洁净室知识培训资料

洁净室知识(zhīshi)培训第一页，共47页。洁净(jiéjìng)间基础知识…………25洁净(jiéjìng)室及洁净(jiéjìng)区洁净(jiéjìng)度等级……………26洁净室管理四大(sìdà)原则……29洁净室(CleanRoom)内的注意事项……54目录洁净室的用途……………1第二页，共47页。洁净室的用途(yòngtú)第三页，共47页。洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力(yālì)等按要求进行控制。——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造(zhìzào)的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造(zhìzào)集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景(bèijǐng)什么是洁净室？第四页，共47页。1,00010,000外大气层大气层田园地带街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带微尘粒子数(PC/ft3)≥0.5μm各种(ɡèzhǒnɡ)条件下微尘状况第五页，共47页。尘埃粒直径(zhíjìng)（单位：μm）0.00010.0010.010.11.010100100010000香烟的烟颜料烟硅砂花粉植物孢子水泥人的头发重工业发出的粒子病毒细菌化学物质0.5μm尘埃(chénāi)粒子直径的示意图第六页，共47页。25357825空气中漏入原料中带入设备运转产生生产过程产生人员因素造成——摘自GB50073-2001《洁净(jiéjìng)厂房设计规范》灰尘又是如何(rúhé)产生的呢？第七页，共47页。荧光灯全部(quánbù)消失的场合。一般事务(shìwù)室里拍摄的例子第八页，共47页。左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子(yàngzi)。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子(yàngzi)。走路(zǒulù)时候发尘样子对比第九页，共47页。左边(zuǒbian)是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。拍击工作服时产生的尘埃粒子(lìzǐ)对比第十页，共47页。作业人员通过后，尘埃附着在玻璃(bōlí)上的样子。洁净室内(shìnèi)的事例第十一页，共47页。使用ParticleEyeDCF统计浮游粒子(lìzǐ)数量。浮游(fúyóu)粒子第十二页，共47页。左边(zuǒbian)是普通纸，右边是无尘纸。纸张(zhǐzhāng)的发尘对比第十三页，共47页。左边是纸芯胶带(jiāodài)的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。胶带和手套(shǒutào)的发尘例子第十四页，共47页。左边是电钻(diànzuàn)发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。电动工具的发尘例子(lìzi)第十五页，共47页。吸尘器各地方(dìfāng)排气泄漏的样子。吸尘器排气的例子(lìzi)第十六页，共47页。打喷嚏时瞬间(shùnjiān)发生的飞沫。打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫(fēimò)的样子第十七页，共47页。从胳膊发汗(fāhàn)条件创造。发汗(fāhàn)现象第十八页，共47页。香烟烟雾(yānwù)的粒子。吸烟(xīyān)的例子第十九页，共47页。

静坐(jìngzuò)时产生的尘粒数约10,000轻微运动时产生的尘粒数约100,000剧烈运动时产生的尘粒数约10,000,000运动时产生(chǎnshēng)的尘埃粒子数量第二十页，共47页。0.5μm1μmPre-filterBag-filter95%90~95%99.99%HEPAfilterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.3μm0.1μm工作区域密封条外框过滤器介质波浪型隔离体褶皱状滤纸外框热溶胶热溶胶（多处加工）外框滤纸HEPAFilter高效过滤器——HighEfficiencyParticulateAirFilterULPAFilter高效过滤器——UltraLowPenetration

AirFilter灰尘(huīchén)是如何去除的呢？第二十一页，共47页。灰尘(huīchén)是如何去除的呢？洁净室的空气净化新风正压ReliefDamper第二十二页，共47页。手持简易型激光(jīguāng)粒子计数器测量空气(kōngqì)中微粒的数量限于体量和重量，手持式激光(jīguāng)粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国MetOne公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。第二十三页，共47页。高效(ɡāoxiào)过滤器高效(ɡāoxiào)过滤器捡漏卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回(láihuí)往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。第二十四页，共47页。风量(fēngliàng)罩测量(cèliáng)送风风速风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成.

风量罩体主要用于采集(cǎijí)风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上.在风速均匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据.操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录,以便对数据进行分析.测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用.

风罩的测量技术要求项目技术要求测量限值/范围流量50–3500m3/hra误差读数的

5%反应时间90%满标度时不到10s校准间隔最多12个月注：a—测量限值和分辩率取决于所用风罩的尺寸。第二十五页，共47页。压差(yāchà)测定仪表压差(yāchà)检测普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa，

某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10～-30Pa。

根据国家标准GB19489-2004“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气压污染区为-40Pa，

根据国家标准GB50346-2004“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。

在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便(yǐbiàn)随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便(yǐbiàn)超过规定压差时输出报警信号。第二十六页，共47页。温湿度计测量(cèliáng)温湿度电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中广泛使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。

它们都是利用了在不同(bùtónɡ)湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。

氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。电容式传感器电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。第二十七页，共47页。照明(zhàomíng)泪滴型照明灯具嵌入式照明灯具第二十八页，共47页。照度计照度(zhàodù)测试照度测试宜采用便携式数字(shùzì)照度计。洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。第二十九页，共47页。静电(jìngdiàn)检测仪测量(cèliáng)静电该类测试(cèshì)仪表不直接与带电体接触，而是运用静电感应的原理，间接测试(cèshì)带电体的静电电位。由于这种测试(cèshì)不是直接同带电体相接触，因此也称非接触式测量。静电感应原理：是将测试探头靠近带电体，利用探头与被测带电体之间产生的畸变电场测试带电体的表面电位。人体静电检测仪静电检测仪静电检测仪第三十页，共47页。静电(jìngdiàn)控制Man(人)手腕带，ESD鞋，ESD椅子(yǐzi),衣服…Machine(机)接地，控制(kòngzhì)静电电流消除/屏蔽电磁干扰和交流电场Material(材料)使用导体材料尽量使用静电消耗材料使用ESD地板，ESD桌垫不用或尽量少用绝缘材料Method(方法)预防（创建ESD安全的环境）保护（保护对ESD敏感的产品或零部件，避免金属小电阻接触）屏蔽（对非ESD安全的物品进行法拉第或距离屏蔽）消除（通过接地，离子化消除产生的静电）Environment(环境)温度/湿度控制局部使用离子风机员工ESD培训管理ESD控制=Man(人)+Machine(机)+Material(料)+Method(法)+Environment(环)第三十一页，共47页。风淋室（Airshower）

