标准解读

GB/T 26307-2010《银靶》是一项国家标准，专门针对用于物理气相沉积（PVD）等工艺中的银靶材料进行了规定。该标准涵盖了银靶的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。

根据标准，银靶按其纯度被分为不同的级别，每个级别的银含量都有明确的规定，比如99.99%或更高纯度的银靶适用于对杂质敏感的应用场景。此外，对于银靶的外观质量也有具体要求，如表面应平整光滑，无裂纹、孔洞和其他明显缺陷。

在试验方法部分，标准详细描述了如何通过化学分析来测定银靶中银以及其他元素的含量；还包含了物理性能测试的方法，例如密度测量、硬度测试等，以确保银靶满足特定的技术要求。

关于检验规则，GB/T 26307-2010明确了产品出厂前需要进行的批次抽样检查流程及合格判定准则。这有助于保证每批生产的银靶都符合既定的质量标准。

最后，在标志、包装、运输和贮存方面，标准提出了具体指导原则，包括但不限于标签上必须包含的信息（如制造商名称、地址、产品规格等），以及推荐使用的包装材料类型和方法，还有在搬运过程中应注意的安全事项以及适宜的存储条件，旨在保护银靶免受损害，并保持其最佳性能状态直至使用。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-14 颁布
  • 2011-11-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7712099

H68..

中华人民共和国国家标准

GB/T26307—2010

银靶

Silvertarget

2011-01-14发布2011-11-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T26307—2010

前言

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草

。

本标准主要起草人闫琳杨华李蕊杨永刚雷继锋熊晓东江轩

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26307—2010

银靶

1范围

本标准规定了银靶的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及质量证明书与订货单或

、、、、、(

合同内容

)。

本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材以下简称银靶其他用途的靶材也可参照使用

()。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

银

GB/T4135

金属平均晶粒度测定方法

GB/T6394

银化学分析方法

GB/T11067

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

3要求

31产品分类

.

银靶的类型按化学成分为一种

IC-Ag99.99。

银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定外形主要为圆形矩形和异型

,、。

32化学成分

.

银靶的化学成分应符合的规定需方对某种特定杂质元素含量有要求

IC-Ag99.99GB/T4135。

的由供需双方协商确认

,。

33晶粒度

.

银靶的横向平均晶粒度应在

50μm~150μm。

34外观质量

.

银靶表面应无凹坑划伤裂纹凸起等缺陷无润滑痕迹颗粒附加物和其他沾污应清洁光滑无

、、、;、;,

指痕无油污和锈蚀

,。

35表面粗糙度

.

银靶表面粗糙度Ra值应不大于

1.6μm。

36几何尺寸

.

361圆形银靶的直径ϕ主要有厚度通常为

..

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