标准解读

《GB/T 36706-2018 磷化铟多晶》是一项国家标准，该标准详细规定了磷化铟多晶材料的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。磷化铟作为一种重要的半导体材料，在光电子器件等领域有着广泛的应用。

根据该标准，磷化铟多晶的纯度是关键指标之一，对杂质含量提出了严格限制，以确保其适用于后续加工成高质量的单晶或薄膜材料。此外，对于磷化铟多晶的外观质量也给出了具体描述，包括但不限于颜色、形状等特征，旨在保证材料的一致性和可加工性。

在试验方法部分，《GB/T 36706-2018》介绍了如何通过化学分析法来测定磷化铟多晶中的主元素（如In、P）含量及主要杂质元素（如Fe、Cu、Si等）浓度，同时提供了采用X射线荧光光谱仪进行快速成分分析的方法。这些测试手段为评估磷化铟多晶的质量提供了科学依据。

关于检验规则，《GB/T 36706-2018》明确了抽样方案与判定原则，确保每批次产品均能满足规定的性能要求。最后，在包装、标志、运输和贮存章节中，则是对如何妥善处理磷化铟多晶进行了指导，比如使用适当的包装材料避免物理损伤；在外包装上清晰标注相关信息以便于识别；采取必要措施防止运输过程中发生泄漏等问题；以及推荐适宜的储存条件以保持材料性能稳定。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-09-17 颁布
  • 2019-06-01 实施
©正版授权
GB/T 36706-2018磷化铟多晶_第1页
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文档简介

ICS29045

H83.

中华人民共和国国家标准

GB/T36706—2018

磷化铟多晶

Polycrystallineindiumphosphide

2018-09-17发布2019-06-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T36706—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位南京金美镓业有限公司有色金属技术经济研究院中国电子科技集团公司第十

:、、

三研究所广东先导稀材股份有限公司石家庄麦特达电子科技有限公司中国科学院半导体研究所云

、、、、

南中科鑫圆晶体材料有限公司

。

本标准主要起草人范家骅邢志国杨桂芳刘文兵李素青王阳李晓岚孙聂枫刘惠生

:、、、、、、、、、

赵有文惠峰朱刘刘永豪

、、、。

Ⅰ

GB/T36706—2018

磷化铟多晶

1范围

本标准规定了磷化铟多晶的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明书及订货

、、、、、、、

单或合同内容

()。

本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

贵金属及其合金密度的测试方法

GB/T1423

非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

GB/T4326

半导体材料牌号表示方法

GB/T14844

3要求

31牌号

.

磷化铟多晶的牌号表示应符合的规定

GB/T14844。

32电学性能

.

磷化铟多晶的电学性能应符合表的规定

1。

表1电学性能

要求

项目

级级级级级

ABCDE

载流子迁移率

2≥4500≥3500≥3000≥2500≥2500

cm/(V·s)

载流子浓度

1515151616

3≤3×10≤6×10≤8×10≤1×10≤3×10

atoms/cm

33密度

.

磷化铟多晶的理论密度为3实测密度与理论密度的偏差应在以内即实测密度应

4.787g/cm,±5%,

为33

4.548g/cm~5.026g/cm。

34外观质量

.

磷化铟多晶为灰色

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