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  • 正在执行有效
  • 2014-10-14 颁布
  • 2015-04-01 实施
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文档简介

ICS77040

H17.

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T983—2014

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的

测定方法

Testmethodformeasuringcompositionofpolysilicon

depositionreactorandTCStoSTCconverterventgas

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的

测定方法

YS/T983—2014

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

书号

:155066·2-28287

版权专有侵权必究

YS/T983—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准负责起草单位四川新光硅业科技有限责任公司

:。

本标准参加起草单位天威四川硅业有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司峨嵋半

:、、

导体材料研究所陕西天宏硅材料有限责任公司洛阳中硅高科技有限公司

、、。

本标准主要起草人敖细平王波梁洪刘畅张华端古行乾王阿丽

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T983—2014

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的

测定方法

1范围

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

。

本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分氢气氯化氢三氯氢硅二氯二氢硅和

(、、、

四氯化硅的测定检测范围为体积分数

)。0.1%~100%。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

纯氢高纯氢和超纯氢

GB/T7445、

纯氮高纯氮和超纯氮

GB/T8979、

3方法提要

根据尾气中各个组分的沸点极性及吸附性的差异利用气相色谱将各个组分从色谱柱中分离采

、,,

用热导检测器检测其含量

(TCD)。

4干扰因素

41样品温度应不低于否则样品中部分氯硅烷组分会出现冷凝使分析结果失去代表性

.50℃,,。

42尾气压力应保持在合适的范围太大不易操作且不安全太小容易导致样品无法采集至取样容

.,,

器内

。

43取样容器应保持密闭性否则样品泄漏会影响分析结果的准确性

.,,。

5试剂和材料

除非另有说明分析时均使用符合国家标准的试剂或材料

,。

51高纯氢气应符合的规定

.,GB/T7445。

52高纯氮气应符合的规定

.,GB/T8979。

6仪器和设备

61气相色谱仪具备热导检测器

.:。

62进样器气密玻璃注射器

.:1mL。

63采样容器容积约

.:250mL。

64色谱柱长内径内填充

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