排放状况，识别和筛选其对环境造成影响的一般和特征污染因子；（3）根据建设项目实施后的产排污特点，论证污染防治措施的可行性，并进行环境经济损益分析；（4）结合国家产业政策与地方经济、资源及环境特点，论证本项目建设与相关规划相容性和环境可行性；（5）从规划和环境保护角度对项目的选址合理性、对工程建设环保可行性做出明确结论，从环保角度对工程建设提出要求和建议，为管理部门决策、建设单位环境管理提供科学依据。1.3环境影响因素识别和评价因子筛选1.3.1建设项目影响环境程度及性质识别根据工程性质及其污染物排放特点，采用矩阵表，对工程影响环境要素的程度及性质进行识别，识别结果见表1.3-1、表1.3-2。根据影响因素识别，该项目运行期对生产废气、生产废水、生产噪声和各种固体废弃物等进行分析评价。表1.3-1建设项目影响环境要素程度识别表类别施工期运营期场地清理地面挖掘运输安装建设材料堆存污水排放废气排放噪声固废排放产品事故风险自然环境水土流失地下水质-1-1地表水文-1地表水质-1环境空气-1-1-1-1声环境-1-1生态环境土壤-1-1植被-1野生动物濒危动物表1.3-2建设项目环境影响的性质识别表影响性质环境资源不利影响有利影响短期长期可逆不可逆局部广泛短期长期局部广泛自然环境水土流失√地下水质地表水质地表水文环境空气√声环境√√√生态环境农田植物√森林植被野生动物濒危动物水生动物渔业养殖1.3.2评价因子的筛选（1）施工期①装修过程中产生的装修废气，属于无组织排放，会对局部环境空气质量产生短期不利影响，主要污染物是有机废气和施工扬尘。②施工机械噪声和运输噪声对施工场地周边声环境会产生短期的不利影响，影响评价因子为等效声级Leq[dB(A)]。③施工过程产生施工废水，主要污染物是SS、COD和石油类；生活污水中主要污染物有COD、BOD5、SS、氨氮和动植物油等。建设项目施工期环境影响因子筛选结果见表1.3-3。表1.3-3施工期环境影响因子筛选表类型污染源环境影响因子大气环境装修过程有机废气、施工扬尘水环境施工废水及生活污水SS、COD、氨氮声环境施工机械活动、车辆运输等施工噪声固体废物弃土、弃渣、建筑废料建筑垃圾（2）运营期①大气环境评价因子的筛选根据工程污染物排放特征，确定项目环境空气现状评价因子：PM10、PM2.5、SO2、NO2、CO、O3、五氧化二磷。（2）水环境评价因子筛选本项目磷化铟清洗废水及石英容器（石英坩埚、石英管）清洗废水经中和后，厂区职工生活污水经化粪池处理后与纯水制备废水进入新材料产业园污水处理厂进一步处理，项目仅对项目排放的污染物类型、数量、排水去向进行可行性论证。（3）声环境评价因子筛选营运期产生噪声的设备主要为生产过程中切割取样机、水泵、纯水机、净化系统风机等生产设备运行噪声。设备运行时产生的噪声声级在70～85dB（A）之间，对厂区及其周围环境有一定影响，因此，声环境现状评价因子及预测评价因子均为等效连续A声级，Leq（dB(A)）。（4）固体废物评价因子筛选项目运营期主要是生产固废与生活垃圾，产生的固废可以全部得到合理处置。因此，本次评价主要关注固体废物种类、数量、性质及处理处置方式。（5）土壤评价因子筛选根据项目区域环境现状和污染物排放特征，确定项目区域土壤环境质量现状调查因子为45项基本项目。（6）风险评价因子筛选本项目运营期主要风险物质主要为清洗石英容器过程中使用的盐酸、硝酸。根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018），评价确定本项目盐酸、硝酸事故排放，作为最大可信事故。（7）评价因子筛选结果根据环境影响识别结果和以上分析，本项目各专题、各环境要素的污染因子筛选结果列于表1.3-4。表1.3-4环境影响评价因子筛选结果表序号环境要素专题评价因子1环境空气现状评价SO2、NO2、PM2.5、PM10、CO、O3、五氧化二磷2声环境现状评价等效连续A声级预测评价等效连续A声级3土壤环境现状评价砷、镉、铬（六价）、铜、铅、汞、镍、四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、顺-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷、1,1,2,2-四氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯、硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并[a]蒽、苯并[a]芘、苯并[b]荧蒽、苯并[k]荧蒽、䓛、二苯并[a,h]蒽、茚并[1,2,3-cd]芘、萘45项4固体废物污染源评价一般工业固废、危险废物、生活垃圾影响分析一般工业固废、危险废物、生活垃圾5环境风险影响分析盐酸、硝酸1.4环境功能和评价标准1.4.1环境功能区划（1）大气环境功能区划情况根据GB3095－2012《环境空气质量标准》中大气环境功能区划，项目所在地属于GB3095－2012中的二类区，执行GB3095－2012《环境空气质量标准》二级标准。（2）地表水环境功能区划情况根据陕西省水功能区划，项目所在地地表水环境属于GB3838-2002《地表水环境质量标准》的II类水域，执行GB3838-2002《地表水环境质量标准》的II类水域标准值。（3）地下水环境功能区划根据地下水质量分类指标，项目所在地属于GB/T14848-2017《地下水质量标准》中的Ⅲ类区域，执行GB/T14848-2017中的Ⅲ类水质标准值。