防静电知识讲座83789课件

防静电知识讲座人类对静电的认识静电学是电学中最古老的学科据有资料记载,古希腊哲学家塔勒斯(Thales)公元前640-546年在研究天然磁石的磁性时发现用丝绸、法兰绒摩擦琥珀（Amber）之后也有类似于磁石能吸引轻小物体的性质。电这个词起源于希腊语（琥珀）高科技工业生产中静电危害的形成高工业生产的高速发展以及高分子材料的迅速推广应用，一些电阻率很高的高分子材料如塑料，橡胶等的制品的广泛应用以及现代生产过程的高速化，使得静电能积累到很高的程度，另一方面，静电敏感材料的生产和使用，如轻质油品，火药，固态电子器件等，工矿企业部门受静电的危害也越来越突出，静电危害造成了相当严重的后果和损失。静电放电防护意义1、减少损失（例如：美国一年的损失达200多亿美金，仅电子工业的损失超过100多亿美金）2、提高产品质量和可靠性3、提高生产效率4、静电防护回报达1：95以上静电放电的培训人员领导管理人设计工程师现场工程师维护、修理技术人员仓储人员质量控制和检测人员静电起电定义静电起电包括使正、负电荷发生分离的一切过程，如通过固体与固体表面、固体与液体表面之间的接触、摩擦、碰撞，固体或液体表面的破裂等机械作用产生的正、负电荷分离。也包括气体的离子化、喷射带电以及在粉尘、雪花和暴风雨中的带电现象。金属与金属的接触起电两种不同的金属I和II相接触时，当它们之间的距离小于25×10-10m时，由于量子力学的隧道效应，两种金属内的电子穿过界面而互相交换。由于两金属的功函数不同，对电子的吸引力不同，当达到平衡时，一种金属失去电子带正电，另一种金属得到电子带负电，界面两侧出现了等量异号电荷（偶电层），两金属之间产生了一定的电位差（接触电势差）。摩擦起电的实质接触分离起电任何不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电

1.3静电带电序列

（美国ESD协会）

（+）兔毛玻璃云母人发尼龙羊毛毛皮铅丝铝棉花钢木材琥珀封腊硬橡胶铜、镍银、黄铜金、白金硫磺醋酸酯纤维聚酯赛璐珞硅聚四氟乙烯感应静电起电

物体不接触也能起电当带电物体A接近不带电物体C时在导体C的a端和b端分别感应出负电和正电

ACB静电感应引起放电

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图1其他起电方式热电起电压电起电断裂起电电解带电亥姆霍兹层喷射起电等

器件所能承受的静电电压

器件类型静电破坏电压(V)VMOS30~1800OP-AMP190~2500几十伏到几百伏几千伏到几万伏器件人体静电电压生产场所中的静电危害源物体或工艺加工材料或活动人站起行走操作工作服椅子组装、清洗、测试和维修区静电放电造成火箭飞行失败统计表

序号火箭名称飞行试验代号发射时间高度/KM真空度/mmHg故障简况及原因1民兵IFTM-50219627.6316静电放电造成制导计算机故障,I级发动机关闭前自毁,发射失败2民兵IFTM-503196221.839.6静电放电造成制导计算机故障,I级发动机关闭前自毁,发射失败3欧罗尼IIF-II1971277.94静电放电使制导计算机阻塞,姿态失控,约一分钟后,火箭I、II级过载自毁发射失败4侦察兵S-112196438-423.09-1.86电爆管桥丝和壳体之间因电弧击穿，II级发动机自毁系统爆炸，发射失败5侦察兵5128196438-423.09-1.86电爆管桥丝和壳体之间因电弧击穿，II级发动机自毁系统爆炸，发射失败6大力神IIICC-101967268.94静电放电使制导计算机故障后自动转移到应急后备状态7大力神IIICC-1419671752静电放电使制导计算机故障后，经地面发射指令，修正到预定轨道8德尔安23131974制导系统控制器件故障，火箭翻滚，发射失败电子工业中静电问题的产生

静电是时时刻刻到处存在的，但是在二十世纪40－50年代很少有静电问题，因为那时是晶体三极管和二极管，而所产生静电也不如现在普遍存在。在60年代，随着对静电非常敏感的ＭＯＳ器件的出现，静电问题也出现了，到70年代静电问题越来越来严重。80－90年代，随着集成电路的密度越来越大，一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄(微米－纳米），其承

