标准解读
《GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》是一项国家标准,旨在规范使用原子力显微镜(AFM)测量纳米级薄膜厚度的过程。该标准适用于各类纳米薄膜材料,包括但不限于金属、半导体、聚合物及复合材料等。
标准首先定义了相关术语和定义,如纳米薄膜、原子力显微镜及其工作模式等,为后续内容的理解奠定基础。接着,详细描述了实验准备阶段所需注意的事项,比如样品制备要求、环境条件控制等,确保测试结果的有效性和可重复性。
在测量方法部分,《GB/T 36969-2018》介绍了利用接触模式或轻敲模式下的原子力显微镜进行表面形貌扫描的具体步骤,并强调了选择合适探针的重要性以及如何正确设置仪器参数以获得准确数据。此外,还讨论了不同类型的纳米薄膜可能遇到的问题及其解决策略。
对于数据分析与处理环节,本标准提出了基于高度信息直接读取法、截面分析法等多种计算纳米薄膜厚度的方式,并给出了具体的操作指导。同时,也对如何评估测量误差、提高精度提出了建议。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2018-12-28 实施
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文档简介
ICS1704020
J04..
中华人民共和国国家标准
GB/T36969—2018
纳米技术原子力显微术测定
纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Methodforthemeasurementofthenanofilm-thicknessby
atomicforcemicroscopy
2018-12-28发布2018-12-28实施
国家市场监督管理总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T36969—2018
目次
前言
…………………………Ⅰ
范围
1………………………1
规范性引用文件
2…………………………1
术语和定义
3………………1
原理
4………………………1
测试条件
5…………………2
环境条件
5.1……………2
操作条件
5.2……………2
设备
6………………………2
原子力显微镜
6.1………………………2
探针的选择
6.2…………………………2
仪器的校准
6.3…………………………2
样品
7………………………2
样品的制备
7.1…………………………2
样品的清洗
7.2…………………………2
测试步骤
8…………………2
采集图像数据前的准备
8.1……………2
图像数据的采集
8.2……………………2
数据处理与计算
9…………………………3
重复性和再现性
10…………………………4
测试报告
11…………………4
附录资料性附录薄膜台阶的制备
A()…………………5
参考文献
………………………6
GB/T36969—2018
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由中国科学院提出
。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会归口
(SAC/TC279)。
本标准起草单位上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心
:、。
本标准主要起草人李慧琴金承钰梁齐何丹农韦菲菲
:、、、、。
Ⅰ
GB/T36969—2018
纳米技术原子力显微术测定
纳米薄膜厚度的方法
1范围
本标准规定了使用原子力显微术测量纳米薄膜厚度的原理测试条件设备样品测试步
(AFM)、、、、
骤和数据处理
。
本标准适用于表面均匀平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜较厚的和一些有机薄膜的膜厚测
、。
定也可参照执行
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T31227
测量不确定度评定与表示
JJF1059.1—2012
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
。
31
.
原子力显微术atomicforcemicroscopy
通过检测探针和样品表面的相互作用力吸引力或排斥力来控制探针和样品间的距离从而获得表
()
面形貌的扫描探针显微镜技术
。
定义
[GB/T27760—2011,3.1]
32
.
扫描长度scanlength
从开始到结束一次扫描的距离
。
33
.
全幅扫描raster
探针方向上逐步移动时在x方向上反复扫描也指这样的运动所扫描的区域
y,。
定义
[GB/T31226—2014,3.1.14]
4原理
首先利用原子力显微镜测试得到包含纳米薄膜台阶在内的微观形貌原子力显微镜是使
(AFM)
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