YS/T 34.1-2011高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

ICS7704030

H17..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T341—2011

代替.

YS/T34.1~34.2—1992

高纯砷化学分析方法电感耦合等离子

体质谱法ICP-MS测定

()

高纯砷中杂质含量

Methodforchemicalanalysisofthehigh-purityarsenic—

InductivecoulinlasmamasssectrumICP-MSfordeterminatinthe

pgpp()g

concentrationofelementsinthehigh-purityarsenic

2011-12-20发布2012-07-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T341—2011

.

前言

高纯砷化学分析方法包括个部分

YS/T34《》3:

第部分高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法测定高纯砷中杂质

———1:(ICP-MS)

含量

;

第部分高纯砷化学分析方法极谱法测定硒量

———2:;

第部分高纯砷化学分析方法极谱法测定硫量

———3:。

本部分是的第部分

YS/T341。

本部分代替高纯砷化学分析方法孔雀绿分光光度法测定锑量和

YS/T34.1—1992《》YS/T34.2—

高纯砷化学分析方法化学光谱法测钴锌银铜钙铝镍铬铅镁铁量

1992《、、、、、、、、、、》。

本部分与标准相比主要有如下变动

YS/T34.1~34.2—1992,:

采用电感耦合等离子质谱法测定高纯砷中镁铬镍铜锌银铅铋钠钾铝钙铁锑等

———、、、、、、、、、、、、、

个杂质的含量

14。

按照标准化工作导则第部分标准的结构和编写的规定编写

———GB/T1.1—2009《1:》。

本部分由全国有色金属标准化技术委员会归口

。

本部分负责起草单位峨嵋半导体材料厂峨眉山嘉美高纯材料有限公司

:、。

本部分主要起草人程高明邹同贵文英唐云博廖敏

:、、、、。

本部分所代替标准的历次版本发布情况为

:

———YS/T34.1~34.2—1992。

Ⅰ

YS/T341—2011

.

高纯砷化学分析方法电感耦合等离子

体质谱法ICP-MS测定

()

高纯砷中杂质含量

1范围

的本部分规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法采用电感耦合等离子质谱法测定砷

YS/T34,

中镁铬镍铜锌银锑铅铋钠钾铝钙铁等个杂质含量

、、、、、、、、、、、、、14。

本部分适用于高纯砷中金属杂质含量的测定测定范围为-7

99.999%~99.99999%。1×10%~

-7

1000×10%。

2方法提要

在的条件下试料与氯化氢氯混合气体反应生成三氯化砷及杂质元素氯化物低

120℃~130℃,-,,

沸点的三氯化砷挥发后随气体流出用硝酸溶解留下来的杂质氯化物推荐使用铍铟铀作内标常规

,。、、,

等离子体质谱法测定镁铬镍铜锌银锑铅铋用冷等离子体质谱法测定钠钾铝钙铁

、、、、、、、、,、、、、。

3试剂

31试剂

.

311盐酸ρ或亚沸蒸馏后使用

..(1.19):RM-BBV-Ⅲ,。

312硝酸ρ或亚沸蒸馏后使用

..(1.42):RM-BBV-Ⅲ,。

313硫酸ρ优级纯

..(1.84):。

314过氧化氢分析纯

..(30%):。

315去离子水电阻率

..:≥18MΩ·cm。

316氩

..≥99.99%。

32标准溶液

.

321元素贮备标准溶液

..

所用标准贮备液为国家标准铀的浓度为其余元素均为

。500μg/mL,1000μg/mL。

322内标溶液

..

号内标溶液每毫升含铍铟铀移取铍标准溶液铟标

1(500ng、500ng、500ng):0.5mL、0.5mL

准溶液铀标准溶液置于聚丙烯容量瓶中加入硝酸定容混匀

、1.0mL,1L,20mL,,。

号内标溶液每毫升含铍铟铀