受的静电电压越来越低，另一方面，产生和积累静电的材料如塑料，橡胶等大量使用，使得静电越来越普遍存在，仅美国电子工业每年因静电造成的损失达几百亿美圆，因此静电防护已成为电子工业的隐形杀手。是电子工业普遍存在的＂硬病毒＂，在某个时刻内外因条件具备时就要发作。电子工业中静电问题的产生静电的基本物理特性为：吸引或排斥，与大地有电位差，会产生放电电流。这三种特性能对电子元件的三种影响：1．静电吸附灰尘，降低元件绝缘电阻（缩短寿命）。2．静电放电破坏，使元件受损不能工作(完全破坏)。3．静电放电电场或电流产生的热，使元件受伤（潜在损伤）。4．静电放电产生的电磁场幅度很大（达几百伏/米）频谱极宽（从几十兆到几千兆），对电子产器造成干扰甚至损坏（电磁干扰)。

如果元件全部破坏，必能在生产及品管中被察觉而排除，影响较小，如果元件轻微受损，在正常测试下不易发现，在这种情形下，常会因经过多层之加工，甚至已在使用时，才发现破坏，不但检查不易，而且其损失亦难以预测。要耗费多少人力及财力才能清查出所有问题，而且如果在使用时才察觉故障，其损失将可能巨大。静电对电子产品损害静电对电子产品损害

的四个特点隐蔽性：人体感知的静电放电电压2-3KV潜在性：操作后性能没有明显的下降随机性：从一个元件产生以后，一直到它损坏以前的所有过程复杂性：分析困难，掩盖了失效和真正原因

静电对电子产品损害的特点3.随机性电子元件甚么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说，从一个元件产生以后，一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机动性性。其损坏也具有随机动性性。4.复杂性

静电放电损伤的失效分析工作，因电子产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费钱，要求较高的技术并往往需要使用扫描电镜等高精密仪器。即使如此，有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别，使人误把静电损伤失效当作其他失效。这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以静电对电子器件损伤的分析具有复杂性。静电放电造成微电子电路

损伤的模式金属布线与扩散区（或多晶）接触孔产生火花，使金属和硅的欧姆接触被破坏。使局部的硅熔解，产生再结晶，造成器件短路。金属化电极和布线熔解、“球化”，造成电路开路。大电流流过PN结产生焦耳热，使结温升高，形成“热斑”或“热奔”，导致器件损坏。

静电放电引发的瞬时大电流（静电火花）引燃引爆易燃、易爆气体混合物或电火工品，造成意外燃烧、爆炸事故。静电放电使人体遭受电击引发操作失误造成二次事故、静电场的库仑力作用使纺织、印刷、塑料包装等自动化生产线受阻。第三类静电危害是由于静电放电的电磁辐射或静电放电电磁脉冲（ESDEMP）对电子设备造成的电磁干扰引发的各种事故。

静电放电造成微电子电路

损伤的模式机理分析一般说来，静电放电都是在微秒或钠秒量级完成的，因此这一过程是一种绝热过程，放电瞬间通过回路的大电流，形成局部的高温热源。对微电子器件而言，其静电放电能量通过器件集中释放，其平均功率可达几千瓦，热量很难从功率耗散面向外扩散，因而在器件内形成大的温度梯度，造成局部热损伤，电路性能变坏或失效。

静电放电造成

微电子电路损伤的模式静电放电强电场效应强电场导致MOS声效应器件的栅氧化层被击穿，使器件失效。强电声导致微电子电路绝缘介质击穿，或使器件性能下降。强电场使集成电路和精密的电子组件老化，降低设备寿命。

电子工业哪些过程会

产生静电危害元件从生产到使用的整体过程中都会产生静电，依各阶段的可分为：1.元件制造过程在这个过程，包含制造，切割、接线、检验到交货。2.印刷电路版生产过程收货、验收、储存、插入、焊接、品管、包装到出货。3.设备制造过程电路板验收、储存、装配、品管、出货。4.设备使用过程收货、安装、试验、使用及保养。为什么要提升静电防护意识在本世纪70前代以前，很多静电问题都是由于人们没有静电意识而造成的，即使现在也有很多人怀疑静电会对电子产品造成损坏。这是因为大多数静电损害发生在人的感觉以下,因为人体对静电放电的感知电压约为3ＫＶ，而许多电子元件在几百伏甚至几十伏时就会损坏，通常电子器件被静电损坏后没有明显的界限，把元件安装在PCB上以后再检测，结果出现很多问题，分析也相当困难。特别是潜在损坏，即使用精密仪器也很难测量出其性能有明显的变化，所以很都电子工程师和设计人员都怀疑静电，近年但实验证实，这种潜在损坏在一定时间以后，电子产品的可靠性明显下降静电是即古老又年轻的学科任何物质接触分离后都会产生静电静电的产生与材料、接触分离的速度、湿度等因素有关工业生产中静电危害的特点主要有：隐蔽性、潜在性、随机性、复杂性静电也可以利用。

