标准解读
《GB/T 39516-2020 微纳米标准样板(几何量)》是针对微纳米尺度下用于校准或验证测量设备准确性的标准样品所制定的国家标准。该标准详细规定了微纳米标准样板的技术要求、检验方法以及包装、标志、运输和储存等方面的内容。
在技术要求部分，明确了微纳米标准样板应具备的基本性能指标，如尺寸精度、表面粗糙度等关键参数，并对不同用途下的具体数值进行了限定。此外，还强调了材料选择的重要性，指出所用材料需满足特定条件以保证标准样板在使用过程中保持稳定性和一致性。
对于检验方法，《GB/T 39516-2020》提供了详细的指导，包括但不限于采用何种仪器进行检测、如何设置测试条件及步骤、数据处理方式等。这些规定旨在确保各实验室之间能够获得可比性强的结果，从而提高整个行业内测量结果的一致性与可靠性。
关于包装、标志、运输和储存方面，《GB/T 39516-2020》也给出了明确指示。例如，在包装上要求采取适当措施防止损坏；标志信息需清晰可见且包含必要内容如产品名称、规格型号等；同时，在运输过程中应注意避免剧烈震动或温度变化等因素可能给标准样板带来的不利影响；最后，在储存时则建议置于干燥通风良好之处，并远离强磁场干扰源。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2020-11-19 颁布
- 2021-06-01 实施
文档简介
ICS1704030
J42..
中华人民共和国国家标准
GB/T39516—2020
微纳米标准样板几何量
()
Micronanostandardsamleseometric
p(g)
2020-11-19发布2021-06-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T39516—2020
目次
前言
…………………………Ⅲ
范围
1………………………1
规范性引用文件
2…………………………1
术语和定义
3………………1
型式与基本参数
4…………………………3
型式
4.1…………………3
基本参数
4.2……………4
要求
5………………………5
外观
5.1…………………5
性能参数要求
5.2………………………5
检查条件
6…………………7
检查方法
7…………………7
外观
7.1…………………7
微纳米线间隔标准样板的性能参数
7.2………………7
微纳米台阶高度标准样板的性能参数
7.3……………10
纳米膜厚标准样板的性能参数
7.4……………………12
纳米线宽标准样板的性能参数
7.5……………………14
标志运输及储存
8、………………………15
标志
8.1…………………15
运输
8.2…………………16
储存
8.3…………………16
产品合格证
8.4…………………………16
图线间隔示意图
1…………………………1
图台阶高度示意图
2………………………2
图薄膜厚度定义示意图
3…………………2
图线宽示意图
4……………2
图微纳米线间隔标准样板型式示意图
5…………………3
图微纳米台阶高度标准样板型式示意图
6………………3
图纳米膜厚标准样板型式示意图
7………………………4
图纳米线宽标准样板型式示意图
8………………………4
图线间隔偏差有效测量区域选择示意图
9………………8
图线边缘粗糙度考核位置示意图
10……………………9
Ⅰ
GB/T39516—2020
图线边缘粗糙度示意图
11………………9
图均匀性测量示意图
12…………………10
图台阶高度测量示意图
13………………11
图台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图
14………12
图薄膜厚度偏差考核示意图
15…………13
图线宽偏差测量区域选择示意图
16……………………14
图线宽均匀性测量位置选择示意图
17…………………15
表微纳米线间隔标准样板的性能参数要求
1……………5
表微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求
2…………5
表纳米膜厚标准样板的性能参数要求
3…………………6
表纳米线宽标准样板的性能参数要求
4…………………6
Ⅱ
GB/T39516—2020
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由中国机械工业联合会提出
。
本标准由全国量具量仪标准化技术委员会归口
(SAC/TC132)。
本标准起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所成都工具研究所有限公司广西壮族自治
:、、
区计量检测研究院中国计量科学研究院上海市计量测试技术研究院中国计量大学珠海市怡信测量
、、、、
科技有限公司
。
本标准主要起草人李锁印付兴昌梁法国韩志国赵琳冯亚南许晓青张晓东姜志刚许刚
:、、、、、、、、、、
苏冀雄张恒雷李华赵军张松涛蔡潇雨傅云霞
、、、、、、。
Ⅲ
GB/T39516—2020
微纳米标准样板几何量
()
1范围
本标准规定了微纳米标准样板几何量的术语和定义型式与基本参数要求检查条件检查方
()、、、、
法标志运输及储存等
、、。
本标准适用于线间隔为的微纳米线间隔标准样板台阶高度为
0.05μm~10μm、0.01μm~100μm
的微纳米台阶高度标准样板薄膜厚度为的纳米膜厚标准样板和线宽为
、2nm~1000nm25nm~
的纳米线宽标准样板
1000nm。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
几何量测量器具术语基本术语
GB/T17163—2008
洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度等级
GB/T25915.1—20101:
3术语和定义
界定的以及下列术语和定义适用于本文件
GB/T17163—2008。
31
.
微纳米标准样板几何量micronanostandard
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