GB/T 32573-2016硅粉总碳含量的测定感应炉内燃烧后红外吸收法

ICS29045

H82.

中华人民共和国国家标准

GB/T32573—2016

硅粉总碳含量的测定

感应炉内燃烧后红外吸收法

Siliconpowder—Determinationoftotalcarboncontent—

Infraredabsorptionmethodaftercombustioninaninductionfurnace

2016-02-24发布2016-11-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T32573—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位国家太阳能光伏产品质量监督检验中心无锡市产品质量监督检验中心江苏中

:()、

能硅业科技发展有限公司江西赛维太阳能高科技有限公司中国电子技术标准化研究院洛阳

、LDK、、

中硅高科技有限公司

。

本标准主要起草人何莉徐敏秀周滢姚凤花刘晓霞鲁文锋袁凯笛杨君蒋威王美娟

:、、、、、、、、、、

黄雪雯张立眉冯亚彬裴会川曹俊英谢秦

、、、、、。

Ⅰ

GB/T32573—2016

硅粉总碳含量的测定

感应炉内燃烧后红外吸收法

1范围

本标准规定了利用感应炉燃烧后红外吸收法测定硅粉中总碳含量的方法

。

本标准适用于生产多晶硅的原料硅粉中总碳含量的测定测定范围为质量分

。0.001%~1.0%(

数

)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

测量方法与结果的准确度正确度与精密度第部分确定标准测量方

GB/T6379.2—2004()2:

法重复性与再现性的基本方法

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682—2008

定碳定硫分析仪检定规程

JJG395

硅粉

YS/T724—2009

碳硫分析专用坩埚

YB/T4145

3方法提要

试料在高频感应炉中通入纯氧气流在高温有助熔剂和其他助剂存在的条件下将碳转化为二氧

,,、,

化碳和或一氧化碳测量气流中的二氧化碳和或一氧化碳的红外吸收光谱并由此计算出试料中的碳

/,/,

含量

。

4试剂和材料

41水不含二氧化碳使用前将符合要求的三级水煮沸用装有钠石灰干

.:,GB/T6682—200830min,

燥管的橡皮塞塞住瓶口冷却至室温通氧气吹泡

,,(4.2)15min。

42氧气纯度体积分数应不低于测定碳含量样品时的纯度体积分数应

.:()99.5%,0.001%~0.01%()

不低于

99.995%。

43纯铁粒度应不大于粒度推荐范围碳含量质量分数应小

.:1.25mm,0.4mm~0.8mm,()

于

0.0005%。

44无水碳酸钠有证标准物质使用前将无水碳酸钠质量分数大于在下干燥

.:,(99.9%)285℃±5℃

并置于干燥器中冷却备用

2h,,。

45碳酸钠标准溶液含碳称取碳酸钠精确至溶于

.:1mL2.50mg。5.5152g(4.4),0.1mg,200mL

水中定量移入容量瓶中用水稀释至刻度混匀

(4.1),250mL,(4.1),。

46锡助熔剂碳硫专用高纯锡粒锡含量质量分数应大于