中科潞安芯源文件改

投标致（中国远东国际招标根据贵方为（潞安深紫外LED项目第一批长周期设备采购）采187FE631LJO/216号）提交投标文件一份及副本4份。所附投标价格表中规定的应提交和交付的服务投标总价为（3,510,000为（59,670元。投标人已详细全部招标文件包括（编补遗书（如果有的话我们完全理解并同意放弃对这方面有不明及误解的权力。本投标有效期为自开标之日起120根据投标人须知第2条规定，我方承诺，与招标方聘请的为此目的提供 沈阳市浑南新区飞云路16号 电子函件投标人名称（盖章：沈阳芯源微电子设备法定代表人 代表签 日期投标保证金电汇凭法定代表人司）的在下面签字的（胡建强、销售经理）为本公司的合法人，就（潞本书于 特此。投标人名称（盖章：沈阳芯源微电子设备 人签字开标一览投标人名称：沈阳芯源微电子设备招标编号：0722-投标总价（元（元投标1含、培16%投标人名称（盖章：沈阳芯源微电子设备法定代表人或代表签字： 期 投标人名称：沈阳芯源微电子设备招标编号：0722-/1芯源微电子设备有1芯源微电子设备有3操作和维修工45678投标人名称（盖章法定代表人或代表签字 期 商务条款偏离投标人名称：沈阳芯源微电子设备招标编号：0722-12430%；完成最50%预付款；设备40%发货10%的验收2注1、商务偏离表主要针对招标文件投标资料表、投标人须知及合同条款填2、对招标文件有任何偏离应列明，并标明“其他无偏离：法定代表人或代表签字 期 技术要求偏离投标人名称：沈阳芯源微电子设备招标编号：0722-序号12MaxSpeed3投标人名称（盖章法定代表人或代表签字 期 近3年承担的类似项目业绩投标人名称：沈阳芯源微电子设备招标编号：0722-1半自动10002017年12江苏10002017年12310002017410002017520002018年26中电1320020167中电58（8/12寸6002016年68（liftoff10002017年693002016年123年所承担的类似项目业绩明细，并须附合同首页及签章页等投标人名称（盖章法定代表人或代表签字 期 同类产品销售业〉〉〉〉〉〉诺思（〉〉〉〉中电55/58〉〉山东58中标服务费承诺我们在贵公司的潞安深紫外LED项目第一批长周期设备采购项目采中国远东国际招标指定的银行帐号，按照招标文件第二章投标人须承诺方法定名称：沈阳芯源微电子设备承诺方法定代表人 代表签字 （承诺方盖章供应商介绍及设备技术说制造商名称：沈阳芯源微电子设备 电传/传真/： 成立和/或日期 月实收资本：6300万元工厂名称地 生产的项 年生产能 职工人设备16

200台（套 230招标同款机台销售数量（台年度总销售额（万元全自动匀胶机技术说一、设备概本星型匀胶机（KS-S（Ⅲ）/1003C）2/4″标准圆形基片匀胶工艺的设备。该设备主二、应用范三、产品工作描匀胶单匀胶单元基片采用真空吸附方式定位，主轴电机采用进流无刷伺服电机，保证旋转转身安全，防溅杯（罩）等均用一定强度的PP材料制成。光刻胶采用精密计量泵供应，精度热盘单0.1mm厚间隙，受热更均匀，先进PID温度控制，温度控制更稳定。冷盘单0.1mm厚间隙，制冷更均匀，先进PID温度控制，温度控制更稳定。采用电子制冷片温度控制，温度可控制软/硬行情况；工艺参数数字化检测控制，分等级、严重紧急情况、超限；自由编制、修改、编辑、、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查；操作简便，故障提四、基本KS-S（Ⅲ）100-3C星型匀胶机基本配置及技术机器框架平基片规圆基片：2/4材质：蓝宝石盒站部盒站单元：2/4盒站数量：2片盒检测：反射式传感器传片单晶片传送方式：机器人自动传送机器人：双臂、真空吸附晶片机器人转轴：4行程范围：Z-T-最大速度：Z-T-重复定位精度：±0.1mm手指材质：陶瓷晶圆检测：数字真空传感器匀胶单最大转速：6000最小调整量：转速精度：±1rpm(50rpm～5000最大加速度：吸盘接触模式：吸盘真空检测：数显真空压力传感器喷嘴口径：4mm喷嘴数量：2喷嘴保湿：有光刻胶供应方式：高精度气动计量泵出胶精度：±0.1ml（0.8ml～3ml）光刻胶系背面去边：CUP功能 电机漏液防护功能 收集杯材质 0.3um,class热盘单热盘数量：6温度范围：50℃～180℃最小调整量：0.1℃温度均匀性：50℃—130.1℃—温控方式：PID：温度双段热盘表面材料：铝制硬质阳极化接触间隙：0.1mm支柱材质：冷盘单冷盘数量：2温度范围：18℃～28℃最小调整量：0.1℃温度均匀性：18℃～28℃±0.2℃温控方式：PID算法：温度双段冷盘表面材料：铝制硬质阳极化接触间隙：0.1mm支柱材质：化学品供容积：供应方式：高精度气动计量泵胶瓶盖：快插接头方式

