标准解读

GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》是一项国家标准，该标准规定了高纯碳化硅材料中多种微量元素含量测定的方法。这些微量元素包括但不限于铁(Fe)、铝(Al)、钙(Ca)、镁(Mg)等杂质元素，它们在半导体工业和电子工业等领域中的应用至关重要，因为即使是很低浓度的杂质也可能对最终产品的性能产生显著影响。

根据本标准，样品处理采用湿法消解技术，即将一定量的高纯碳化硅粉末与强酸混合，在高温条件下使样品溶解，从而将待测元素转化为可溶性盐的形式。之后，通过电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）或电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）进行定量分析。这两种方法都具有较高的灵敏度和准确性，能够满足对于微量甚至痕量级元素检测的需求。

此外，标准还详细描述了实验所需仪器设备的基本要求、试剂的选择与配制、操作步骤及注意事项等内容，并给出了不同元素的具体测定条件。同时，为了保证测试结果的可靠性，GB/T 37254-2018也制定了质量控制措施，比如使用已知浓度的标准溶液来进行校准曲线绘制，以及定期开展实验室内部比对实验以验证方法的有效性。

该文件适用于从事高纯碳化硅生产、研究及相关领域工作的单位和个人参考执行，有助于提高产品质量管理水平，促进相关行业健康发展。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-09-01 实施
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文档简介

ICS7104050

A43..

中华人民共和国国家标准

GB/T37254—2018

高纯碳化硅微量元素的测定

Highpuritysiliconcarbide—Determinationoftraceelements

2018-12-28发布2019-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T37254—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国建筑材料联合会提出

。

本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口

(SAC/TC194)。

本标准起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所宁波伏尔肯机械密封件制造有限公司

:、。

本标准主要起草人陈奕睿邬国平朱燕屈海云汪正邹慧君黄伟峰谢方民

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T37254—2018

高纯碳化硅微量元素的测定

警示———使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验本标准并未指出所有可能的安全问

。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

。,。

1范围

本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱法和电感耦合等离子体质谱

(ICP-OES)(ICP-

法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法

MS)。

本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于的高纯碳化硅材料中铝砷钙铬铜铁

99.9%、、、、、、

汞钾镁锰钠镍铅硫钛锌等种元素的测定各元素的测定范围见表以质量分数计

、、、、、、、、、16。1()。

表1元素的测定范围

元素测定范围元素测定范围

/%/%

铝镁

(Al)0.0001~0.1(Mg)0.0001~0.1

砷锰

(As)0.0001~0.1(Mn)0.0001~0.1

钙钠

(Ca)0.0001~0.1(Na)0.0001~0.1

铬镍

(Cr)0.0001~0.1(Ni)0.0001~0.1

铜铅

(Cu)0.0001~0.1(Pb)0.0001~0.1

铁硫

(Fe)0.0001~0.1(S)0.001~0.1

汞钛

(Hg)0.0005~0.1(Ti)0.0001~0.1

钾锌

(K)0.0001~0.1(Zn)0.0001~0.1

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T602

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682

3原理

31ICP-OES法

.

样品用碳酸钠硼砂高温熔融分解或者用酸加压溶解后在电感耦合等离子体炬焰中激发发射出

、,,

所含元素的特征谱线根据待测元素特征谱线的强度测定相应元素的含量

,。

32ICP-MS法

.

样品用酸加压溶解后在电感耦合等离子体炬焰中激发电离后的离子通过四极杆分离后由光电

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