（4）声环境功能区划情况根据铜川市新区新材料产业园规划，属于GB3096-2008《声环境质量标准标准》3类区域，执行GB3096-2008《声环境质量标准》3类环境噪声标准。（5）土壤本项目土壤执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》（GB36600-2018）中二类用地标准。1.4.2环境质量标准（1）环境空气本项目空气质量功能区属二类功能区，SO2、NO2、CO、O3、PM10、PM2.5环境空气执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）中二级标准，五氧化二磷、HCL执行《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D其他污染物空气质量浓度参考限值。表1.4-1环境空气质量标准标准名称及级（类）别项目标准限值《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标准SO2年平均60µg/m324小时平均150µg/m31小时平均500µg/m3NO2年平均40µg/m324小时平均80µg/m31小时平均200µg/m3PM10年平均70µg/m324小时平均150µg/m3PM2.5年平均35µg/m324小时平均75µg/m3NOx1小时平均250µg/m3CO日平均质量浓度4mg/m3O3日最大8小时平均浓度160µg/m3《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D五氧化二磷1小时平均150µg/m324小时平均50µg/m3HCl1小时平均50µg/m3（2）地表水本项目区域地表水环境质量执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）中Ⅱ类水域标准，见表1.4-2。表1.4-2《地表水环境质量标准》单位：mg/L（pH值无量纲）类别标准值类别标准值pH值6～9总磷≤0.1COD≤15总氮≤0.5BOD5≤3石油类≤0.05NH3-N≤0.5挥发酚≤0.002（3）地下水本项目所在区域地下水执行《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中的Ⅲ类标准，见表1.4-3。表1.4-3《地下水质量标准》单位：mg/L（pH值无量纲）序号项目Ⅲ类标准值1K+/2Na+/3Ca2+/4Mg2+/5CO32-/6HCO3-/7氯化物（Cl-）/8硫酸盐（SO42-）2509pH6.5~8.510铅≤20011汞≤112钒/13钼/14六价铬≤0.0515总硬度≤45016耗氧量≤3.017硝酸盐氮≤2018亚硝酸盐氮≤1.019氨氮≤0.520氟化物≤1.021总大肠菌群≤3.0（4）声环境本项目营运期声环境执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的3类标准，见表1.4-4。表1.4-4《声环境质量标准》单位：LeqdB（A）类别昼间夜间3类6555（5）土壤环境本项目土壤执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》（GB36600-2018）中二类用地标准，见表1.4-5。表1.4-5《建设用地土壤污染风险筛选值》单位：mg/kg序号污染项目CAS编号筛选值管制值第二类用地第二类用地一重金属和无机物1六价铬18540-29-95.7782砷7440-38-2601403镉7440-43-9651724铅7439-92-180025005铜7440-50-818000360006汞7439-97-638827镍7440-02-09002000二挥发性有机物8硝基苯98-95-3767609苯胺62-53-3260663102-氯酚95-57-82256450011苯并(a)蒽56-55-31515112苯并(a)芘50-32-81.51513苯并(b)荧蒽205-99-21515114苯并(k)荧蒽207-08-9151150015二苯并(a,h)蒽53-70-31.51516䓛218-01-912931290017茚并(1,2,3-cd)芘193-39-51515118萘91-20-37070019氯甲烷74-87-33712020氯乙烯74-87-30.434.3211,2-二氯乙烷107-06-2521221,1-二氯乙烯75-35-46620023二氯甲烷75-09-2616200024反式-1,2-二氯乙烯156-60-554163251,1-二氯乙烷75-34-3910026顺式-1,2-二氯乙烯156-59-2596200027氯仿67-66-30.910281,1,1-三氯乙烷71-55-684084029四氯化碳56-23-52.836301,1,1,2-四氯乙烷630-20-61010031间-二甲苯+对-二甲苯106-42-3108-38-3570570321,2-二氯丙烷78-87-5521331,2,3-三氯丙烷96-18-40.55341,1,2-三氯乙烷79-00-52.81535四氯乙烯127-18-45318336氯苯108-90-7270100037苯71-43-244038乙苯100-41-42828039三氯乙烯79-01-62.82040邻-二甲苯95-47-664064041苯乙烯100-42-51290129042甲苯108-88-312001200431,1,2,2-四氯乙烷79-34-56.850441,4-二氯苯106-46-720200451,2-二氯苯95-50-15605601.4.3污染物排放标准（1）大气施工期扬尘执行《施工场界扬尘排放限值》（DB61/1078-2017）相关排放限值；运营期颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-96）二级标准限值要求。