光刻胶过滤：有排泡装置：有种类：1液罐：110供应方式：N2加注方式：手动背洗液检测：光电液位检测（ORMON）背洗液过滤装置：有排泡装置：系统控控制系统：工控机显示系统：15操作系统：Windows控制界面：图形化人机界面通信方式：以太网信号塔类型：3厂务系CDA（干燥 气

压力：≥0.5Mpa≥120L/min数量：1套3/8″VAC（真空系统压力：≤-85KPa≥30L/min数量：2套3/8″N2（工艺氮气

压力：≥0.4Mpa流量：≥30L/min数量：2套连接方式：3/8″PCW（冷却循环水系统压力差：流量： 1 Exh.（排气 1套、 1套、 1套、3m3/min Φ100mm管Drain（废液排放废胶排放：1连接方式：1连接位置 电源 外形尺寸及重外形尺寸：L=1510；W=1610；H=1900五、主操作界面（供参考

设备重量：六、设备布置图（供参考七、设备外形尺寸图（供参考八、设备外观图（供参考全自动显影机技术说一、设备概二、应用范三、产品工作描显影单PP热盘单0.1mm厚间隙，受热更均匀，先进PID温度控制，温度控制更稳定。冷盘单0.1mm厚间隙，制冷更均匀，先进PID温度控制，温度控制更稳定。采用电子制冷片温度控制，温度可控制软/硬行情况；工艺参数数字化检测控制，分等级、严重紧急情况、超限；自由编制、修改、编辑、、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查；操作简便，故障提四、基本配置及技术参KS-S（Ⅲ）100-4D星型匀胶显影机基本配置及技术参机器框架基片规圆基片：2/4材质：蓝宝石盒站部盒站单元：2/4盒站数量：2片盒检测：反射式传感器传片单晶片传送方式：机器人自动传送机器人：双臂、真空吸附晶片机器人转轴：4（R1，R2，Z，T）行程范围：Z-450mmT-最大速度：Z-重复定位精度：±0.1mm晶圆检测：数字真空传感器显影单最大转速：6000最小调整量：转速精度：±1rpm/min(50rpm～5000最大加速度：吸盘接触模式：吸盘真空检测：数显真空压力传感器喷嘴口径：喷嘴数量：2（1，1）供液类型：氮气压力罐背洗功能 显影液保温功能 电机漏液防护功能 收集杯材质 0.3um,class热盘单热盘数量：6温度范围：最小调整量：温度均匀性：50℃—130.1℃—温控方式：PID：温度双段热盘表面材料：铝制硬质阳极化接触间隙：0.1mm支柱材质：冷盘单冷盘数量：2温度范围：18℃～28℃最小调整量：0.1℃温度均匀性：18℃～28℃±0.2℃温控方式：PID算法：温度双段冷盘表面材料：铝制硬质阳极化接触间隙：0.1mm支柱材质：显影液供应系种类：1定影液系统控控制系统：工控机显示系统：15操作系统：Windows控制界面：图形化人机界面通信方式：以太网信号塔类型：3数据输入输出:厂务系CDA（干燥洁气压力：≥0.5Mpa≥120L/min数量：1套3/8″VAC（真空系统压力：≤-85KPa≥30L/min数量：2套3/8″N2（工艺氮气

压力：≥0.4Mpa流量：≥30L/min数量：1套连接方式：3/8″DIW（去离子水压力差：流量： 1 PCW（冷却循环水系统压力差：流量： 1 Exh.（排气 2套、 1套、 1套、3m3/min Φ100mm管Drain（废液排放连接方式：1″卡套接头连接位置 电源 外形尺寸及重外形尺寸：L=1510；W=1610；H=1900(mm)；设备重量：1100Kg；五、主操作界面（供参考六、设备布置图（供参考七、设备外形尺寸图（供参考八、设备外观图（供参考

分（报价及付款方式星型全自动匀胶36HP2CP21效机器人（2手KS-S（Ⅲ）100-1星型全自动显影46HP2CP1高效机器人（2指KS-S（Ⅲ）100-1注：报价包含所有附件费用、费、费、安装调试费、培训费、保修费及%。订金签订合同后7日内付合同额的50%（接受电汇&银行承兑汇票发货款发货前10日内付合同额的40%（接受电汇&银行承兑汇票验收款验收后30天内付款合同额的10%（接受电汇&银行承兑汇票接收到预付款后135质量保证措施及方1、沈阳芯源保证所供设备为合格、稳定的新设备,并可提供免费升级软件。2、设备质量保证期：质量保证期为设备验收通过之日起12个月内。34、沈阳芯源负责买方人员的现场培训（包括操作、日常保养、、设备各并提供设备维修、保养点检表。5在质量保证期内货物质量问题属于沈阳芯源责任的需方要求供方按①对有质量问题的货物进行维修、②更换有质量问题的货物部件、③更换有质量问题的货物等三种方案中的任意案解决货物的质量问题。沈阳芯源在接到需方或需方货物使用单位后1小时内向需方回复，并提出该质量问题的初步解决方案，在24小时内委派原厂专业人员到达需方货物使用单位