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  • 2017-09-07 颁布
  • 2018-06-01 实施
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文档简介

ICS7712010

H61..

中华人民共和国国家标准

GB/T34213—2017

蓝宝石衬底用高纯氧化铝

Highpurityaluminaforsapphiresubstrate

2017-09-07发布2018-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

蓝宝石衬底用高纯氧化铝

GB/T34213—2017

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20179

*

书号

:155066·1-56241

版权专有侵权必究

GB/T34213—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位四川鑫通新材料有限责任公司江苏协鑫软控设备科技发展有限公司四川鑫炬

:、、

新兴新光源材料有限公司东莞市技顶电子科技有限公司

、。

本标准主要起草人钱幼平熊洲唐大林薛抗美黄修康侯龙超张强

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34213—2017

蓝宝石衬底用高纯氧化铝

1范围

本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求试验方法检验规则以及标志包装运输贮存质

、、、、、、

量证明书和订货单或合同内容等

()。

本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝以下简称高纯氧化铝其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧

(),

化铝可参照本标准执行

。

高纯氧化铝的分子式为相对分子质量为晶型为

Al2O3,101.96,α。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法取样

GB/T6609.22

氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法有效密度的测定比重瓶法

GB/T6609.26

半导体材料术语

GB/T14264

颗粒系统术语

GB/T16418

高纯氧化铝的痕量金属元素等离子体发射光谱检测方法

JC/T2147

3术语和定义

和界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264GB/T16418。

4要求

41产品分类

.

高纯氧化铝按真密度一般可分为类如表所示

4,1。

表1高纯氧化铝分类

真密度

类别主要生产方式

3

g/cm

高纯氧化铝类火焰法等

1≥3.95

高纯氧化铝类等离子法等

2≥3.80~3.95

高纯氧化铝类压制烧结法冷坩埚法等

3≥3.00~3.80、

高纯氧化铝类

4<3.00

42化学成分

.

高

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