见表1.4-6~1.4-7。表1.4-6施工场界扬尘排放限值污染物监控点施工阶段小时平均浓度限值mg/m3施工扬尘TSP周界外浓度最高点基础、主体结构及装饰工程≤0.7表1.4-7大气污染物综合排放标准限值污染物最高允许浓度（mg/m3）最高允许排放速率无组织排放浓度限值排气筒（m）二级（kg/h）监测点位浓度颗粒物1203023周界外浓度最高点1.0mg/m3HCl100301.4周界外浓度最高点0.20mg/m3NOX240304.4周界外浓度最高点0.12mg/m3（2）废水项目运营期废水执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）A级标准。见表1.4-8。表1.4-8项目废水排放限值标准名称及级（类）别污染因子标准值单位数值《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准pH无量纲6~9CODmg/L500BOD5mg/L300SSmg/L400动植物油mg/L100《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）A级标准氨氮mg/L45总氮mg/L70总磷mg/L8石油类mg/L15（3）噪声建筑施工期噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）中有关规定，营运期厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准，见表1.4-9。表1.4-9各时段厂（场）界环境噪声排放标准污染源声环境级别主要噪声源噪声限值dB(A)昼间夜间施工期《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)施工机械7055运营期《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准设备6555（4）固体废物一般固体废物排放执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）及2013年修改单中的有关要求；危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及其修改单（环境保护部2013年第36号公告）中的有关规定。1.5评价工作等级及评价范围1.5.1地表水环境影响评价工作等级及评价范围本项目磷化铟清洗废水及石英容器（石英坩埚、石英管）清洗废水经中和后，厂区职工生活污水经化粪池处理后与纯水制备废水进入新材料产业园污水处理厂进一步处理，对地表水环境影响较小。依据《环境影响评价技术导则•地表水环境》（HJ2.3-2018）中的有关规定，项目水环境影响评价工作等级为三级B，评价不对地表水环境进行预测评价，仅对地表水环境影响进行简要分析。1.5.2地下水环境影响评价工作等级及评价范围根据《环境影响评价技术导则地下水环境》HJ610-2016要求：“根据建设项目对地下水环境影响的程度，结合《建设项目环境影响评价分类管理名录》，将建设项目分为四类，Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类建设项目的地下水环境影响评价应执行该标准，Ⅳ类建设项目不开展地下水环境影响评价。”通过查询HJ610-2016附录A（规范性附录）地下水环境影响评价行业分类表确定，本项目行业类别属于半导体材料生产，评价类别为报告书，所属的地下水环境环境影响评价项目类别为Ⅳ类，因此，本项目不开展地下水环境影响评价。1.5.3声环境评价工作级别及评价范围本项目所在地声环境功能为3类区，建设前后敏感点噪声级变化<3dB（A），受影响人口数量变化不大。根据HJ2.4-2009《环境影响评价技术导则－声环境》对评价级别的规定（见表1.5-1），判定本项目声环境评价工作等级为三级。评价范围为项目厂界外200m。表1.5-1声环境评价等级判定表指标声环境功能区类别敏感点噪声值变化情况受影响人口数量导则判据一级0类>5dB（A）显著增多二级1、2类≥3dB（A），且≤5dB（A）增加较多三级3、4类<3dB（A）变化不大本项目3类<3dB（A）变化不大评价等级三级1.5.4大气环境评价工作级别及评价范围（1）评价工作等级划分依据①Pmax及D10%的确定依据《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ2.2-2018)中5.3节工作等级的确定方法，结合项目工程分析结果，选择正常排放的主要污染物及排放参数，采用附录A推荐模型中的AERSCREEN模式计算项目污染源的最大环境影响，然后按评价工作分级判据进行分级。