高科技工业中静电

控制原理在操作等过程中控制静电，使其不能达到危害的程度（所有工作人员）提高元器件、组件（线路板）及整机的搞静电能力（设计人员）

人体静电放电控制原理人体是最普遍存在的静电危害源对于静电来说，人体是导体。对人体采取接地的措施可以控制人体静电。

静电放电控制原理—接地在大多数情况下，第三条导线（保护接地）交流设备接地是接地的最优先选择。当第三条交流设备接地导线不能用到或不适用时，工作人员应该通过腕带或其它接地系统与静电放电敏感物件的一个导电性组件相连接，以保证所有组件处在同样电位。

静电放电控制原理—接地静电导体——接地人员接地（腕带（0.8~1.2）×106Ω

；鞋对地电阻<109Ω

设备和工具接地：<1.0Ω环境：地面、货架、活动设备对地电阻<1×109Ω

防静电鞋与腕带使用中

人体安全问题

仅从防静电的角度考虑时，人体总的对地电阻越小越好，但最小值受到安全方面的限制，人体必须具有一定值的对地电阻，以便万一发生金属设备或装置与工频电源短接的情况下该电阻能够限制流过操作的人体上的电流。最小值不应小于105Ω，通常腕带的限流电阻在1ＭΩ，防静电鞋的最小电阻应不应小于105Ω，最大不超过109Ω使静电从脚导到大地使用防静电地面（防静电地垫、地毯等）防静电鞋防静电袜防静电鞋垫注意：鞋、地面、袜、鞋垫等必须全是防静电的，才能保证静电从脚导向大地无防静电地面或防静电地垫，单独使用防静电鞋、防静电服防静电作用不大，因为静电不能泄放到大地。

使静电从脚导到大地佩戴防静电腕带并接地用手触摸接地金属体如球能暂时释放人体静电，但手离开接地金属体后又会产生静电腕带对地电阻<(0.8~1.2)×106Ω无线腕带不能起到好的防静电作用

防静电腕带的使用问题使用腕带操作时不允许断开，否则会失去接地作用。夹在衣服等不导静电物体上的接地装置，不能释放人体静电

防静电鞋与腕带的使用中要注意哪些问题

使用腕带操作时不允许断开，否则会失去接地作用。各种腕带使用的主要问题是开路，有时是临时性的，有时是长时间断开，使失去接地作用。有的人因此使用腕带检测器测量其通断状态，有的用监测仪器测量腕带的开路及电阻变大。腕带扣得不紧造成人体皮肤与腕带的接触电阻变大有些腕带的电阻就是带子本身的，当带触及地时使其电阻大大减小，有可能因此造成对人体电击的危险。防静电鞋与腕带的使用中要注意哪些问题?

防静电鞋在穿用时应有防静电袜/鞋垫，并在防静电地面上工作才能使人体所带的静电导到大地，任何一部分电阻过大或断开都会使人体带上危害的静电。所以在重要的部门应有人体电阻测试仪随时检测人体所穿的鞋/袜/鞋垫及与人体的总电阻是否能起到泄漏静电的要求。腕带应用专门的带插座的接地线与地连结，不能夹在桌面或桌边的金属体上，因为这些金属体对地的电阻可能很大。要经常检查腕带的电阻.防静电包装袋/容器材料由基材、全属镀膜层和热封层多层复合而成，通常是半透明防静电和电磁屏蔽双重功能的包装袋，通常是不透明。价格较高

服装/手套/指套/帽子服装/手套/指套/帽子不锈钢纤维或导电纤维与普通纤维混纺而成。通过导电纤维的电晕放电和泄漏作用消除的静电。耐洗涤，但一般本身不能导静电。防静电服装/手套/指套/帽子单独使用时防静电作用不大

静电消除使用静电消除器使用静电消电液湿度控制降低运动速度

湿度控制用加湿机，使相对湿度在50-70%以内可以增快静电泄漏

人体活动静电电压(KV)相对湿度(10-20)%相对湿度(65-90)%在地毯上走动351.5从工作椅上站起181.5静电防护设施的定期检查人员接地<35×106Ω或<100伏,腕带:(0.8~1.2)×106Ω腕带：0.8×106至1.2

×106ΩEPA环境：工作台面,鞋类，地面，