风淋室(AirShower)设于无尘室入口处，具有以下功能：人员管制AIRLOCK气锁功能，防止交叉污染(wūrǎn)风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。注：正确使用风淋室，能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示进行操作，够去除(qùchú)95%的1μ以上的灰尘。第三十二页，共47页。传递(chuándì)箱(PASSBOX)置于洁净室隔间(ɡéjiān)墙上之装置功能：做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入进出口具有不可同时开启的联锁控制，以达到防止交叉污染第三十三页，共47页。空气洁净度等级大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pcs/m³)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um110221002410431000237102358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000国家标准(ɡuójiābiāozhǔn)GB50073-2001洁净(jiéjìng)室及洁净(jiéjìng)区洁净(jiéjìng)度等级第三十四页，共47页。洁净室的管理(guǎnlǐ)4大原则不让灰尘产生过滤器本身及外框无漏风洁净室需保持一定的正压作业人员需穿洁净服并经风淋带入的工具、材料等必须擦洗干净不将灰尘带入迅速排除灰尘不让灰尘堆积清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围尽量减少风管、配管暴露于洁净室内实施标准化的清扫作业正确穿着洁净服不使用容易发尘的物品及材料减少不必要的人员走动不用的物品严禁带入增大换气次数设备发尘部位应有排气室内的气流形式应使得灰尘难以在产品上附着第三十五页，共47页。不将灰尘(huīchén)带入过滤器本身(běnshēn)及外框无漏风过滤器本身(běnshēn)及外框无漏风穿洁净服经过风淋室带入的工具、材料等必须擦洗干净第三十六页，共47页。防止作业(zuòyè)服和皮肤的发尘不让(bùrànɡ)灰尘产生正确(zhèngquè)穿着洁净服打卡进洁净室脱鞋并存放柜子里从消毒鞋柜里取长筒靴穿连体洁净服戴无尘帽戴口罩穿长筒靴戴手套确认着装状态取出洁净服、口罩防止头发和肤屑的掉落防止口中散发细菌防止作业服的下摆发尘普通作业服放进更衣柜着装完毕防止静电和肤屑产生确认作业服是否整洁，有无尘物，头发是否外漏，口罩穿戴是否正确等第三十七页，共47页。不让(bùrànɡ)灰尘产生正确(zhèngquè)使用风淋室之进入洁净室去除鞋底灰尘和异物风淋动作结束后走出风淋室消除胳膊异物，转一圈(风淋15秒/次)进入风淋室2名以上(yǐshàng)不能同时入风淋室禁止触碰感应器，躲避风淋禁止掰动风淋口禁止推玻璃，开风淋室门使用风淋室注意事项第三十八页，共47页。不让灰尘(huīchén)产生正确(zhèngquè)使用风淋室之走出洁净室流程等待(děngdài)风淋室门自动关闭走出风淋室进入风淋室第三十九页，共47页。照相机手机木栈板+纸箱食品个人物品香烟+打火机化妆品保丽龙物品白板笔+白板擦未清洁物品及工具洁净室禁止携带物品(wùpǐn)举例*洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、食品、个人物品、不使用物品、未清洁(qīngjié)物品及工具等第四十页，共47页。无尘打印纸防静电圆珠笔美工刀防静电椅温湿度计手持式粉尘检测仪防静电手套静电防尘口罩耐高温胶带除静电绳洁净室专用物品(wùpǐn)举例*洁净室必须使用(shǐyòng)专用物品第四十一页，共47页。以Ａ⇒Ｂ⇒Ｃ⇒Ｄ⇒Ｅ的顺序、从上往下进行清扫。清扫区域要点图不让灰尘(huīchén)堆积-洁净室(CleanRoom)的清扫A：楼承板及天花板上梁清扫：用无尘布清理灰尘(huīchén)用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓手够不到的地方用拖把用纯水擦拭一次以上。要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗，在梁上不要残留下痕迹B：楼承板及天花板上设备机器清扫保护膜全部撕掉、用无尘布清理掉积尘用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗在配管等上面不要残留下痕迹C：楼承板及天花板清扫收拾垃圾、用拖把拖⇒楼承板及天花板上用纯水擦拭将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗在天花板上面不要残留下痕迹D：楼承板及天花板下设备机器清扫保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫E：地板清扫操作顺序是先撕掉保护膜⇒收拾垃圾・用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁⇒用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂对应)⇒干燥柱子・阀门用水擦拭、墙壁的铝蜂巢板用擦拭的方法进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫(柱子的话事前能够清扫的地方进行清扫注意务必将作业区域跟清扫区域区分开来第四十二页，共47页。清洁(qīngjié)设备清洁(qīngjié)棚顶设施清洁(qīngjié)墙壁清洁地面④③②①不让灰尘堆积-洁净室(CleanRoom)清扫事例①从上往下清洁②从里往外清洁③朝一个方向清洁第四十三页，共47页。