GB/T 36705-2018氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T36705—2018

氮化镓衬底片载流子浓度的测试

拉曼光谱法

Testmethodforcarrierconcentrationofgalliumnitridesubstrates—

Ramanspectrummethod

2018-09-17发布2019-06-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T36705—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州纳维科技有限公司中关村天

:、、

合宽禁带半导体技术创新联盟有色金属技术经济研究院东莞市中镓半导体科技有限公司中国电子

、、、

技术标准化研究院

。

本标准主要起草人郑树楠张育民石林邱永鑫王建峰徐科付雪涛杨素心丁晓民陆敏

:、、、、、、、、、、

杨建

。

Ⅰ

GB/T36705—2018

氮化镓衬底片载流子浓度的测试

拉曼光谱法

1范围

本标准规定了利用拉曼光谱测试型氮化镓衬底片载流子浓度的方法

N。

本标准适用于在蓝宝石碳化硅硅氮化镓材料上生长的型氮化镓衬底片载流子浓度的测试

、、、N。

测试范围17-320-3

:1×10cm~1×10cm。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

GB/T4326

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

在一定温度下物质晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振动晶格振动晶格振动的能量用

,(),

声子表示氮化镓材料中一定浓度的载流子与晶格振动相互作用可以形成纵光学声子与载流子的耦

。,

合模简称该耦合模可以在拉曼光谱上出现低频支高频

(LOphonon-plasmoncoupledmode,LOPC),、

支常标记为和的特征峰该特征峰的峰位随载流

(lowerandupperfrequencybranches,LPP-LPP+)。

子浓度的变化而改变通过峰位的变化可计算出载流子浓度本方法通过拉曼光谱可实现对型氮化

,。N

镓衬底片载流子浓度的微区测试测量直径为

,0.7μm~2μm。

5干扰因素

51拉曼光谱常用来检测薄膜材料中的应力因此需要在测试时考虑应力引入的影响当载流子浓度

.,。

较低时约17-3以极化声子模的峰位对载流子浓度进行计算为了消除应力对极

(<3×10cm),A1(LO),

化声子模峰位产生的影响可采用氮化镓材料拉曼光谱中H峰位来标定样品的应力状态根

A1(LO),E2,

据式推得极化声子模峰位因受应力影响而产生的移动

(1)A1(LO):

.×(ω)

ω'=ω-08E-568

AA………………(1)