标准解读

《GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》是一项国家标准，旨在规范微机电系统中带状薄膜材料的抗拉性能测试过程。该标准适用于MEMS领域内使用的各种带状薄膜材料，通过定义统一的测试方法来确保不同实验室或机构间测试结果的一致性和可比性。

标准首先明确了术语和定义部分，对关键概念如“带状薄膜”、“抗拉强度”等进行了界定，为后续内容的理解奠定了基础。接着，在试验设备章节里，详细描述了进行此类实验所需的基本装置配置要求，包括但不限于拉伸试验机、夹具以及测量工具等，并规定了这些设备的具体技术参数与精度等级。

对于样品制备，《GB/T 38446-2020》提出了明确的操作指南，涵盖从选取合适尺寸的试样到如何正确安装于测试仪器上的全过程。同时，还特别强调了环境条件（如温度、湿度）对测试结果的影响，建议在控制良好的条件下开展实验以减少外界因素干扰。

在试验步骤方面，标准详尽地列出了每一步骤的具体操作流程，从加载方式的选择到数据记录方法均有涉及。此外，还针对可能出现的数据异常情况给出了处理建议。最后，在结果计算与表示环节，《GB/T 38446-2020》提供了公式用于计算关键指标值，并指导如何准确表达最终测试成果。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-03-06 颁布
  • 2020-10-01 实施
©正版授权
GB/T 38446-2020微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法_第1页
GB/T 38446-2020微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法_第2页
GB/T 38446-2020微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法_第3页
GB/T 38446-2020微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法_第4页
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文档简介

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T38446—2020

微机电系统MEMS技术

()

带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Testmethodsfortensilepropertymeasurementofstripthinfilms

2020-03-06发布2020-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T38446—2020

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

试验方法

4…………………2

数据处理

5…………………4

附录资料性附录采用工艺的样品制备

A()MEMS……………………5

附录资料性附录对准偏差和几何结构对性能测试的影响

B()………7

附录资料性附录纳米压痕仪的测试结果误差及补偿

C()……………9

参考文献

……………………10

GB/T38446—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准起草单位北京大学中机生产力促进中心北京智芯传感科技有限公司无锡华润上华科技

:、、、

有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司

、、。

本标准主要起草人张威李海斌张亚婷朱悦夏长奉石云波陈得民马书嫏程红兵周浩楠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38446—2020

微机电系统MEMS技术

()

带状薄膜抗拉性能的试验方法

1范围

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理

。

本标准适用于厚度在到数微米之间且长度和厚度的比值大于的样品也可用于

50nm300,MEMS

产品带状薄膜结构的质量监控

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T26111。

31

.

弹性模量modulusofelasticity

E

材料在弹性变形阶段时应力与应变的比值

,。

注改写定义

:GB/T3102.3—1993,3.18.1。

32

.

屈服强度yieldstrength

Re

当材料呈现屈服现象时在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点

,。

注1改写定义

:GB/T228.1—2010,3.10.2。

注2对于屈服现象明显的材料屈服强度就是材料发生屈服现象时屈服极限的应力对于屈服现象不明显的材料

:,;,

屈服强度为应变达到残余应变时的应力

0.2%。

33

.

抗拉强度tensilestrength

Rm

材料拉断过程中对应的最大应力

。

注改写定义

:GB/T228.1—2010,3.10.1。

34

.

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