依据《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)中最大地面浓度占标率Pi定义如下：PPi——第i个污染物的最大地面空气质量浓度占标率，%Ci——采用估算模型计算出的第i个污染物的最大1h地面空气质量浓度，μg/m3C0i——第i个污染物的环境空气质量浓度标准，μg/m3②评价等级判别表评价等级按下表的分级判据进行划分表1.5-2评价等级判别表评价工作等级评价工作分级判据一级评价Pmax≧10%二级评价1%≦Pmax<10%三级评价Pmax<1%③污染物评价标准污染物评价标准和来源见下表。表1.5-3污染物评价标准污染物名称功能区取值时间标准值(μg/m³)标准来源NOx二类限区一小时250.0环境空气质量标准(GB3095-2012)五氧化二磷二类限区一小时150.0《环境影响评价技术导则-大气环境》HJ2.2-2018附录DHCL二类限区一小时50.0《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D中“其它污染物空气质量浓度参考限值④污染源参数表1.5-4主要废气污染源参数一览表(点源)污染源名称排气筒底部中心坐标(°)排气筒底部海拔高度(m)排气筒参数污染物排放速率(kg/h)经度纬度高度(m)内径(m)温度(℃)流速(m/s)NOxHCL五氧化二磷点源108.90434234.833841716.0030.000.2525.0016.980.000140.000180.0008表1.5-5主要废气污染源参数一览表(矩形面源)污染源名称坐标(°)海拔高度(m)矩形面源污染物排放速率(kg/h)经度纬度长度(m)宽度(m)有效高度(m)NOxHCL五氧化二磷矩形面源108.90438934.833893716.008.004.2010.000.000010.000020.0018⑤污染源参数表1.5-6估算模型参数表参数取值城市/农村选项城市/农村农村人口数(城市人口数)/最高环境温度39.7最低环境温度-17.9土地利用类型农田区域湿度条件中等湿度是否考虑地形考虑地形是地形数据分辨率(m)90是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟否岸线距离/m/岸线方向/°/⑥评价工作等级确定本项目所有污染源的正常排放的污染物的Pmax和D10%预测结果如下:表1.5-7Pmax和D10%预测和计算结果一览表污染源名称评价因子评价标准(μg/m³)Cmax(μg/m³)Pmax(%)D10%(m)矩形面源五氧化二磷150.01.23110.8207/矩形面源HCL50.00.03700.0740/矩形面源NOx250.00.01850.0074/点源五氧化二磷150.00.06160.0411/点源HCL50.00.01390.0277/点源NOx250.00.01080.0043/本项目Pmax最大值出现为矩形面源排放的五氧化二磷Pmax值为0.8207%，Cmax为1.2311μg/m3，根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）分级判据，确定本项目大气环境影响评价工作等级为三级。（2）评价范围三级评价项目不需设置大气环境影响评价范围。1.5.5环境风险评价工作等级及评价范围（1）风险评价等级根据环境风险潜势划分结果，项目环境风险评价工作等级判定见表1.5-8。表1.5-8建设项目环境风险评价等级划分一览表环境风险潜势IV、IV+IIIIII评价工作等级一二三简单分析本项目本项目环境风险潜势为I，项目环境风险评价等级确定为简单分析。（2）评价范围按照《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T169-2018）中的规定，环境风险评价范围为距项目边界3km范围。1.5.6土壤评价（1）评价等级确定根据《环境影响评价技术导则土壤环境（试行）》（HJ964-2018），本项目属于制造业中半导体材料制造，属于Ⅱ类项目，占地面积1000m2，属于小型占地规模。现场调查，建设项目场地不在耕地、园地、牧草地、饮用水源地、居民区、学校、医院、疗养院、养老院等土壤环境敏感目标，也不存在其他土壤环境敏感目标，具体见表1.5-9，根据以上内容和地下水评价分级判别表1.5-10，判定拟建项目土壤评价工作等级为三级。表1.5-9污染影响型敏感程度分级表敏感程度判别依据敏感建设项目周边存在耕地、园地、牧草地、饮用水源地、居民区、学校、医院、疗养院、养老院等土壤环境敏感目标较敏感建设项目周边存在其他土壤环境敏感目标不敏感其他情况表1.5-10污染影响型评价工作等级划分表敏感程度评价工作等级占地规模I类项目II类项目III类项目大中小大中小大中小敏感一级一级一级二级二级二级三级三级三级较敏感一级一级二级二级二级三级三级三级-不敏感一级二级二级二级三级三级三级--本项目Ⅱ类项目，不敏感，小型评价等级三级（2）评价范围建设项目评价工作等级三级，属于污染影响型，因此，评价范围为厂界外50m。