标准解读

GB/T 37385-2019《硅中氯离子含量的测定 离子色谱法》是一项国家标准，旨在提供一种使用离子色谱技术来测定硅材料中氯离子含量的方法。该标准适用于电子级多晶硅、单晶硅等硅基材料中微量到痕量级别的氯离子浓度分析。

根据此标准，首先需要对样品进行预处理。通常情况下，会将硅样品溶解于适当的溶剂中（如氢氟酸与硝酸混合溶液），以确保其中可能存在的氯离子能够完全释放进入溶液。接下来是通过过滤或离心的方式去除不溶性残留物，得到澄清透明的测试液。

然后，采用离子色谱仪作为主要检测工具，利用其高效分离不同种类阴离子的能力，特别是对于Cl-这类常见无机阴离子具有非常好的选择性和灵敏度。在实际操作过程中，需按照仪器说明书设置合适的运行条件，包括流动相的选择与配制、柱温控制以及检测器参数调整等，以保证获得准确可靠的分析结果。

此外，为了保证数据的有效性，标准还规定了质量控制措施，比如定期校准设备、使用已知浓度的标准溶液进行方法验证实验，并且要求每批次样品分析时都应包含空白对照和平行样测试，以此来评估方法的精密度和准确性。

最后，根据实验测得的数据计算出样品中的氯离子含量，并将其报告为单位质量硅材料中含有多少微克(μg)或者毫克(mg)的氯离子。整个过程强调了科学严谨的态度以及对细节的关注，以确保最终结果的可靠性。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2019-03-25 颁布
  • 2020-02-01 实施
©正版授权
GB/T 37385-2019硅中氯离子含量的测定离子色谱法_第1页
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文档简介

ICS77040

H17.

中华人民共和国国家标准

GB/T37385—2019

硅中氯离子含量的测定离子色谱法

Testmethodforchloridecontentofsilicon—Ionchromatographymethod

2019-03-25发布2020-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T37385—2019

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司新特能源股份有限公司亚洲硅业青海有限

:、、()

公司新疆协鑫新能源材料科技有限公司苏州汉谱埃文材料科技有限公司有色金属技术经济研究院

、、、。

本标准主要起草人王桃霞刘逸枫刘晓霞刘源君耿全荣梁博松鲁文锋胡议允贾芬

:、、、、、、、、、

张佳伟陈飞刘国霞邱艳梅宗冰李素青

、、、、、。

Ⅰ

GB/T37385—2019

硅中氯离子含量的测定离子色谱法

1范围

本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法

。

本标准适用于测定棒状块状颗粒状和片状硅中氯离子含量的测定测定范围为至硅

、、。1.0μg/g

中氯离子的最大固溶度

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

固体化工产品采样通则

GB/T6679

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682—2008

3方法原理

将样品放置在高温管式炉中进行加热样品熔化后其中的氯元素以氯离子的形式释放出来使用装

,,

有水的鼓泡吸收瓶进行吸收后用离子色谱仪测定吸收液中的氯离子含量

,。

4干扰因素

41高温管式炉中样品管样品容器的材质纯度会影响测试结果如果纯度不够高温下样品管样品

.、,,、

容器中的杂质会挥发出来

。

42高温管式炉中样品管样品容器应保持洁净使用前应进行充分煅烧确保样品空白稳定后再进行

.、,,

样品的分析

。

43高温管式炉需设置冷却系统保证样品管管线密封良好

.,。

44样品的煅烧过程需在氩气氛围下进行样品冷却至室温后才能停止氩气确保样品不被氧化

.,,。

45氩气的纯度和流速会对测试结果产生一定影响氩气的纯度不够可能导致样品被氧化氩气流速

.。,

过小样品容器中的氯离子不能被充分带走氩气流速过大可能引起氯离子不能被充分吸收

,。

5试剂和材料

51水除非另有说明本测试方法中的水应符合中一级水的要求

.:,GB/T6682—2008。

52氯离子标准溶液浓度为

.:1000μg/mL。

53氩气氩气的体

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