静电防护基础知识课件

静电防护基础知识审核：尹纪兵2008年２月２０日培训内容１●

静电防护的重要性２●静电及其防护基本概念３●静电危害４●静电防护１●

静电防护的重要性1.随着科技进步，超大规模集成电路广泛应用。2.由于元器件尺寸的变小和芯片内部的氧化膜变薄，使器件承受静电放电的能力下降。３.元器件的储存，贴装，焊接，测试直到包装等工序可能发生因静电放电造成对器件的损害。4防静电保护区(EPA：ElectrostaticProtectionArea)由防静电器材建造和装配起来，能防止静电释放产生的损害并作出明显标记的供经过培训的人员操作ESDS产品的区域。

5接地(Grounding)电气连接到能供给或接受大量电荷的物体(常指大地)。6接地点(EBP:EarthBoundingPoint)

接地连接点２●２静电的产生1摩擦起电(由物体的接触摩擦产生静电)2剥离起电（相互密切结合的物体剥离）3断裂带电（材料因机械破裂使带电粒子分开）4高速运动中的物体（高速运动的物体表面与空气摩擦带电）３●１静电危害A：静电吸附元器件制造过程中由于二氧化硅等材料易吸附空气中的带电微粒导致半导体击穿失效；B：静电击穿和软击穿静电放电对静电敏感器件损害的主要表现，一是硬击穿，造成整个器件的失效和损坏；二是软击穿，造成器件的局部损伤，降低了器件的技术性能，而留下不易被人们发现的隐患，以致设备不能正常工作。４●１典型ESD控制工作系统1.防ESD地面2.防ESD台面3.防ESD设备周转、包装、运输材料4.防ESD腕带插孔5.个人ESD防护用品(腕带、脚环、工服、手套等)6.可靠的接地系统EOS防护料盘.料盒EOS防护台面EOS防护地垫建筑地面手腕地共地点４●静电防护４●２防静电手腕带1所有与静电释放敏感产品和设施有直接接触的人员在ＳＭＴ生产中必须佩戴腕带；2作业员在每班开始前必须用腕带测试仪检查其连续使用性,并在ESD日检表上作记录。发现有不合格的须立即进行更换，直到检测合格为止。佩戴防静电手腕带注意事项1手腕带必须贴紧皮肤，不要戴在衣服或手套上；2皮肤干燥的员工，如果测试失败，可在再次测试前，在戴手腕带处抹一些专用皮肤霜，以增加皮肤的导电性；

3有手腕带接地点的工位，在不影响操作的前提下，必须使用手腕带。对转件员及上料员因无法使用手腕带，这些员工要使用防静电工作手套；4员工在防静电保护区内工作时，提倡尽可能使用手腕带。４●３防静电工作鞋1.除电工外，所有进入生产作业区的人员，必须穿工作鞋。电工因工作需进入生产作业区时，应尽量在距离防静电保护区1.5米的区域内活动，工作完成后不得在生产作业区内逗留；2.除电工外，所有工作人员每日在进入生产作业区前，必须用静电鞋测试仪检查其连续使用性，并在ESD日检表上作记录。４●４防静电工作服1.除电工外，所有进入生产作业区的人员，必须穿工作服。发长过衣领的员工在进入生产作业区前，应盘或扎起头发，使发梢高于衣领，必要时，必须戴防静电工作帽；

2.电工因工作需进入生产作业区时,应尽量在距离防静电保护区1.5米的区域内活动,工作完成后不得在生产作业区内逗留。４●５防静电地板1.指定的地板清洁工必须使用防静电拖把来清除污迹，并使用防静电清洁剂；2.防静电地板的传导是通过打蜡来维护的。ESD测试人员每周测一次生产作业区地板的电阻值。对于测试超标的区域，厂务应尽快安排人员进行打蜡，对打蜡后的效果，ESD测试人员两天内应安排时间再次进行测量。3.人身安全工作台面、坐椅等导静电的ESD保护措施均应通过限流电阻接到地线。保证减少电击事故。即使有事故，必须使通过人体的电流低于5mA。4.部门合作当移动固定货架、工作台等物品时，及时通知厂房设备部门连接接地线。４●７

ESDS（静电释放敏感产品）产品的运输

存放和操作器具1.在运输和存放ESDS产品时应使用防静电货架、防静电推车和防静电周转容器；2.防静电货架的表面必须覆盖上防静电垫，并接地；

3.运输用的防静手推车和转运车的表面必须覆盖上防静电垫，并且轮子必须是传导轮；４●

８腕带检测方法：1.

把检测仪面板上选择开关换至腕带检测档；2.

按正确方法佩带腕带；3.

把腕带插头插入检测仪面板上的腕带插孔处；4.

按检测