表1.6-1评价区内重点保护对象及其环境保护目标名称坐标保护对象人数保护对象环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/mXY环境空气108.89189534.838252姚老城1310人群健康《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二类区西北785108.89642834.844662华原村1450人群健康西北1011108.90595534.848965白草坡村860人群健康北1439108.90144334.850177楼村中学600人群健康北1705108.89758134.853524坡头镇2140人群健康北1803108.91403934.852022原村390人群健康东北1902108.91447934.838161孙家庄村170人群健康东北880108.92387734.844813上席家坡210人群健康东北1922108.93197834.828108郝家村370人群健康东南2313108.92736434.822497西王村1780人群健康东南2330108.92189334.815941新安村540人群健康东南2402108.90525234.822861西邵村890人群健康南1000108.88802234.821842屯里村1230人群健康西南1634108.87991134.830447王家庄180人群健康西2174风险具体见风险分析章节大气、地表水、地下水。///土壤建设场地及周边0.05km范围内土壤环境。///生态建设场地及周边人工植被、农田、自然植被。///2建设项目概况2.1工程基本情况（1）项目名称：磷化铟半导体材料产业化项目一期工程（2）建设单位：陕西铟杰半导体有限公司（3）建设地点：陕西省铜川市新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼（4）建设性质：新建（5）行业类别：C3985电子专用材料制造（6）建设规模及内容：项目拟租用标准厂房5000平方米，新建设10吨磷化铟多晶生产线，配套冷却水系统、万级及百万级洁净厂房，新建相应的实验室和办公室展示区等。（7）劳动定员及工作制度：本项目劳动定员40人，年工作300天，采用三班倒，每班8小时。（8）项目投资：项目总投资为6000万元，其中，环保投资53万元，占总投资的0.88%。2.2建设项目位置及四邻关系本项目建设地点位于陕西省铜川市新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼，地理位置中心坐标为东经108.904230°，北纬34.834205°。项目地理位置见图2.2-1。项目西侧为陕西天马电缆有限公司，南侧为陕西大唐合力电缆集团有限公司，北侧为隽美经纬电路有限公司西侧为空地。项目厂区距离最近的敏感点为西北侧姚老城785m，四邻关系图见图2.2-2。2.3建设规模与产品方案本项目建成投产以后，设计年产10t/a磷化铟多晶，建设规模与产品方案见表2.3-1。表2.3-1建设规模与产品方案序号产品名称单位数量1磷化铟多晶t/a10磷化铟多晶执行《磷化铟多晶GB/T36706-2018》标准，具体指标如下：（1）电学性能磷化铟多晶的电化学性能符合表2.3-2。表2.3-2磷化铟多晶电化学性能项目要求A级B级C级D级E级载流子迁移率cm2/（V.s）≥4500≥3500≥3000≥2500≥2500载流子浓度（atoms/cm3）≤3×1015≤6×1015≤8×1015≤1×1016≤3×1016（2）密度磷化铟多晶的理论密度为4.787g/cm3，实测密度与理论密度的偏差应在±5%以内，即实测密度应为4.548～5.026g/cm3。（3）外观质量磷化铟多晶为灰色固体，表面致密、无孔洞、无复铟、无复磷。2.4项目组成及建设计划2.4.1项目组成本项目拟租用标准厂房5000平方米，新建设10吨磷化铟多晶生产线，配套冷却水系统、万级及百万级洁净厂房，新建相应的实验室和办公室展示区等，项目组成及主要建设内容见表2.4-1。表2.4-1项目组成表类别建设名称建设内容备注主体工程生产车间位于1F，建筑面积约216m2，设3套磷化铟多晶炉；位于2F，建筑面积约216m2，设10套磷化铟多晶炉。建筑依托储运工程原材料库房位于1F，建筑面积22m2，主要存放氢气瓶、液氮瓶、氧气瓶、氩气瓶。位于2F，建筑面积22m2，主要存放铟、红磷、氧化硼、石英坩埚、石英管等。建筑依托成品库房位于3F，建筑面积129.6m2。辅助工程办公室位于4F，主要分为总经理室、副总室、接待室、财务室、休息室、信息机房室、办公室、会议室、开发办公区、学习大教室等功能区。建筑依托检验室位于5F，建筑面积144m2。动力电房位于1F，建筑面积76.5m2。卫生间位于1F、4F、5F，建筑面积分别为42m2。公用工程给水由铜川市新区新材料产业园自来水管网统一供给。排水采用“雨污分流”，雨水经收集后由厂内管网进入铜川市新区新材料产业园雨水管网；生活污水进化粪池处理后与纯水制备废水通过园区污水管网进入铜川市新区新材料产业园污水处理厂处理。供暖、制冷采用分体式空调供暖、制冷。供电由铜川市新区新材料产业园供电系统接入。环保工程废气本项目磷化铟晶体拆装时产生少量的五氧化二磷与石英容器清洗时产生的HCL、NOX，通过“吸收塔（10%氢氧化钠溶液）+活性炭吸附器”处理后经30m高排气筒排放。废水本项目磷化铟清洗废水及石英容器（石英坩埚、石英管）清洗废水经中和后，厂区职工生活污水经化粪池处理后与纯水制备废水进入新材料产业园污水处理厂进一步处理。废气处理系统定期排水，厂区内暂存，委托有资质单位进行处理。固废高纯红磷、高纯铟、氧化硼包装材料、生产过程中产生的废石英管及废石英管及纯水制备过程产生的废活性炭、废石英砂、废反渗透膜，收集后由厂家回收利用。石英容器清洗产生的废酸、石英容器清洗第一遍废水、吸收塔产生的废吸收液为危险废物，在厂区3F西北侧设置一座约20m2危废暂存间，危险废物定期委托有资质单位进行处理。生活垃圾经桶装分类收集后，交环卫部门统一进行处理。噪声机械设备产生的噪声采用厂房隔音、基础减震等措施。2.4.2主要经济技术指标本项目综合经济技术指标详见下表2.4-2。2.4-2综合技术经济指标表序号指标名称单位指标值备注一生产规模1磷化铟晶体吨10二年操作日天300三主要原材料1铟kg82712红磷kg22293氧化硼kg100四公用动力消耗量1供水吨16582供电万kWh300五全厂定员人40六总占地面积m21000七总建筑面积m25000八项目总投资万元6000九环保投资万元532.5主要原、辅材料消耗项目建成后，生产所需各种金属材料、辅助材料都可以从市场采购。主要原辅材料消耗见表2.5-1，原辅材料理化性质见表2.5-2。表2.5-1主要原辅材料序号原料名称年用量单位包装方式最大存储量来源1铟8271kg玻璃瓶200外购2红磷2229kg玻璃瓶50外购3石英坩埚300只袋装50外购4石英管300套袋装100外购5氢气30瓶瓶装10外购6液氮5吨瓶装0.2外购7氧气30瓶瓶装10外购8氩气180吨瓶装5外购9氧化硼100kg铝箔袋50外购10氢氧化钠180Kg袋装25外购11硝酸37.5L瓶装5外购12盐酸112.5L瓶装10外购13电300万kwh//市政电网14水1658m3//市政管网表2.5-2原辅材料理化性质序号名称理化性质燃烧爆炸性/危害性毒性毒理1铟状态:银白色稀有金属，密度(9/cc,300K):7.31，熔化热/KJ/mol3.263，熔点(℃)156.76，比热/J/gK0.23，导电率/106/Cm0.116，沸点(℃)2073，蒸发热/KJ/mol231.5，导热系数NVIcmK0.816。本品不燃LD50：无资料LC50：无资料2红磷暗红色无定形粉末，具有金属光泽，暗处不发光。熔点(℃)590，相对密度2.20，分子量123.90，饱和蒸气压(kPa)：4357，引燃温度(℃)260，不溶于水、二硫化碳，微溶于无水乙醇，溶于碱液。416℃时赤磷升华，它的蒸气冷却后变成白磷。加热至200℃着火燃烧生成五氧化二磷，在有氯环境中加热时会燃烧，赤磷都易与卤素化合，生成三卤化磷或五卤化磷。遇氯酸钾、高锰酸钾、过氧化物和其他氧化剂时可引起猛烈爆炸。易燃LD50：无资料LC50：无资料3氧化硼无色玻璃状晶体或粉末。表面有滑腻感，无味。相对密度2.46，分子量69.6202。可溶于酸、乙醇、热水，微溶于冷水。本品不燃LD50：无资料LC50：无资料4氢氧化钠白色半透明，结晶状固体。易溶于水、乙醇及甘油，有潮解性。熔点318.4℃，沸点1390℃，密度2.130g/cm3。用作分析试剂，使石蕊试液变蓝，使酚酞试液变红。有强烈刺激和腐蚀性。LD50：无资料LC50：无资料5硝酸化学式:HNO3。常温下纯硝酸溶液无色透明。具有强氧化性、腐蚀性的强酸,易溶于水。熔点：-42℃，沸点:78℃。化学性质活泼，与还原剂、碱类、醇类、碱金属等会发生化学反应。具有挥发性，会分解产生氮等有毒气体。LC50：49ppm/4小时（大鼠吸入）。6盐酸分子式HCl。盐酸呈透明无色或黄色，具有极强的挥发性，有刺激性气味和强腐蚀性。易溶于水、乙醇等。为含38%氯化氢的浓盐酸，相对密度1.19，熔点-112℃，沸点-83.7℃。有刺激性。LD50：900mg/kg（兔经口）；LC503124ppm，1小时(大鼠吸入)2.6主要生产设备清单建设项目主要生产设备见表2.6-1。2.6-1主要生产设备清单序号设各名称型号单位数量1磷化铟多晶炉峻岗科技PEAKRD010套132封管炉/套23清洗柜/套24切割取样机/套15霍尔测量仪/套16真空包装机/套17分级定型炉/套18水泵/台69纯水机/套110洁净空调系统/套22.7公用工程（1）给水系统本项目生产用水、生活用水由铜川市新区新材料产业园自来水管网统一供给。项目用水包括磷化铟清洗用水、石英容器（石英坩埚、石英管）清洗用水、废气处理系统用水和职工生活用水等。1）废气处理系统废气处理系统采用氢氧化钠溶液吸收去除废气中的五氧化二磷气体，循环水用量为2m3/d，每两月更换一次，则新鲜水使用量12m3/a。2）石英容器（石英坩埚、石英管）清洗用水石英容器清洗过程一般冲洗四遍，首先局部采用王水（浓盐酸和浓硝酸按体积比3:1混合）清洗，第二遍采用自来水清洗，第三遍第四遍为纯水清洗。石英容器清洗流程示意图见图2.7-1。图2.7-1石英容器清洗流程示意图根据建设单位提供资料，项目石英容器年清洗700次，酸洗后自来水第一遍清洗每次自来水使用量2L，则自来水使用量为1.4m3/a（0.005m3/d）。第三遍第四遍为纯水清洗，纯水使用量2.5L，则纯水使用量3.5m3/a（0.012m3/d）。3）磷化铟清洗用水项目磷化铟清洗采用纯水，纯水使用量1.8m3/d。4）纯水制备用水根据本项目可研，项目纯水使用量为1.812m3/d，纯水制备效率为60%，则新鲜水使用量3.02m3/d。纯水系统采用多介质过滤器、活性炭过滤器作前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物等杂质，用反渗透装置去除水中大部分的可溶解性盐类物质、细菌、热源及硬度等。项目纯水制备工艺流程见图2.7-1。图2.7-1纯水制备工艺流程5）生活用水项目劳动定员40人，用水量参照《陕西省行业用水定额》（DB61/T943-2014）中相关规定，并结合项目实际情况确定每人用水量按70L/d计，年生产时间300天，则员工用水量为2.8m3/d、840m3/a。（2）排水系统1）纯水制备浓水本项目磷化铟清洗及石英容器清洗用水采用纯水，项目纯水使用量为1.812m3/d，纯水制备效率为60%，则新鲜水使用量3.02m3/d，纯水制备浓水为1.208m3/d，主要污染物为SS100mg/L，排入污水管网进入园区污水处理厂进一步处理。2）磷化铟清洗废水本项目磷化铟清洗采用纯水，纯水使用量1.8m3/d，废水量按80%计，则清洗废水产生量1.44m3/d。清洗废水进入经中和池中和后排入污水管网进入园区污水处理厂进一步处理。3）石英容器（石英坩埚、石英管）清洗废水石英容器酸洗后自来水第一遍清洗废水产生量按80%计，则废水产生量1.12m3/a（0.004m3/d），废水进入废液暂存桶，委托有资质单位进行处理。纯水清洗第一遍第二遍清洗废水产生量按用水量80%计，则废水产生量2.8m3/a（0.009m3/d），清洗废水经中和池中和后排入污水管网进入进入园区污水处理厂进一步处理。4）废气处理系统废水废气处理系统采用氢氧化钠水溶液吸收酸洗气体，氢氧化钠水溶液约两月更换一次，每次废水产生量约2.0m3/次，则年产生量约12m3/a，厂区内暂存，委托有资质单位进行处理。5）生活污水项目劳动定员40人，用水量参照《陕西省行业用水定额》（DB61/T943-2014）中相关规定，并结合项目实际情况确定每人用水量按70L/d计，年生产时间300天，则员工用水量为2.8m3/d、840m3/a。生活污水排污系数以0.80计，则生活污水产生量为2.24m3/d、672m3/a，生活污水进入化粪池，经园区污水管网进入园区污水处理厂进一步处理。项目给排水平衡表见表2.7-1，水平衡图见图2.7-1。表2.7-1项目给排水平衡表序号用水种类用水指标日用水量（m3/d）用水量（m3/a）废水量（m3/d）备注1纯水制备用水/3.029061.208纯水制备效率为60%2磷化铟清洗用水/1.8（纯水）540（纯水）1.44废水量按80%计3石英容器清洗用水/0.005（新鲜水）0.012（纯水）1.4（新鲜水）3.5（纯水）0.013废水量按80%计4废气处理循环水量2m30.04120.04每两月更换一次5生活用水70L/人2.88402.24排水量按用水量80%计合计（新鲜水）/5.8651759.44.941/图2.7-1水平衡图单位：m3/d（3）供电系统本项目供电系统由铜川市新区新材料产业园电网引入，预计本项目年用电量300万kW•h。（4）供暖、制冷本项目办公采暖、制冷均采用分体式空调。2.8依托公用工程铜川新材料产业园区污水处理厂位于园区东南角，纬九路东南终点，与玉皇阁大道交界的西南角，地理坐标为：东经108°54′44.59″、北纬34°49′55.33″处。园区污水处理厂占地面积3.12亩，一期工程处理规模为2000m3/d。采用“A2/O+混凝沉淀+反硝化滤池”的处理工艺后，出水达到《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）准Ⅳ类标准，全部回用，不外排。现污水处理厂及配套管网已建设完成投入运行。2.9总平面布置本项目租用铜川市新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼标准厂房5000平方米，共五层，每层约1000平方米。1楼主要布置磷化铟多晶炉及污水处理设备，2楼主要布置库房、磷化铟多晶炉及产品检验区，3楼主要布置生产会议室及产品库等，4楼主要为行政办公区，5楼主要为布置实验室及产品检验室。2.10劳动定员与生产制度本项目劳动定员40人，年工作300天，采用三班倒，每班8小时。3工程分析3.1施工期工艺流程分析3.1.1工艺流程分析本项目租用铜川市新区新材料产业园纬九路小微企业园7号楼，建设内容主要为厂房装修及设备安装。施工期工艺流程及产污环节见图3.1-1。图3.1-1施工期工艺流程及产污环节3.1.2污染影响因素分析施工期污染因素主要为厂房的装修及设备安装产生建筑废渣、建筑噪声、扬尘、施工人员的生活废水。（1）废水施工过程中产生的废水主要为施工人员排放的生活污水，施工人员生活用水量按每人每天40L计，污水产出系数0.8，施工人员高峰时按每日用工30人计算，则项目施工人员排放的生活污水0.96m3/d，污水水质和城市居民生活污水水质相似，主要污染物是COD、BOD5、氨氮、SS等，排入铜川市新区新材料产业园纬九路小微企业园污水管网经化粪池处理后进入铜川市新区新材料产业园处理厂。（2）噪声本项目主要进行室内装修及设备安装，施工期噪声主要是施工机械设备噪声。主要强噪声源如电钻、电锯等主要在房间内部使用，属于间断性噪声。各个施工阶段使用的主要机械设备噪声源强见表3.1-1。表3.1-1施工机械噪声源强单位：dB（A）施工阶段设备名称声级距声级距离（m）装修安装室内电锯85～1001电钻85～1001（3）废气本项目位于铜川市新区新材料产业园，附近区域生活设施完备，现场施工人员就餐等利用附近已有设施，不搭建厨房等，无油烟等废气产生。项目主体工程施工主要是室内装修、改造、设备安装，装饰装修的主体材料是胶合板、刨花板等人造板材，生产这些板材用到的粘合剂含有甲苯等有害物质，部分残留甲苯会逐渐释放；装饰装修过程中也会使用如油漆涂料及其添加剂和稀释剂、胶黏剂、防水剂、溶剂等化工原材料，都含有苯、甲苯、二甲苯、甲醛之类的有机化合物，装修时会挥发较快。释放的和挥发的有机物对大气环境有一定影响。另外，装修过程中对墙表面的处理，打磨砖、石材，使用零散水泥等均会有粉尘产生。（4）固废施工期的生活垃圾是由施工人员产生。拟建项目施工期产生的生活垃圾按每天30人计，每人每天产生生活垃圾0.5kg，则每天产生15kg。施工期产生的装修垃圾按1kg/m2估算，拟建项目总建筑面积为5000m2，则共产生装修垃圾5.0t。主要为碎砖、废沙石，水泥块、泥土、钢筋等建筑垃圾和施工人员生活垃圾等。评价要求：①本项目建筑垃圾和生活垃圾妥善分类收集，严禁将生活垃圾与建筑垃圾混装混运。②生活垃圾及时交由环卫部门清运，严禁随意丢弃影响环境；建筑垃圾应向城市市容环境卫生主管部门进行申报，收集堆放于指定地点，可回收的由相关单位回收，其余由建设单位统一清运。3.2运行期工艺流程分析本项目使用高纯铟及高纯红磷在多晶炉内发生化学反应（熔点为1070℃，离解压2.75MPa），生成符合化学配比的磷化铟多晶。项目年生产100批次，1批次100kg，每三天生产一批次，每批次同时运行10台炉子，每台炉子每次生产10kg磷化铟晶体。具体流程见图3.2-1。图3.2-1生产工艺流程及产污环节图具体工艺流程介绍如下：（1）原料封装首先将高纯铟表面覆盖氧化硼密封剂，装入石英坩埚，将高纯红磷装入石英管内，然后将装入高纯铟的石英坩埚放入石英管内，石英管顶部用氢氧焰封装焊接。（2）装炉将封装好的高纯红磷及高纯铟一起放入高压炉内，充入40-50atm高纯氩气作为保护气体，电加热至1200-1250℃，合成时间24h。（3）合成高纯红磷和高纯铟合成磷化铟。反应式如下：In+P=InP（4）结晶将磷化铟熔体拉制成晶体，引晶速率7-15mm/h，扩肩速度15-20mm/h，等径速率30-40mm/h，收尾速率50-60mm/h。（5）冷却多晶炉取出来的晶体约180℃，自然冷却至常温。（6）去除氧化硼在清洗柜内，用高纯水冲淋清洗晶体表面，去除氧化硼。3.3物料平衡项目年生产100批次，1批次100kg，每三天生产一批次，项目每批次物料平衡表见表3.3-1，项目总物料平衡表3.3-2。表3.3-1项目每批次物料平衡表输入输出项目数量（kg/批次）项目数量（kg/批次）高纯铟82.71磷化铟多晶100高纯红磷22.29次品4.577氧化硼1.0废气0.223进入废水、废液1.20合计106106表3.3-2项目总物料平衡表输入输出项目数量（kg/a）项目数量（kg/a）高纯铟8271磷化铟多晶10000高纯红磷2229次品457.71氧化硼100废气22.29进入废水、废液120合计10600106003.4污染源源强核算3.4.1运行期污染源（1）大气污染源1）磷化铟晶体拆装废气磷化铟晶体拆装时在2F东北侧产品整理车间清洗柜内进行，拆装时会产生少量的磷蒸汽，接触空气后自燃产生五氧化二磷（以颗粒物计）。根据本项目可研，此工段废气产生量约为投料量的1%，则以颗粒物产生量为22.29kg/a。项目废气经收集后通过“吸收塔（10%氢氧化钠溶液）+活性炭吸附器”处理后通过30m高排气筒排放。本项目清洗柜配套1.8×2.0m集气罩，清洗柜配套1台风机，风机风量3000m3/h，集气罩收集效率为90%，处理效率不低于95%，每天使用时间按4h计。则五氧化二磷（以颗粒物计）排放量为1.00kg/a，排放速率为0.0008kg/h，排放浓度为0.3mg/m3，可以达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2颗粒物有组织排放浓度限值。未被收集的粉尘为无组织排放，排放量为2.23kg/a，0.0018kg/h。2）石英容器（石英坩埚、石英管）清洗废气石英容器（石英坩埚、石英管）清洗时在2F东北侧产品整理车间清洗柜内进行，清洗时首先局部采用王水（浓盐酸和浓硝酸按体积比3:1混合）清洗，会产生少量的HcL、硝酸雾（以氮氧化物计）。石英容器（石英坩埚、石英管），挥发面积较小，挥发量按5%计，项目年使用盐酸约112.5L（质量分数为36%，密度约1.19g/cm3，使用量为133.85kg）、硝酸约37.5L（质量分数为69.2%，密度约为1.42g/cm3，使用量为53.25kg），则预计HCl、氮氧化物产生量分别约为2.409kg/a和1.842kg/a。本项目清洗柜配套1.8×2.0m集气罩，清洗柜配套1台风机，风机风量3000m3/h，集气罩收集效率为90%，处理效率不低于95%，每天使用时间按2h计。则HCl、氮氧化物排放量分别为0.108kg/a、0.082kg/a，排放速率为0.00018kg/h、0.00014kg/h，排放浓度为0.06mg/m3、0.05mg/m3，可以达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2HCl、氮氧化物有组织排放浓度限值。未被收集的HCl、氮氧化物为无组织排放，排放量为0.011kg/a、0.008kg/a，0.00002kg/h、0.00001kg/h。（2）水污染源1）清洗废水磷化铟清洗及石英容器（石英坩埚、石英管）清洗均在清洗柜内进行，石英容器酸洗后自来水第一遍清洗废水产生量按80%计，则废水产生量1.12m3/a（0.004m3/d），废水进入废液暂存桶，委托有资质单位进行处理。纯水清洗第一遍第二遍清洗废水产生量按用水量80%计，则废水产生量2.8m3/a（0.009m3/d），清洗废水经中和池中和后排入污水管网进入进入园区污水处理厂进一步处理。清洗废水产生排放情况见表3.4-1。表3.4-1主要污染物排放量预测项目pHCODSS清洗废水(434.7m3/a)进水水质（mg/L）5～7280200产生量（t/a）/0.1220.087（中和后）出水水质6～9280200排放量（t/a）/0.1220.087《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准5